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微小缝隙式层流流量计设计及测量特性研究
被引量：
14
1
作者
王筱庐
陈玉春
+1 位作者
蒋宇翔
张凯
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期48-54,共7页
为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算。对一台设计流量范围约为0~280 mL/min的试验件进行了试验,试验中使用的标准装置为活塞标准装置,合成不确定度为0.1...
为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算。对一台设计流量范围约为0~280 mL/min的试验件进行了试验,试验中使用的标准装置为活塞标准装置,合成不确定度为0.12%,扩展不确定度为0.24%(k=2)。试验结果显示,在未使用任何修正系数的前提下,试验件最大引用误差为-0.90%。试验件基本达到准确度1.0级的设计指标,量程比10∶1。此外试验件线性度优良,其Remaxde/l值为3.42,大于传统要求的2~2.5,说明此结构设计可有效克服突扩突缩带来的非线性影响。
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关键词
层流流量计
微小气体流量
缝隙式
不确定度
线性度
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职称材料
题名
微小缝隙式层流流量计设计及测量特性研究
被引量：
14
1
作者
王筱庐
陈玉春
蒋宇翔
张凯
机构
西北工业大学动力与能源学院
陕西易度智能科技有限公司
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期48-54,共7页
文摘
为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算。对一台设计流量范围约为0~280 mL/min的试验件进行了试验,试验中使用的标准装置为活塞标准装置,合成不确定度为0.12%,扩展不确定度为0.24%(k=2)。试验结果显示,在未使用任何修正系数的前提下,试验件最大引用误差为-0.90%。试验件基本达到准确度1.0级的设计指标,量程比10∶1。此外试验件线性度优良,其Remaxde/l值为3.42,大于传统要求的2~2.5,说明此结构设计可有效克服突扩突缩带来的非线性影响。
关键词
层流流量计
微小气体流量
缝隙式
不确定度
线性度
Keywords
laminar flow meter
micro gas flow
gap-type
uncertainty
linearity
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微小缝隙式层流流量计设计及测量特性研究
王筱庐
陈玉春
蒋宇翔
张凯
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
14
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