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基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计
被引量：
3
1
作者
刘安平
郭红华
+2 位作者
朱坤
覃国平
王斌波
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期116-121,共6页
原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一。本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式...
原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一。本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容。文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集。新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1nm的分辨率,检测范围为0～2mm×2mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠。
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关键词
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
系统设计
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职称材料
题名
基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计
被引量：
3
1
作者
刘安平
郭红华
朱坤
覃国平
王斌波
机构
重庆大学恒瑞纳米技术研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期116-121,共6页
基金
重庆市科委自然科学基金资助项目(CSTC
2007BB2120)
+1 种基金
重庆大学自然科学青年基金
重庆大学国家大学生创新性实验计划项目(CQUCX-G-2007-14)
文摘
原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一。本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容。文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集。新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1nm的分辨率,检测范围为0～2mm×2mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠。
关键词
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
系统设计
Keywords
scanning tunnelling microscopy
atomic force microscope
system design
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计
刘安平
郭红华
朱坤
覃国平
王斌波
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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