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PCB型电磁感应式直线位移传感器短周期误差抑制方法
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作者 汤其富 李咪 +2 位作者 赵静 郭羊庭 彭松 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期1314-1321,共8页
在直线位移测量中,基于PCB(printed circuit board)工艺的新型电磁感应式位移传感器因具有较大栅距,在制造、装配等工艺环节易导致短周期误差.在所导致的短周期误差类型中,1次和4次误差是PCB型电磁感应式直线位移传感器中最常见的短周... 在直线位移测量中,基于PCB(printed circuit board)工艺的新型电磁感应式位移传感器因具有较大栅距,在制造、装配等工艺环节易导致短周期误差.在所导致的短周期误差类型中,1次和4次误差是PCB型电磁感应式直线位移传感器中最常见的短周期误差.为减小测量过程中产生的1次和4次误差,本文从输出信号出发,针对此2种误差的产生机理开展研究,并提出一种不依赖外部基准的误差自我修正方法.首先,从理论层面分析短周期1次和4次误差的来源,以及2种误差与传感器原始SIN(sine)和COS(cosine)信号的函数关系;然后,建立基于传感器原始SIN和COS信号特征的短周期误差函数模型,并根据本文传感器样机的实测数据计算出误差函数模型中1次和4次误差的相应参数;最后,将1次和4次误差模型用于传感器样机的误差补偿.研究结果表明:补偿后的样机实验结果显示误差峰值由51.6μm减小到36.2μm,其中,短周期1次误差减小了约64.5%,短周期4次误差减小了约83.0%. 展开更多
关键词 传感器 直线位移 电磁感应 误差抑制 自校正
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