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精确测量长凹球面曲率半径的差分干涉微机系统
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作者 史秀荣 张星晔 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第6期97-102,共6页
给出了一种在比较短的工作长度上精确测量长凹球面镜曲率半径的单片微机测试系统,介绍了该微机系统的基本原理、计算方法、硬件电路设计、误差分析及在应用中必须的详细资料。
关键词 球面镜 曲率半径 半径测量 单片机 接口 光栅
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