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压电式MEMS水听器振膜结构的幅频特性检测研究
1
作者
宋辰阳
李建友
+1 位作者
李冠华
李根梓
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期319-325,共7页
介绍了一种使用反射式数字全息显微镜检测压电式MEMS水听器中振膜结构幅频特性的方法。首先采用光学方法测量得到水听器上振膜结构的静态形貌,再利用压电材料的逆压电效应对压电薄膜施以一定区间频率的电激励,经数字全息显微镜表征动态...
介绍了一种使用反射式数字全息显微镜检测压电式MEMS水听器中振膜结构幅频特性的方法。首先采用光学方法测量得到水听器上振膜结构的静态形貌,再利用压电材料的逆压电效应对压电薄膜施以一定区间频率的电激励,经数字全息显微镜表征动态三维形貌,记录振膜在不同频率下的动态响应情况,以获得其特征频率、特征频率处的振型等关键信息。试验结果表明,该方法能较好地表征振膜结构的静态形貌、特征频率、振型等特性,有助于加速压电式微机电系统(MEMS)水听器的迭代开发。
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关键词
微机电系统(MEMS)
压电水听器
振膜结构
数字全息显微镜
幅频特性
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职称材料
题名
压电式MEMS水听器振膜结构的幅频特性检测研究
1
作者
宋辰阳
李建友
李冠华
李根梓
机构
雁栖湖
基础
制造
技术
研究院
(
北京
)
有限公司
高端
mems
器件
可靠性
技术
北京市
重点
实验室
中国机械科学
研究
总院集团
有限公司
安徽奥飞声学科技
有限公司
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期319-325,共7页
基金
2023年度长三角科技创新共同体联合攻关计划项目(No.2023CSJZN0200)。
文摘
介绍了一种使用反射式数字全息显微镜检测压电式MEMS水听器中振膜结构幅频特性的方法。首先采用光学方法测量得到水听器上振膜结构的静态形貌,再利用压电材料的逆压电效应对压电薄膜施以一定区间频率的电激励,经数字全息显微镜表征动态三维形貌,记录振膜在不同频率下的动态响应情况,以获得其特征频率、特征频率处的振型等关键信息。试验结果表明,该方法能较好地表征振膜结构的静态形貌、特征频率、振型等特性,有助于加速压电式微机电系统(MEMS)水听器的迭代开发。
关键词
微机电系统(MEMS)
压电水听器
振膜结构
数字全息显微镜
幅频特性
Keywords
MEMS
piezoelectric hydrophone
diaphragm structure
DHM
amplitude frequency characteristic
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN912 [电子电信—通信与信息系统]
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作者
出处
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被引量
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1
压电式MEMS水听器振膜结构的幅频特性检测研究
宋辰阳
李建友
李冠华
李根梓
《压电与声光》
北大核心
2025
0
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