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基于压电材料的振动能量收集器的谐振频率调节
被引量：
16
1
作者
赵兴强
温志渝
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第2期241-244,共4页
振动能量收集器的最大输出电压发生在共振状态,因此其谐振频率应与环境振动频率一致。针对振动能量收集器与环境频率不匹配的问题,采用单自由度模型分析了悬臂梁-质量块结构的振动能量收集器谐振频率等性能,加工并测试了压电式的微型振...
振动能量收集器的最大输出电压发生在共振状态,因此其谐振频率应与环境振动频率一致。针对振动能量收集器与环境频率不匹配的问题,采用单自由度模型分析了悬臂梁-质量块结构的振动能量收集器谐振频率等性能,加工并测试了压电式的微型振动能量收集器样机,结果谐振频率的误差最大为6%。通过质量调节方法进一步将样机的谐振频率调节了10.5Hz的宽度。针对50Hz的振动环境,将谐振频率为58.7Hz的样机调节到了50.4Hz,输出电压提高了4倍。
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关键词
压电悬臂梁
微型振动能量收集器
单自由度模型
谐振频率调节
频率匹配
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职称材料
柔性梁颤振机理在压电式微型风能收集器设计中的应用
被引量：
10
2
作者
赵兴强
温志渝
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期145-150,共6页
提出了基于颤振机理的微型风能收集器,采用颤振的柔性梁牵引锆钛酸铅(PZT)压电梁发生振动。通过风洞实验研究了柔性梁颤振发生的过程,发现颤振发生在切入临界风速与切出临界风速之间。分析了柔性梁的长和宽对器件性能的影响,发现随柔性...
提出了基于颤振机理的微型风能收集器,采用颤振的柔性梁牵引锆钛酸铅(PZT)压电梁发生振动。通过风洞实验研究了柔性梁颤振发生的过程,发现颤振发生在切入临界风速与切出临界风速之间。分析了柔性梁的长和宽对器件性能的影响,发现随柔性梁长度增加,收集器的临界风速、颤振频率、输出电压和功率等性能都减小;随着宽度增加,临界风速基本不变,而颤振频率、输出电压和功率都增加。微型风能收集器的最低临界风速为6.4m/s,最大输出功率为1.30mW。结果表明柔性梁结构降低了PZT梁的切入临界风速,提高了输出功率,证实了基于柔性梁颤振结构的微型风致振动能量收集器的可行性。
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关键词
颤振
风致振动
柔性梁
压电换能器
收集器
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职称材料
硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用(英文)
被引量：
1
3
作者
李东玲
尚正国
+1 位作者
王胜强
温志渝
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期74-78,共5页
针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH...
针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH腐蚀液中添加I2和KI,显著减小了削角速率,得到了呈"火箭尖"的硅尖阵列。各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形。通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15nm。该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中。
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关键词
硅尖阵列
湿法腐蚀
氧化锐化
真空微电子加速度计
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职称材料
题名
基于压电材料的振动能量收集器的谐振频率调节
被引量：
16
1
作者
赵兴强
温志渝
机构
重庆大学
新
型
微
纳
器件与
系统
技术
国家
重点学科实验室
重庆大学国家级微纳系统与新材料技术国际研发中心
重庆大学
微
系统
研究
中心
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第2期241-244,共4页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20090191110009)
文摘
振动能量收集器的最大输出电压发生在共振状态,因此其谐振频率应与环境振动频率一致。针对振动能量收集器与环境频率不匹配的问题,采用单自由度模型分析了悬臂梁-质量块结构的振动能量收集器谐振频率等性能,加工并测试了压电式的微型振动能量收集器样机,结果谐振频率的误差最大为6%。通过质量调节方法进一步将样机的谐振频率调节了10.5Hz的宽度。针对50Hz的振动环境,将谐振频率为58.7Hz的样机调节到了50.4Hz,输出电压提高了4倍。
关键词
压电悬臂梁
微型振动能量收集器
单自由度模型
谐振频率调节
频率匹配
Keywords
piezoelectric cantilever
micro vibration energy harvester
single degree of freedom model
resonantfrequency adjusting
frequency matching
分类号
TN712.5 [电子电信—电路与系统]
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
柔性梁颤振机理在压电式微型风能收集器设计中的应用
被引量：
10
2
作者
赵兴强
温志渝
机构
重庆大学
新
型
微
纳
器件与
系统
技术
国家
重点学科实验室
重庆大学国家级微纳系统与新材料技术国际研发中心
重庆大学
微
系统
研究
中心
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期145-150,共6页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20090191110009)
文摘
提出了基于颤振机理的微型风能收集器,采用颤振的柔性梁牵引锆钛酸铅(PZT)压电梁发生振动。通过风洞实验研究了柔性梁颤振发生的过程,发现颤振发生在切入临界风速与切出临界风速之间。分析了柔性梁的长和宽对器件性能的影响,发现随柔性梁长度增加,收集器的临界风速、颤振频率、输出电压和功率等性能都减小;随着宽度增加,临界风速基本不变,而颤振频率、输出电压和功率都增加。微型风能收集器的最低临界风速为6.4m/s,最大输出功率为1.30mW。结果表明柔性梁结构降低了PZT梁的切入临界风速,提高了输出功率,证实了基于柔性梁颤振结构的微型风致振动能量收集器的可行性。
关键词
颤振
风致振动
柔性梁
压电换能器
收集器
Keywords
flutter
wind-induced vibration
flexible beam
piezoelectric transducers
harvester
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN712 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用(英文)
被引量：
1
3
作者
李东玲
尚正国
王胜强
温志渝
机构
重庆大学
新
型
微
纳
器件与
系统
技术
国家
重点实验室
重庆大学国家级微纳系统与新材料技术国际研发中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期74-78,共5页
基金
supported by Key Laboratory Open Fund of Ultra Precision Machining Technology of CAEP(KF13006)
Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China(20120191120022)
文摘
针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH腐蚀液中添加I2和KI,显著减小了削角速率,得到了呈"火箭尖"的硅尖阵列。各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形。通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15nm。该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中。
关键词
硅尖阵列
湿法腐蚀
氧化锐化
真空微电子加速度计
Keywords
silicon tip array
wet chemical etching
oxidation sharpening
vacuum microelectronic accelerometer
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于压电材料的振动能量收集器的谐振频率调节
赵兴强
温志渝
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013
16
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
柔性梁颤振机理在压电式微型风能收集器设计中的应用
赵兴强
温志渝
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用(英文)
李东玲
尚正国
王胜强
温志渝
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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职称材料
已选择
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