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新型胃液潜血智能检测胶囊系统设计 被引量：1
1
作者 吴雪莉 刘洪英 +2 位作者 皮喜田 朱兰 高小强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第8期98-101,共4页
设计了一种能够自动识别胃液潜血信息的智能电子胶囊微系统,以无创可吞服智能胶囊来自动识别胃液潜血,将检测结果无线发送至体外,体外装置接收显示检测结果图像信息,通过模板匹配算法自动识别潜血状态。在离体状态下对该系统进行了原理... 设计了一种能够自动识别胃液潜血信息的智能电子胶囊微系统,以无创可吞服智能胶囊来自动识别胃液潜血,将检测结果无线发送至体外,体外装置接收显示检测结果图像信息,通过模板匹配算法自动识别潜血状态。在离体状态下对该系统进行了原理性实验,结果表明:该系统能够较好地识别血红蛋白浓度为6～1800 mg/L的胃液潜血,并进行自动报警。系统结构原理新颖,操作简便,为早期胃癌的普查初筛提供了一种创新的方法。 展开更多
关键词 智能胶囊 胃液潜血 图像传感器 无线发射
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全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计
2
作者 方亮 汪为民 +5 位作者 王强 程欣 范真节 张辉 赵汝进 刘恩海 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期74-84,共11页
针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑... 针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽度和支撑梁厚度等参数,再根据微开关单元结构的数学模型对支撑梁数目及长度进行理论分析,优化设计了微开关阵列主要结构参数。利用电磁场仿真软件和有限元仿真软件对微开关单元的驱动特性进行仿真分析,结果表明,仿真计算的微开关单元驱动电压为106.4 V时可以开启微开关单元,与理论计算结果114 V基本吻合,验证了微开关阵列设计参数的可行性。此外,利用杂光分析软件对微开关阵列引入系统内的杂散光进行仿真分析,结果表明,微开关阵列的表面反射率对系统杂散光的影响较小,即使80%的表面反射率也不会明显增加视场选通成像系统的杂散光。该研究为视场选通成像系统的微开关阵列提供了一种有效的设计方案,推动了视场选通成像系统的实际应用。 展开更多
关键词 全天时星敏感器 视场选通 背景光抑制 静电驱动 微开关阵列 占空比 响应时间
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新型体声波传感器读出电路的实验验证
3
作者 高杨 黄振华 尹汐漾 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1822-1826,共5页
为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能... 为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz^1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器,配合射频信号发生器和示波器,获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果。与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比,两者吻合较好,实验验证了"基于六端口反射计的BAW传感器读出电路"可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义。 展开更多
关键词 BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪
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基于颜色识别的肠道出血诊疗微系统设计 被引量：4
4
作者 燕雪萍 刘洪英 +3 位作者 皮喜田 王刚 朱兰 郑小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期92-95,共4页
提出了一种可自动识别肠道出血区域并具有药物释放功能的微系统方案,设计了基于颜色传感器的出血检测模块和可用于粘附肠道血液的特殊吸附性薄片。引入HSL(色相Hue、饱和度Saturation、亮度Light)颜色空间法,根据出血与非出血区域色相H... 提出了一种可自动识别肠道出血区域并具有药物释放功能的微系统方案,设计了基于颜色传感器的出血检测模块和可用于粘附肠道血液的特殊吸附性薄片。引入HSL(色相Hue、饱和度Saturation、亮度Light)颜色空间法,根据出血与非出血区域色相H值的差异来实现肠道出血的智能识别,针对微量出血和较大量出血2种情况提出了不同的识别算法。实验结果表明:根据色相H值的变化可将血红蛋白浓度C>2.375 g/L的人体血液样本与无血红蛋白的模拟肠液明显区分开。当满足设定的出血阈值条件时,智能胶囊可成功触发药物释放,整个系统结构设计简单、可靠。 展开更多
关键词 肠道出血 颜色传感器 HSL颜色空间 药物释放 MEMS技术
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微流控细胞芯片LED诱导荧光检测微系统 被引量：2
