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大相对孔径紫外成像仪光学系统设计被引量：11: 1; 作者崔穆涵田志辉 +4 位作者周跃章明朝陈雪李佳起易翔宇《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期212-218,共7页; 为解决目前大多数紫外成像仪存在的定位和指向精度差、色差较大、分辨率及光能利用率不足等问题,设计了一款高分辨率的大孔径消色差紫外光学系统。首先,根据电晕放电检测的应用需求,提出了紫外光学系统的总体设计。然后利用熔石英及氟... 展开更多; 关键词电晕探测紫外成像仪光学系统大孔径消色差; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于自由曲面反射镜的低投射比超短焦投影物镜的光学设计被引量：9: 2; 作者于百华田志辉 +2 位作者苏东奇隋永新杨怀江《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期363-371,共9页; 为了设计低投射比的超短焦投影物镜,本文采用自由曲面和折反式的光路结构设计了一种具有低投射比的超短焦投影物镜系统。该物镜由一个旋转对称的折射透镜组和一个自由曲面反射镜组成。采用11.938 mm的数字微镜器件(DMD)作为空间光调制... 展开更多; 关键词光学系统设计超短焦投影系统自由曲面; 在线阅读下载PDF 职称材料

浸没式光刻投影物镜光学薄膜被引量：4: 3; 作者毕丹丹张立超时光《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期745-764,共20页; 深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光... 展开更多; 关键词浸没式光刻光学薄膜膜系设计环境适应性激光辐照寿命; 在线阅读下载PDF 职称材料

超短焦投影系统中自由曲面的多视场优化迭代设计方法被引量：5: 4; 作者于百华田志辉 +3 位作者苏东奇高松涛隋永新杨怀江《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期40-47,共8页; 为解决超短焦投影系统中自由曲面反射镜的设计难题,提出一种适用于大视场成像光学系统的自由曲面设计方法,即多视场优化迭代法.该方法以一个反射平面作为设计起始面,基于多视场下物像的对应关系,并根据反射面的法线方向,通过加权优化迭... 展开更多; 关键词几何光学光学设计设计方法自由曲面超短焦投影系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究被引量：1: 5; 作者王学亮彭吉 +4 位作者徐立松李朋志陈雪郑楠李佩玥《现代电子技术》北大核心 2020年第2期14-16,19,共4页; 为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究。首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合... 展开更多; 关键词压电陶瓷步进式驱动器定位控制负载实验多项式拟合数据分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于i.MX6Q平台的图像融合实现被引量：3: 6; 作者宁红扬李佩玥于淼《现代电子技术》北大核心 2019年第6期1-5,9,共6页; 为了实现手持式电晕移动检测设备的技术验证,选用NXP公司低功耗、高性能的i.MX6Q嵌入式开发平台进行双路视频图像的采集和融合。文中构建以视频图像处理单元(VPU)、图像处理单元(IPU)以及基于Linux V4L2架构的摄像头为主的驱动框架,并... 展开更多; 关键词 i.MX6Q平台图像融合双路摄像头程序设计 Alphablending算法内核驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大相对孔径紫外成像仪光学系统设计被引量：11: 1; 作者崔穆涵田志辉周跃章明朝陈雪李佳起易翔宇; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春国科精密光学技术有限公司; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期212-218,共7页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.2012AAXXX707)~~; 文摘为解决目前大多数紫外成像仪存在的定位和指向精度差、色差较大、分辨率及光能利用率不足等问题,设计了一款高分辨率的大孔径消色差紫外光学系统。首先,根据电晕放电检测的应用需求,提出了紫外光学系统的总体设计。然后利用熔石英及氟化钙两种材料的不同色散特性,根据改进的双胶合透镜结构设计了一款大孔径的消色差紫外光学系统,并对该系统进行了公差分析。设计的紫外光学系统在全视场全探测范围内点列图均方根直径<0.08 mm,分辨率为20 lp/mm,满足电力行业中对电晕探测的需求。; 关键词电晕探测紫外成像仪光学系统大孔径消色差; Keywords corona detection ultraviolet camera optical system large aperture achromatic; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于自由曲面反射镜的低投射比超短焦投影物镜的光学设计被引量：9: 2; 作者于百华田志辉苏东奇隋永新杨怀江; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学长春国科精密光学技术有限公司; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期363-371,共9页; 基金国家科技重大专项(No.2009ZX02205,No.2016ZX02201)。; 文摘为了设计低投射比的超短焦投影物镜,本文采用自由曲面和折反式的光路结构设计了一种具有低投射比的超短焦投影物镜系统。该物镜由一个旋转对称的折射透镜组和一个自由曲面反射镜组成。采用11.938 mm的数字微镜器件(DMD)作为空间光调制器产生图像源。采用法线加权迭代优化的方法计算自由曲面。最后,分析了系统的性能。仿真结果表明:超短焦投影物镜可在580 mm的投影距离处实现3048 mm尺寸的大屏幕投影,系统的投射比低至0.19,系统的最大畸变小于0.72%。能够满足低投射比超短焦投影物镜的设计要求。该投影系统具有低投射比、低畸变、投影效果好等优点,可为超短焦投影系统的进一步发展提供有益参考。; 关键词光学系统设计超短焦投影系统自由曲面; Keywords optical system design ultra-short-focus projection system freeform surfaces; 分类号 O435.