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电容式微加速度传感器信号处理电路的设计 被引量:2
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作者 刘海涛 温志渝 温中泉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2190-2192,2196,共4页
介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好... 介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰,同时提高了传感器的整体性能. 展开更多
关键词 电容式 微加速度传感器 信号处理 电荷敏感 闭环模式
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