5
作者 李栋顺 徐溢 +3 位作者 彭金兰 周桢 甘俊 王尧 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期49-53,共5页
基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片... 基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片发光二极管(LED)诱导荧光的快速检测微系统,实现了对低浓度(≤40 Cell/mL)荧光标记的HepG2肝癌细胞悬浮液样本的定量计数和测试,而且在血液细胞共存的条件下,仍可以有效地对血液中少量HepG2肝癌细胞进行荧光计数和测试.整个系统结构简单、操作方便且检测灵敏度较高. 展开更多
关键词 微流控芯片 HEPG2肝癌细胞 细胞检测 发光二极管(LED)诱导荧光检测微系统
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电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化 被引量：2
6
作者 陈亮 顾雯雯 +1 位作者 温泉 李东玲 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第S02期579-585,共7页
基于现代农业发展对微型近红外光谱仪的迫切需求,对微型近红外光谱仪的电磁式MOEMS(Micro optical electronic mechanical system)扫描光栅微镜驱动系统进行结构优化改进,旨在解决MOEMS扫描光栅微镜驱动电压高、扫描角度小等问题。通过... 基于现代农业发展对微型近红外光谱仪的迫切需求,对微型近红外光谱仪的电磁式MOEMS(Micro optical electronic mechanical system)扫描光栅微镜驱动系统进行结构优化改进,旨在解决MOEMS扫描光栅微镜驱动电压高、扫描角度小等问题。通过利用专业磁场仿真软件Maxwell 16.0对不同尺寸和材料属性永磁铁进行优化仿真,得到牌号分别为N38和N52的钕铁硼(NdFeB)作为电磁式MOEMS扫描光栅微镜的工作磁铁。在此基础上,设计制造2个相同尺寸的电磁式MOEMS扫描光栅微镜芯片A1和A2,并分别结合永磁铁N38和N52开展性能测试。测试结果表明:相比磁性较弱的N38,当电磁式MOEMS扫描光栅微镜芯片A1和A2在永磁铁N52的作用下达到最大机械扫描半角时,驱动电压分别降低6.6%和8.6%,最大机械扫描半角分别增大20.2%和17.4%;此外,通过对比分析机电性能测试结果可知,通过结合永磁铁N52,电磁式MOEMS扫描光栅微镜能够获得更优异的机械扫描性能。研究结果对于提升光谱仪的光谱检测范围以及检测精度具有实际应用价值。 展开更多
关键词 光谱仪 MOEMS扫描光栅微镜 磁场强度 驱动电压 机械扫描半角
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基于阵列型压电能量收集器的中高频自供电系统
7
作者 赵晨曦 吴鹏凡 +4 位作者 邱宇 刘洪涛 刘宇 宋益辉 牟笑静 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期644-650,共7页
随着物联网(IoT)的发展,无线自供电传感是实现感知机体状态和飞行环境的重要技术手段。机体振动具有分布范围广,激励频率高和频域宽等特点,单一压电能量收集器难以有效俘获能量。针对上述问题,研制了一套基于阵列型压电能量收集器的自... 随着物联网(IoT)的发展,无线自供电传感是实现感知机体状态和飞行环境的重要技术手段。机体振动具有分布范围广,激励频率高和频域宽等特点,单一压电能量收集器难以有效俘获能量。针对上述问题,研制了一套基于阵列型压电能量收集器的自供电传感系统。该系统由阵列型压电能量收集器、电源管理电路、传感节点、低功耗蓝牙及微控制器组成。压电能量收集器采用压电厚膜方案,在谐振频率693 Hz,2 g下最高平均输出功率密度为4 mW·cm^(-3)·g^(-2)。电源管理电路采用改进的整流器设计和欠压锁定电路(UVLO)实现高效能量传输与能量释放,充电速度是普通整流器的1.3倍,最大输出功率达到1.32 mW,结合微处理器进行时序控制可达到动态平衡,实现了固定间隔时间持续的数据读取和发送。 展开更多
关键词 压电能量收集 民用飞机振动 电源管理 自供电传感系统
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医用超细内窥镜系统研究 被引量：10
8
作者 徐忠 刘洪英 +3 位作者 皮喜田 余巧 练阳 赵亚雄 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期107-111,共5页
设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台... 设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台对图像数据进行处理,实现了内窥镜图像的清晰显示。以口腔为模拟测试对象对系统摄像功能进行了测试,并与传统内镜进行了对比,证明该系统能够完成内窥镜摄像,且所成图像分辨率高。以口腔溃疡模拟粘膜病变对系统进行测试,证明该系统能有效发现粘膜病变,病变检出率高达90.0%。本系统成像清晰,且镜体直径小,能大大提高病人内镜检查的舒适性,为消化道疾病普查初筛提供了一种理想的解决方案。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 内窥镜 LVDS技术 微型化
