均匀沉淀法制备高性能催化燃烧式甲烷传感器 被引量：13

1

作者 马金鸣 王魏男 +4 位作者 李小伟 刘银萍 赵靖 杜宇 卢革宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1522-1525,共4页

为了提高催化燃烧式甲烷传感器的性能,以介孔SBA-15作为载体,采用均匀沉淀法制备具有不同Pd担载量的敏感材料。通过XRD和氮气吸脱附表征材料的组成及结构,并以该材料构筑敏感元件,研究其气敏特性。与传统浸渍法合成的Pd/γ-Al2O3相比,Pd... 为了提高催化燃烧式甲烷传感器的性能,以介孔SBA-15作为载体,采用均匀沉淀法制备具有不同Pd担载量的敏感材料。通过XRD和氮气吸脱附表征材料的组成及结构,并以该材料构筑敏感元件,研究其气敏特性。与传统浸渍法合成的Pd/γ-Al2O3相比,Pd/SBA-15对于甲烷具有更加出色的敏感特性,这主要源于其高比表面积、小而均一的Pd颗粒以及多孔结构使Pd/SBA-15上的活性位点与甲烷气体之间产生高效的界面反应。 展开更多

关键词 甲烷传感器 介孔 均匀沉淀法 高灵敏度

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Poly-SiTFT有源驱动OLED单元像素电路的参数设计 被引量：5

2

作者 王丽杰 张彤 刘式墉 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期338-342,共5页

根据有机电致发光显示器件(OLED)的发光特性及多晶硅薄膜晶体管(Poly SiTFT)的工作特性, 对Poly SiTFT有源驱动OLED的源极跟随型双管单元像素驱动电路进行了理论计算和模拟仿真, 确定了单元像素中的各种器件参数; 通过AIM Spice的模拟... 根据有机电致发光显示器件(OLED)的发光特性及多晶硅薄膜晶体管(Poly SiTFT)的工作特性, 对Poly SiTFT有源驱动OLED的源极跟随型双管单元像素驱动电路进行了理论计算和模拟仿真, 确定了单元像素中的各种器件参数; 通过AIM Spice的模拟仿真了整个像素电路工作状态, 对器件参数进行了优化. 展开更多

关键词 多晶硅 薄膜晶体管 有机电致发光 有源驱动 仿真模拟

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Nb-In复合氧化物氯气传感器的研制 被引量：3

3

作者 钟铁钢 梁喜双 +3 位作者 刘凤敏 何月华 王彪 全宝富 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期2155-2158,共4页

以In(NO3)3、Nb2O5、氨水为原料,采用化学沉淀法制备了不同Nb-In比的复合氧化物纳米材料.通过不同温度(500℃-800℃)烧结得到了不同的Nb-In复合氧化物材料.利用X射线衍射仪对材料的晶体结构进行了表征并估算粒径大小.利用这种材料制备... 以In(NO3)3、Nb2O5、氨水为原料,采用化学沉淀法制备了不同Nb-In比的复合氧化物纳米材料.通过不同温度(500℃-800℃)烧结得到了不同的Nb-In复合氧化物材料.利用X射线衍射仪对材料的晶体结构进行了表征并估算粒径大小.利用这种材料制备管式厚膜气体传感器.研究表明,元件在温度为100℃时对50×10-6Cl2表现出较高的灵敏度(7900)和较好的选择性,元件对Cl2的检测下限为0.2×10-6,加热功率为130mW.最后,对其敏感机理进行了分析. 展开更多

关键词 IN2O3 NB2O5 CL2 气体传感器

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固体电解质硫化氢气体传感器的特性研究 被引量：3

4

作者 钟铁钢 梁喜双 +2 位作者 刘凤敏 全宝富 卢革宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1674-1677,共4页

采用溶胶-凝胶法制备NASICON(钠离子导体)固体电解质及镍/钛复合氧化物材料。并以NASICON为离子导电层,镍/钛复合氧化物为敏感电极制作固体电解质硫化氢气体传感器。在260-380℃温度范围内,以镍/钛复合氧化物为敏感电极制作的器件对1.1... 采用溶胶-凝胶法制备NASICON(钠离子导体)固体电解质及镍/钛复合氧化物材料。并以NASICON为离子导电层,镍/钛复合氧化物为敏感电极制作固体电解质硫化氢气体传感器。在260-380℃温度范围内,以镍/钛复合氧化物为敏感电极制作的器件对1.10-6～100.10-6硫化氢具有良好的敏感特性。在320℃时器件的灵敏度(斜率)为-72.4mV/decade。并且器件具有良好的选择性、抗湿性及响应恢复特性。器件对5.10-6,50.10-6硫化氢的响应时间为10s,4s和20s,40s。最后对器件的敏感机理做了分析。 展开更多

