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不同周期膜系结构对1064nm高反膜的激光损伤阈值的影响 被引量:1
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作者 葛锦蔓 苏俊宏 +2 位作者 徐均琪 陈磊 杨利红 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期385-390,共6页
基频高反膜元件由于较易受到激光损伤而严重影响激光系统正常工作,因此研究高反膜的激光损伤原因及损伤机理成为一个急需解决的问题。本文搭建激光损伤阈值测试平台,对不同周期膜系结构的1064 nm激光高反膜的激光损伤阈值的影响进行了... 基频高反膜元件由于较易受到激光损伤而严重影响激光系统正常工作,因此研究高反膜的激光损伤原因及损伤机理成为一个急需解决的问题。本文搭建激光损伤阈值测试平台,对不同周期膜系结构的1064 nm激光高反膜的激光损伤阈值的影响进行了研究。研究结果表明,相比较于G|(LH)^9L|A膜系,G|(HL)^9L|A这种周期结构的薄膜的激光损伤阈值较高,且损伤形貌以熔融型为主。 展开更多
关键词 激光薄膜 激光损伤 电场分布 弱吸收
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