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大气压直流辉光放电装置的实验与分析 被引量：8
9
作者 刘坤 廖峥 +3 位作者 侯世英 唐飞 王晓浩 敬刚 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期71-76,共6页
为了能减小放电装置的体积,以应用于便携式仪器,设计了线-筒型大气压直流辉光放电装置,放电间隙仅1.92mm。它主要由内线电极、外筒电极组成,线电极直径为0.16mm,筒电极直径为4mm。观察并说明了从电晕放电向辉光放电过渡的过程。通过放... 为了能减小放电装置的体积,以应用于便携式仪器,设计了线-筒型大气压直流辉光放电装置,放电间隙仅1.92mm。它主要由内线电极、外筒电极组成,线电极直径为0.16mm,筒电极直径为4mm。观察并说明了从电晕放电向辉光放电过渡的过程。通过放电波形和图像验证了其处于辉光放电状态。推导了利用氮气第二正带系计算振动温度和转动温度的算法,并利用光谱仪(Acton Spectrapro 2500i)采集所产生的等离子体的发射光谱,计算得到该等离子体的振动温度在2 360K左右,转动温度在830K左右。将该装置作为离子源应用于敞开式质谱中,实验结果表明,该直流大气压辉光放电形成的等离子体可以很好地离子化甲酸、乙酸、苯酚等物质。 展开更多
关键词 大气压辉光放电 发射光谱 振动温度 转动温度 离子源
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肠道生物机器人中驱动装置的刺激控制系统研究 被引量：4
10
作者 王振宇 皮喜田 +5 位作者 魏亢 周升山 徐林 刘洪英 郑小林 彭承琳 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期731-739,共9页
针对目前肠道诊疗设备的驱动问题,引入一种全新的肠道诊疗设备—肠道生物机器人。利用生物体作为驱动装置,携带肠道诊疗装置进入肠道内,通过体外的控制中心遥控生物体的运动行为,实现诊疗装置在肠道内主动前进、后退和定点泊位。选取黄... 针对目前肠道诊疗设备的驱动问题,引入一种全新的肠道诊疗设备—肠道生物机器人。利用生物体作为驱动装置,携带肠道诊疗装置进入肠道内,通过体外的控制中心遥控生物体的运动行为,实现诊疗装置在肠道内主动前进、后退和定点泊位。选取黄鳝作为肠道生物机器人的生物体,并在了解其运动控制机理的基础上,设计出刺激控制系统。该系统由刺激电极和刺激器两部分组成,其刺激电极为表面式刺激电极和植入式刺激电极;其刺激器由LabVIEW软件和数据采集卡构成。采用该系统进行体外刺激控制实验,初步获得控制黄鳝前进的方法,证实该系统的可行性。 展开更多
关键词 生物机器人 肠道诊疗 电刺激 控制
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MCP-SSHI接口电路实现多通道宽频压电能量的高效提取
11
作者 李继祯 胡宁 +5 位作者 吉振峰 张诗琪 赵晨曦 周美彤 吴良科 牟笑静 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期181-189,共9页
随着物联网和智能系统的快速发展,对传感器网络中能量采集技术的需求不断增加。针对多通道宽频压电能量信号特征差异大、能量提取效率低的问题,提出了一种适用于弱耦合环境的多通道并联同步开关电感(MCP-SSHI)接口电路。该电路保持了高... 随着物联网和智能系统的快速发展,对传感器网络中能量采集技术的需求不断增加。针对多通道宽频压电能量信号特征差异大、能量提取效率低的问题,提出了一种适用于弱耦合环境的多通道并联同步开关电感(MCP-SSHI)接口电路。该电路保持了高模块的拓展性和结构的简洁性,同时还具备处理任意相位关系(0~2π)多通道输入电压的能力。测试结果表明,在处理六路压电能量收集器(PEH)信号时,MCP-SSHI电路可高效提取多通道电能,其能量提取效率高达79.96%,是传统接口电路功率增益的3.24倍。 展开更多
关键词 压电能量收集 电源管理 多通道能量提取 并联同步开关感应(P-SSHI) 自供电
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膜片上薄膜体声波谐振器型微加速度计 被引量：4
12
作者 高杨 何婉婧 +2 位作者 李君儒 黄振华 蔡洵 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期262-269,共8页
针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,... 针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR型微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。 展开更多
关键词 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 灵敏度
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消化道生理参数检测胶囊系统的研究进展 被引量：4
13
作者 刘洪英 李晓华 +1 位作者 皮喜田 贾子如 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第12期1-3,7,共4页
