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利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体(英文)
被引量：
1
1
作者
孙慧婷
宋正勋
+3 位作者
翁占坤
王大鹏
蒋伊爽
于烨
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S1期1-6,共6页
光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而...
光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性;经过实验尝试,最终得到了能够制造符合要求的光子晶体的尺寸参数.制作这样的光子晶体要在涂有光刻胶的硅基质上进行一步干涉光刻,为完成这个光刻实验搭建了三光束光刻光路,通过多次曝光实验得到了符合仿真数据的光子晶体结构参数.通过利用双光子聚合的方法在光刻胶上可以制作点或是线缺陷,再利用如三电极电化学(HF溶液)等方法对光刻胶进行刻蚀,可制造空气柱深宽比相对较大的光子晶体.将这个模型记录在硅基底上,形成的光子晶体就具有如滤波等特殊能力.也可以利用相同的原理得到想要的光子晶体结构,以控制不同频段上的光波.这种工艺提供了更快速、低成本的制造更大型、更复杂的所需光子晶体结构的可能.
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关键词
光子晶体
干涉光刻
双光子聚合
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职称材料
轻敲式AFM探针驱动方法研究
2
作者
杨光
王作斌
宋正勋
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期91-93,共3页
介绍了以DDS芯片AD9851为核心,通过Atmega16单片机I/O口模拟SPI总线控制AD9851,实现了1 Hz～60 MHz频率范围内连续正弦信号输出,最小步进0.04 Hz。单片机与DDS芯片AD9851的结合为轻敲式原子力显微镜探针的驱动提供了稳定精确的正弦信号源。
关键词
正弦信号
直接数字频率合成
原子力显微镜
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职称材料
题名
利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体(英文)
被引量：
1
1
作者
孙慧婷
宋正勋
翁占坤
王大鹏
蒋伊爽
于烨
机构
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S1期1-6,共6页
基金
The National Natural Science Foundation of China(No.61176002)
Jilin Provincial Science&Technology Department(No.20090401)
Bureau of Science&Technology of Changchun City(No.09GH07)
文摘
光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性;经过实验尝试,最终得到了能够制造符合要求的光子晶体的尺寸参数.制作这样的光子晶体要在涂有光刻胶的硅基质上进行一步干涉光刻,为完成这个光刻实验搭建了三光束光刻光路,通过多次曝光实验得到了符合仿真数据的光子晶体结构参数.通过利用双光子聚合的方法在光刻胶上可以制作点或是线缺陷,再利用如三电极电化学(HF溶液)等方法对光刻胶进行刻蚀,可制造空气柱深宽比相对较大的光子晶体.将这个模型记录在硅基底上,形成的光子晶体就具有如滤波等特殊能力.也可以利用相同的原理得到想要的光子晶体结构,以控制不同频段上的光波.这种工艺提供了更快速、低成本的制造更大型、更复杂的所需光子晶体结构的可能.
关键词
光子晶体
干涉光刻
双光子聚合
Keywords
Photonic crystals
Holographic lithography
Two-photon polymerization
分类号
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
轻敲式AFM探针驱动方法研究
2
作者
杨光
王作斌
宋正勋
机构
长春
理
工
大学
电子信息
工
程学院
长春理工大学纳米测量与制造技术中心
吉林省
纳米
操纵装配
与制造
国际科技合作基地
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期91-93,共3页
基金
国家国际科技合作专项资助项目(2012DFA11070)
吉林省科技厅国际合作资助项目(20100703)
文摘
介绍了以DDS芯片AD9851为核心,通过Atmega16单片机I/O口模拟SPI总线控制AD9851,实现了1 Hz～60 MHz频率范围内连续正弦信号输出,最小步进0.04 Hz。单片机与DDS芯片AD9851的结合为轻敲式原子力显微镜探针的驱动提供了稳定精确的正弦信号源。
关键词
正弦信号
直接数字频率合成
原子力显微镜
Keywords
Sine Signal
DDS
AFM
分类号
TP37 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体(英文)
孙慧婷
宋正勋
翁占坤
王大鹏
蒋伊爽
于烨
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
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职称材料
2
轻敲式AFM探针驱动方法研究
杨光
王作斌
宋正勋
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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