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题名硅材料及其电化学研究进展
被引量：7
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作者
宋晓岚
杨海平
史训达
何希
邱冠周
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机构
长沙中南大学资源加工与生物工程学院无机材料系
有研半导体材料股份有限公司硅片制造事业部
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期21-25,共5页
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基金
国家自然科学基金项目资助(59925412)
湖南省自然科学基金项目资助(03JJY3015)
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文摘
硅材料是现代信息科技的主要载体,而其电化学研究则是正确认识和应用硅材料的前提和基础。从硅的表面和界面特性出发,综述了硅的电化学方面的研究进展,阐述了硅电极的阳极和阴极反应行为,总结了硅的刻蚀以及多孔硅的电化学形成机制和影响因素,并进一步展望了硅材料电化学研究的未来发展方向。
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关键词
硅材料
电化学
电极反应
刻蚀
多孔硅
电化学研究
信息科技
界面特性
反应行为
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Keywords
silicon materials, electrochemistry, electrode reaction, etching, porous silicon
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分类号
TN304.12
[电子电信—物理电子学]
TQ423.96
[化学工程]
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