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激光探针法研究高压硅pn结表面电场
1
作者
田敬民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期54-58,共5页
本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论.
关键词
激光探针法
高压硅
PN结
全文增补中
题名
激光探针法研究高压硅pn结表面电场
1
作者
田敬民
机构
陕西机械学院自动控制系半导体器件教研室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期54-58,共5页
文摘
本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论.
关键词
激光探针法
高压硅
PN结
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
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1
激光探针法研究高压硅pn结表面电场
田敬民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989
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