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高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法
被引量：
3
1
作者
王洪浩
明名
+1 位作者
吕天宇
邹惠莹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第4期141-147,共7页
环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行...
环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行数学公式推导及参数运算,建立被测非球面的有效数学模型。全口径的拼接结果与原始波面基本一致,二者PV和RMS差值分别为0.015 1λ、0.004 7λ(λ为632.8 nm),残差的PV和RMS值为0.043 5λ、0.005 2λ,验证该算法的有效性和准确性。
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关键词
高陡度
高精度检测
环形子孔径拼接
拼接算法
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职称材料
题名
高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法
被引量：
3
1
作者
王洪浩
明名
吕天宇
邹惠莹
机构
中国科学院
长春
光学精密机械与物理研究所
长春师凯科技产业有限责任公司
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016年第4期141-147,共7页
文摘
环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行数学公式推导及参数运算,建立被测非球面的有效数学模型。全口径的拼接结果与原始波面基本一致,二者PV和RMS差值分别为0.015 1λ、0.004 7λ(λ为632.8 nm),残差的PV和RMS值为0.043 5λ、0.005 2λ,验证该算法的有效性和准确性。
关键词
高陡度
高精度检测
环形子孔径拼接
拼接算法
Keywords
high-gradient
high-precision testing
annular sub-aperture stitching
stitching algorithm
分类号
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法
王洪浩
明名
吕天宇
邹惠莹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2016
3
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