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基于OEE算法的多品种混线声表面波滤波器晶圆制造生产线产能诊断和改善
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作者 卢丹丹 冷俊林 +2 位作者 吴金臻 程娅莉 杨京 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期834-839,共6页
声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)... 声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)应用于声表面波滤波器晶圆制造产能诊断中,研究建立了诊断指标体系和计算模型,并应用到某企业工艺线产能提升中。结果表明,产能诊断和改善准确性提升,降低投资额效果明显,可用于帮助企业开展产线建设。 展开更多
关键词 声表面波滤波器晶圆制造生产线 多品种混线 产能瓶颈 OEE
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