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名浸没式光刻投影物镜光学薄膜被引量：4: 3; 作者毕丹丹张立超时光; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心中国科学院大学长春国科精密光学技术有限公司; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期745-764,共20页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)~~; 文摘深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光学系统所需的大角度保偏膜系;对物镜中最关键的浸液薄膜的液体环境适应性、疏水及防污染等关键问题进行了讨论;对衡量浸没式光刻系统性能的重要因素镀膜元件激光辐照寿命,尤其是浸液环境下的元件辐照寿命进行了分析。; 关键词浸没式光刻光学薄膜膜系设计环境适应性激光辐照寿命; Keywords immersion lithography optical coatings coating system design environmental adaptability lifetime under laser irradiation; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超短焦投影系统中自由曲面的多视场优化迭代设计方法被引量：5: 4; 作者于百华田志辉苏东奇高松涛隋永新杨怀江; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心中国科学院大学长春国科精密光学技术有限公司; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期40-47,共8页; 基金国家科技重大专项(No.2009ZX02205)~~; 文摘为解决超短焦投影系统中自由曲面反射镜的设计难题,提出一种适用于大视场成像光学系统的自由曲面设计方法,即多视场优化迭代法.该方法以一个反射平面作为设计起始面,基于多视场下物像的对应关系,并根据反射面的法线方向,通过加权优化迭代计算得到自由曲面反射面的形貌.采用基于该方法得到的自由曲面优化设计了一种折反式超短焦投影物镜,可将0.65inch的数字微镜器件芯片在230mm投影距离处放大为100inch的投影画面.物镜的调制传递函数在0.43lp/mm处优于0.4,最大畸变优于1%.该方法简单易行,可为大视场成像系统中自由曲面的设计提供有益参考.; 关键词几何光学光学设计设计方法自由曲面超短焦投影系统; Keywords Geometric optics Optical design Design method Freeform surfaces Ultra-short-focus projection system; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究被引量：1: 5; 作者王学亮彭吉徐立松李朋志陈雪郑楠李佩玥; 机构中国科学院大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春国科精密光学技术有限公司; 出处《现代电子技术》北大核心 2020年第2期14-16,19,共4页; 基金国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02205); 文摘为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究。首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合结果,将其作为被测驱动器的位移-负载力关系;最后,随机选取了其他的负载力条件,将实测位移量与通过拟合曲线进行计算的结果进行对比,验证该位移-负载力模型的准确性。实验结果表明,使用该方法获得的步进式压电陶瓷驱动器的位移-负载力模型可用2阶多项式关系进行描述,与实测值的误差约为1%,可为后续针对该驱动器进行定位控制算法设计提供支撑。; 关键词压电陶瓷步进式驱动器定位控制负载实验多项式拟合数据分析; Keywords piezoceramic stepping actuator positioning control load experiment polynomial fitting data analysis; 分类号 TN305.7-34 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于i.MX6Q平台的图像融合实现被引量：3: 6; 作者宁红扬李佩玥于淼; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心中国科学院大学长春国科精密光学技术有限公司; 出处《现代电子技术》北大核心 2019年第6期1-5,9,共6页; 基金国家"863"计划资助项目(201103A707)~~; 文摘为了实现手持式电晕移动检测设备的技术验证,选用NXP公司低功耗、高性能的i.MX6Q嵌入式开发平台进行双路视频图像的采集和融合。文中构建以视频图像处理单元(VPU)、图像处理单元(IPU)以及基于Linux V4L2架构的摄像头为主的驱动框架,并在内核驱动程序的基础上,分别对硬件抽象层、应用程序框架层以及应用程序层进行访问接口与控制算法的程序设计。最终通过对双路摄像头采集的图像进行Alpha blending测试结果表明,人机交互界面友好,视频采集图像稳定清晰,融合运行效果流畅,为后续紫外可见光双路探测的研究奠定了基础。; 关键词 i.MX6Q平台图像融合双路摄像头程序设计 Alphablending算法内核驱动; Keywords i.MX6Q platform image fusion dual.channel camera program design Alpha.blending algorithm kernel drive; 分类号 TN911.73.34 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	大相对孔径紫外成像仪光学系统设计	崔穆涵田志辉周跃章明朝陈雪李佳起易翔宇	《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	11	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于自由曲面反射镜的低投射比超短焦投影物镜的光学设计	于百华田志辉苏东奇隋永新杨怀江	《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	浸没式光刻投影物镜光学薄膜	毕丹丹张立超时光	《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	超短焦投影系统中自由曲面的多视场优化迭代设计方法	于百华田志辉苏东奇高松涛隋永新杨怀江	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究	王学亮彭吉徐立松李朋志陈雪郑楠李佩玥	《现代电子技术》北大核心	2020	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于i.MX6Q平台的图像融合实现	宁红扬李佩玥于淼	《现代电子技术》北大核心	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料