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多层喷射沉积规律 被引量:19
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作者 陈振华 黄培云 +2 位作者 蒋向阳 杨伏良 周多三 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 1995年第4期70-72,共3页
对多层喷射沉积规律进行了研究。结果表明,多层喷射沉积工艺的最佳沉积条件取决于喷射距离、基体和加热坩埚的运动速度、金属液体的过热温度以及气体与金属液体的质量比等工艺参数。多层喷射沉积工艺和传统的单次喷射沉积工艺相比,易... 对多层喷射沉积规律进行了研究。结果表明,多层喷射沉积工艺的最佳沉积条件取决于喷射距离、基体和加热坩埚的运动速度、金属液体的过热温度以及气体与金属液体的质量比等工艺参数。多层喷射沉积工艺和传统的单次喷射沉积工艺相比,易于实现最佳沉积条件。 展开更多
关键词 多层喷射沉积 喷射沉积 工艺参数 最佳化
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