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题名低温漂薄膜体声波谐振器研究
被引量：1
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作者
蒋世义
蒋平英
刘娅
甄静怡
徐阳
彭霄
唐中剑
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机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
重庆青年职业技术学院人工智能学院
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期171-174,共4页
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基金
重庆市教委科学技术研究基金资助项目(KJQN201904106)。
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文摘
该文介绍了一种基于空腔结构的温度补偿型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)。通过在压电层上方生长SiO_(2)温度补偿层,实现谐振器的低温漂。未采用温度补偿的薄膜体声波谐振器,其频率温度系数约为-25×10^(-6)/℃。通过适当的膜层结构设计,可使其频率温度系数在±3×10^(-6)/℃。结果表明,由于温度补偿层的增加,导致器件总体压电效应降低,使谐振器的有效机电耦合系数降低。低温漂谐振器的实现,为窄带低温漂滤波器的研制提供了有效的设计和工艺技术支撑。
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关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR)
频率温度系数
低温漂
温度补偿
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Keywords
film bulk acoustic resonator(FBAR)
temperature coefficient of frequency
low temperature drift
temperature compensation
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN713
[电子电信—电路与系统]
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题名基于单轴光纤陀螺的单兵高精度寻北测角方法研究
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作者
张燕
谢长城
阳洪
唐中剑
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机构
重庆青年职业技术学院人工智能学院
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第1期134-138,共5页
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基金
基于车载式MEMS捷联惯性导航系统的研究与应用(NO.KJQN202104103)
重庆市高等职业教育教学改革研究项目(Z212043)。
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文摘
光纤陀螺基于Sagnac效应测量角速度,其受外界环境的干扰很小且具有很好的自主性,因此,基于光纤陀螺的寻北测角系统在军事领域得到了一系列应用。为了满足单兵寻北测角的小型化、快速性的使用要求,研究了基于单轴光纤陀螺的单兵高精度寻北测角装置在倾斜摆放下的自动、快速寻北测角方法。在装置测量过程中可能存在干扰,进而影响寻北测角精度,通过研究装置在寻北测角过程中传感器的输出特征,并对干扰进行识别和处理,得到了高精度的寻北测角信息。最后通过试验对比和分析,验证了倾斜条件下干扰的识别与处理方法的有效性,满足单兵侦察时高精度寻北测角的需求。
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关键词
光纤陀螺
单兵
寻北测角
干扰识别与处理
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Keywords
fiber optic gyroscope
individual soldier
north seeking angle measurement
interference identification and processing
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
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