关键词 气体传感器 固体电解质 硫化氢 镍/钛复合氧化物

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CO-C7H8双功能一体化固体电解质气体传感器的研制 被引量：2

5

作者 钟铁钢 梁喜双 +2 位作者 王彪 刘凤敏 全宝富 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1109-1112,共4页

采用溶胶-凝胶法合成NASICON固体电解质,并以NASICON为基体材料,Y2O3及ZnTiO3为敏感电极制作管式CO-C7H8双功能一体化气体传感器。研究表明,在350~450℃时,CO及C7H8浓度在（5~50）×10^-6体积分数范围内,器件的EMF值与CO和C7H8浓度... 采用溶胶-凝胶法合成NASICON固体电解质,并以NASICON为基体材料,Y2O3及ZnTiO3为敏感电极制作管式CO-C7H8双功能一体化气体传感器。研究表明,在350~450℃时,CO及C7H8浓度在（5~50）×10^-6体积分数范围内,器件的EMF值与CO和C7H8浓度的对数分别呈现较好的线性关系。器件在400℃时对CO和C7H8的灵敏度分别为-40和64mV/decade。并且器件在此温度下表现出较好的选择性和响应恢复特性。 展开更多

关键词 气体传感器 CO C7H8 NASICON Y2O3 ZnTiO3 溶胶-凝胶法

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准分子激光选择CVD技术的SnO_2薄膜图形生长及微透镜制作 被引量：2

6

作者 王庆亚 姜喜兰 +1 位作者 马力 郑伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期328-330,共3页

准分子激光ＣＶＤ由于紫外光参与并促进了其源分解，所以对激光光束具有很强的选择性从而可以实现图形转换和直接图形生长，我们利用这一特点在自己建立的准分子激光选择ＣＶＤ系统上得到了ＳｎＯ２薄膜生长速率与激光能量密度间的关系... 准分子激光ＣＶＤ由于紫外光参与并促进了其源分解，所以对激光光束具有很强的选择性从而可以实现图形转换和直接图形生长，我们利用这一特点在自己建立的准分子激光选择ＣＶＤ系统上得到了ＳｎＯ２薄膜生长速率与激光能量密度间的关系曲线，并玻璃和Ｓｉ衬底上实现了ＳｎＯ２薄膜的宽约８０μｍ条伏和面积１００×１００μｍ２方形图形生长，同时也在Ｓｉ衬底进行了微透镜制作的尝试，获得了半径约４５μｍ近高斯分布的ＳｎＯ２，薄膜，其中心最大厚度约９７０ｍｍ。 展开更多

关键词 准分子激光 微透镜 薄膜图形 CVD技术 SnO₂ 薄膜生长速率 图形转换 高斯分布 准分子激光器 激光能量密度

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NiO基厚膜NO2传感器的研制 被引量：2

7

作者 钟铁钢 梁喜双 +2 位作者 刘凤敏 卢革宇 全宝富 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期143-145,181,共4页

文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料,通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料,Cr_2O_3、WO_3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO_2气体传感器。研究了工作温度、掺杂... 文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料,通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料,Cr_2O_3、WO_3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO_2气体传感器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明:掺杂WO_3的NiO基厚膜传感器对NO_2有较高的灵敏度、良好的选择性及响应特性,并且对器件的敏感机理做了初步的分析。 展开更多

关键词 气体传感器 NO2 NIO 气敏性能

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WO_3-NiO复合氧化物的微乳法合成及其Cl2敏感特性 被引量：2

8

作者 王魏男 李晓伟 +5 位作者 刘银萍 赵靖 杨天麟 王振宇 杜宇 卢革宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期458-461,共4页

采用Triton X-100为表面活性剂,正己醇为助表面活性剂,环己烷为油相配制微乳液,利用微乳液体系制备了WO3-NiO复合金属氧化物,并对其进行了电感耦合等离子体质谱(ICP MS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)以及氮气吸附-脱附的表征... 采用Triton X-100为表面活性剂,正己醇为助表面活性剂,环己烷为油相配制微乳液,利用微乳液体系制备了WO3-NiO复合金属氧化物,并对其进行了电感耦合等离子体质谱(ICP MS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)以及氮气吸附-脱附的表征。为了进行对比,利用固相混合法制备了WO3-NiO样品,其WO3含量与微乳法制备的样品相同。对比评价了两种复合氧化物对氯气的敏感特性,发现其都呈现P型半导体特性,在250℃时,微乳法制备的样品比固相混合法制备的样品的灵敏度高100倍。 展开更多

