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金刚石薄膜内应力研究现状 被引量:10
1
作者 方亮 王万录 +2 位作者 王健 廖克俊 丁培道 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期39-41,共3页
主要从内应力的测定方法、内应力与沉积工艺参数之间的关系两方面对国内外金刚石薄膜内应力的研究现状进行了综述。
关键词 金刚石 薄膜 内应力 CVD 研究 现状
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金刚石薄膜压阻效应研究现状 被引量:2
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作者 方亮 王万录 +2 位作者 丁培道 廖克俊 王健 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期34-36,共3页
对硼掺杂p型金刚石薄膜压阻效应的国内外研究现状进行了综述,并对p型金刚石薄膜具有非常显著的压阻效应的产生机制进行了初步分析讨论。
关键词 金刚石 薄膜 压阻效应 CVD 研究综述
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P型金刚石薄膜压阻效应的理论研究 被引量:1
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作者 方亮 王万录 +2 位作者 丁培道 廖克俊 王健 《重庆大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第1期78-81,92,共5页
结合形变势理论和价带分裂模型,对硼掺杂P型金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论。结果表明,金刚石中轻、重空穴有效质量的巨大差异是导致其具有显著压阻效应的主要原因之一。并推导出应变诱导轻、重空穴带分裂时压阻因子的近似计... 结合形变势理论和价带分裂模型,对硼掺杂P型金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论。结果表明,金刚石中轻、重空穴有效质量的巨大差异是导致其具有显著压阻效应的主要原因之一。并推导出应变诱导轻、重空穴带分裂时压阻因子的近似计算公式,计算结果与实验结果一致。 展开更多
关键词 金刚石 薄膜 化学汽相沉积 压阻效应 P型
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