胃肠道内的生理参数是评价胃肠道动力性疾病的重要参数。传统的插管方法会给病人带来严重的不适感,且会影响到病人的正常生活。为了克服传统插管方法的缺点,出现了一种新型的监测生理参数的胶囊系统,它可以根据生理参数的差异来诊断胃... 胃肠道内的生理参数是评价胃肠道动力性疾病的重要参数。传统的插管方法会给病人带来严重的不适感,且会影响到病人的正常生活。为了克服传统插管方法的缺点,出现了一种新型的监测生理参数的胶囊系统,它可以根据生理参数的差异来诊断胃肠道疾病。针对生理参数检测胶囊系统对国际研究成果和国内研究现状进行了综述。 展开更多
关键词 生理参数 胶囊系统 消化道
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肠道生物机器人系统的初步研究 被引量：2
14
作者 皮喜田 王振宇 +3 位作者 魏亢 周升山 徐林 刘洪英 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第10期79-82,共4页
介绍一种既能满足无创性要求又能满足驱动性要求的全新肠道诊疗设备——肠道生物机器人系统。该系统包括进入肠道内的诊疗部分和体外控制中心部分,生物作为肠道诊疗部分的驱动装置,通过体外控制中心遥控生物的运动行为,实现肠道诊疗部... 介绍一种既能满足无创性要求又能满足驱动性要求的全新肠道诊疗设备——肠道生物机器人系统。该系统包括进入肠道内的诊疗部分和体外控制中心部分,生物作为肠道诊疗部分的驱动装置,通过体外控制中心遥控生物的运动行为,实现肠道诊疗部分的主动驱动和定点泊位。首先选取黄鳝作为肠道诊疗部分的驱动体,然后根据黄鳝的运动机理,使用LabVIEW编程的电流脉冲刺激器发送刺激信号到表面贴片微神经电极,对黄鳝进行不同环境不同刺激位点的多种刺激实验。获得通过同时刺激躯干前、中部侧线区域控制其前进的方法,为今后研制肠道生物机器人系统样机提供必要的理论基础。 展开更多
关键词 生物机器人系统 肠道诊疗 神经刺激 运动控制
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基于颜色传感器的肠道出血检测胶囊系统 被引量：2
15
作者 皮喜田 王刚 +3 位作者 魏亢 刘洪英 朱兰 郑小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期113-116,119,共5页
提出了一种能够自动识别肠道出血灶并定位的智能电子胶囊微系统方案,设计了肠道出血智能检测胶囊和基于颜色传感器的肠道出血检测传感器,在离体状态下对肠道出血检测传感器进行了原理性实验。结果表明:当模拟肠液中血红蛋白浓度超过0.05... 提出了一种能够自动识别肠道出血灶并定位的智能电子胶囊微系统方案,设计了肠道出血智能检测胶囊和基于颜色传感器的肠道出血检测传感器,在离体状态下对肠道出血检测传感器进行了原理性实验。结果表明:当模拟肠液中血红蛋白浓度超过0.05 g/mL时,该传感器能将其与无血红蛋白模拟肠液区分开。 展开更多
关键词 智能胶囊 肠道出血 颜色传感器 bio—MEMS
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体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法 被引量：3
16
作者 高杨 赵坤丽 赵俊武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1-7,共7页
为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元... 为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元的并联,从而将谐振器有源区面积A上应力/应变场的有限元计算结果与压电薄膜材料的力学特性、谐振器微元的电声学特性关联起来;最后,在射频电路仿真软件中进行等效电路的综合,得到整个BAW谐振器在应力/应变场作用下的阻抗特性曲线及其串/并联谐振频率。当BAW谐振器微元的划分足够细密时,获得的灵敏度分析结果将足够精确。为了论证该方法的原理,给出了一个直观的校核案例。以一个嵌入式FBAR结构的四梁BAW加速度计表头为例,介绍了该方法用于BAW力传感器灵敏度分析的详细过程。虽然案例中只讨论了一种应力/应变型BAW力传感器的单一力敏机理,但该方法具有普适性。并且,当谐振器微元小到接近其压电材料晶格的尺度时,就能与压电薄膜的力-声-电特性的第一性原理计算结果关联起来,实现从微观材料特性到介观器件物理的多尺度计算。 展开更多
关键词 体声波 谐振器 力传感器 灵敏度 有限元 等效电路
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体声波滤波器的设计与微加工方法 被引量：3
17
作者 高杨 蔡洵 贺学锋 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期157-162,共6页