关键词 气体传感器 CL2 WO3-NiO 微乳法

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NASICON固体电解质气体传感器的研究进展 被引量：2

9

作者 全宝富 梁喜双 +2 位作者 钟铁钢 何月华 王彪 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期140-142,174,共4页

采用高温固相法、溶胶-凝胶法制备了NASICON固体电解质材料,并利用XRD、IR、Raman、SEM等现代分析手段对NASICON材料进行了分析表征,优选出NASICON材料制备的工艺条件。对制备不同检测气体所需的敏感电极材料组份及制备方法进行了比较... 采用高温固相法、溶胶-凝胶法制备了NASICON固体电解质材料,并利用XRD、IR、Raman、SEM等现代分析手段对NASICON材料进行了分析表征,优选出NASICON材料制备的工艺条件。对制备不同检测气体所需的敏感电极材料组份及制备方法进行了比较系统的研究。并以NASICON为离子导电层,以BaCO_3-Li_2CO_3、Na_2SO_4-Li_2SO_4等复合盐以及单一或复合金属氧化物为敏感电极材料,制作出了具有良好性能的CO_2、CO、SO_2、NO_2、H_2S、Cl_2、NH_3等分立器件和集成一体化的CO-C_7H_8(甲苯)、NH_3-C_7H_8两种双功能器件。 展开更多

关键词 NASICON 固体电解质 气体传感器

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固体电解质电位型CO气体传感器的研究 被引量：2

10

作者 钟铁钢 梁喜双 +1 位作者 刘奎学 全宝富 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期187-189,共3页

以NASICON(钠超离子导体)固体电解质为离子导电层,Y2O3为敏感电极研制了一种用于测定CO的电化学气体传感器。结果表明,器件对(5～50)×10-6范围内的CO具有较好的敏感特性。在400℃下,器件对CO的灵敏度为-45m V/decade。并且器件对C... 以NASICON(钠超离子导体)固体电解质为离子导电层,Y2O3为敏感电极研制了一种用于测定CO的电化学气体传感器。结果表明,器件对(5～50)×10-6范围内的CO具有较好的敏感特性。在400℃下,器件对CO的灵敏度为-45m V/decade。并且器件对CO具有较高的选择性和良好的响应恢复特性。 展开更多

关键词 气体传感器 一氧化碳 固体电解质 氧化钇

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用准分子激光CVD制作SnO_2微透镜及其阵列的技术研究 被引量：1

11

作者 王庆亚 马力 +3 位作者 赵方海 郑伟 张玉书 高鼎三 《激光技术》 EI CAS CSCD 1996年第3期164-167,共4页

本文利用准分子激光ＣＶＤ技术以液态ＳｎＣｌ４和氧气为源制出了半径４５μｍ的ＳｎＯ２薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。

关键词 准分子激光 CVD 微透镜 微透镜阵列 二氧化锡

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NASICON基NO2气体传感器

12

作者 梁喜双 钟铁钢 +2 位作者 刘凤敏 卢革宇 全宝富 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期137-139,共3页

文中介绍了一种管式结构的固体电解质NO_2气体传感器。该传感器是用溶胶-凝胶法制备的NASICON(钠离子导体)为导电层材料,利用化学沉淀法制备的NiO和贵金属Au作为敏感电极材料制得的。文中研究了不同敏感电极材料对气体传感器性能的影响... 文中介绍了一种管式结构的固体电解质NO_2气体传感器。该传感器是用溶胶-凝胶法制备的NASICON(钠离子导体)为导电层材料,利用化学沉淀法制备的NiO和贵金属Au作为敏感电极材料制得的。文中研究了不同敏感电极材料对气体传感器性能的影响。以NiO+Au作为敏感电极材料的传感器具有较大的灵敏度,当工作温度在300℃时,对浓度为(5～200)×10^(-6)的NO_2表现出了良好的气敏性能,传感器的灵敏度大于70 mV/decade. 展开更多

关键词 NO2 NASICON NIO AU 气体传感器

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激光诱导原子层加工技术

13

作者 张玉书 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期162-166,共5页

激光诱导原子层加工技术是近两年提出的新兴微细加工技术，本文对激光诱导原子层外延生长、原子层刻蚀、原子层掺杂等主要技术及其对能带工程的促进作用作了概要介绍。

关键词 单原子层 激光诱导 微细加工技术 外延生长 原子层外延 能带工程 超晶格 带偏移 准分子激光 刻蚀速率

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