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真空镀膜机在制备SiO增透膜中的应用
被引量：
1
1
作者
乐兆昌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期51-53,共3页
本文主要介绍如何改造真空镀膜机,使它能应用于增透膜的制备.改造后的镀膜机己用于SiO增透膜的制备.将SiO增速膜蒸镀于发光管的发光面上,能使发光管的发光功率和入纤耦和功率有较大的提高.
关键词
真空镀膜机
SIO
增透膜
制备
全文增补中
题名
真空镀膜机在制备SiO增透膜中的应用
被引量：
1
1
作者
乐兆昌
机构
邮电部上海通信设备厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第3期51-53,共3页
文摘
本文主要介绍如何改造真空镀膜机,使它能应用于增透膜的制备.改造后的镀膜机己用于SiO增透膜的制备.将SiO增速膜蒸镀于发光管的发光面上,能使发光管的发光功率和入纤耦和功率有较大的提高.
关键词
真空镀膜机
SIO
增透膜
制备
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空镀膜机在制备SiO增透膜中的应用
乐兆昌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989
1
全文增补中
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