提出了一种易于使用的薄膜体声波(FBAR)滤波器的4步设计方法,以一种FDD-LTE Band7的Rx滤波器为例展示了该方法的应用流程。第一步,根据FBAR滤波器的中心频率和带宽指标,确定FBAR薄膜叠层中各层薄膜的厚度。第二步,得到滤波器的电路结构... 提出了一种易于使用的薄膜体声波(FBAR)滤波器的4步设计方法,以一种FDD-LTE Band7的Rx滤波器为例展示了该方法的应用流程。第一步,根据FBAR滤波器的中心频率和带宽指标,确定FBAR薄膜叠层中各层薄膜的厚度。第二步,得到滤波器的电路结构。第三步,得到每个FBAR单元的谐振区面积;为此,将串联FBAR单元的谐振区面积、并联FBAR单元与串联FBAR单元的谐振区面积比值作为两组优化参数;将给定滤波器的插入损耗和带外抑制指标作为优化目标,利用ADS软件中的梯度优化算法,得到其优化值。第四步,旨在使滤波器的带内纹波最小化。设计中采用一种新的FBAR电极厚度调整方法,故意使串联FBAR的串联谐振频率与并联FBAR的并联谐振频率频率值不等,但相差很小,实现了该目标。由于案例设计结果中,SiO2支撑层的厚度仅300nm,需要在背面通孔刻蚀的微加工工艺中工序保留良好,因此,提出了一种基于绝缘衬底上的Si(SOI)圆片中埋氧层(BOX)缓冲的两步通孔刻蚀工艺方案,该方法利用了BOX的刻蚀自停止特性。研究结果表明,Rx滤波器插入损耗为0.6dB,在Tx频段的带外抑制为40.4dB,带内纹波为0.4dB。由此验证了该设计方法的可行性。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 滤波器 薄膜体声波谐振器(FBAR) 谐振区面积 优化参数 带内纹波
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医用内窥镜微型摄像模组设计 被引量：1
18
作者 徐忠 刘洪英 +3 位作者 余巧 孙良伟 赵亚雄 贾子如 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第10期91-93,103,共4页
设计了一种新型医用内窥镜微型摄像模组。该模组采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器结合低压差分信号(LVDS)传输技术进行设计,使摄像模组直径缩减至5.0mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输。搭建了实验平台对摄像模组的摄像功能进... 设计了一种新型医用内窥镜微型摄像模组。该模组采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器结合低压差分信号(LVDS)传输技术进行设计,使摄像模组直径缩减至5.0mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输。搭建了实验平台对摄像模组的摄像功能进行了测试。结果表明:该模组图像传输距离超过2 m,分辨率达到30万像素,对口腔溃疡模拟粘膜病变的识别率高达90%。其图像分辨率高,传输距离长,使其适用于内镜诊断;其直径小,能大大提高病人内镜检查的舒适性,为超细内镜诊断提供了一种极佳的解决方案。 展开更多
关键词 CMOS摄像模组 内窥镜 低压差分信号技术 微型化
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体声波传感器的系统级行为仿真 被引量：2
19
作者 黄振华 高杨 蔡洵 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期183-185,188,共4页
为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网... 为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网络的端口1连接射频源,端口2与FBAR相连,其他4个端口分别连接4个50Ω的电阻用于读取功率;在Matlab软件中分别使用根心解法和平均解法对FBAR的反射系数进行求解,解得两条反射系数与频率曲线,分析得到了两种反射系数近似计算方法的优劣,并分析了六端口网络工作频带的增宽方法。仿真结果表明,微带六端口网络能准确测量出FBAR的反射系数与频率曲线,证明六端口网络可用于BAW传感器读出电路。 展开更多
关键词 体声波 体声波传感器 薄膜体声波谐振器 六端口网络 读出电路
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固定HRP酶的聚苯乙烯整体微柱在VC含量测定中的应用研究 被引量：1
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作者 徐溢 卢倩 曹强 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1181-1184,共4页
结合整体微柱和固定酶技术,以自制的苯乙烯整体微柱构建了一种固定辣根过氧化物酶(horseradishperoxidase,HRP)的整体微柱,确立了HRP的最佳固定条件,并用于蔬菜中维生素C(vitamin C,VC)含量的测定。采用碱性的Luminol-HRP-H2O2化学发光... 结合整体微柱和固定酶技术,以自制的苯乙烯整体微柱构建了一种固定辣根过氧化物酶(horseradishperoxidase,HRP)的整体微柱,确立了HRP的最佳固定条件,并用于蔬菜中维生素C(vitamin C,VC)含量的测定。采用碱性的Luminol-HRP-H2O2化学发光体系测定VC含量,在6 mg.L-1HRP酶和0.2 mL.min-1过柱速率下,VC浓度在1.0×10-9～1.0×10-7mol.L-1范围内与化学发光强度呈良好的线性关系,检出限为1.76×10-7g.L-1,相对标准偏差为3.57%,建立的固定HRP酶的整体微柱-化学发光检测方法可用于蔬菜中VC含量的测定,测定结果与经典碘量法所得数据一致,经加标回收法测得VC的回收率为98%～103%。 展开更多
关键词 整体微柱 固定酶 化学发光 维生素C(VC)
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