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磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究
被引量：
4
1
作者
李彤
周艳文
+4 位作者
王艳雪
赵卓
武俊生
王晓明
高鹏
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1272-1279,共8页
室温下采用射频磁控溅射氧化锌(Zn O)粉末靶、银(Ag)靶,在玻璃衬底上制备Zn O/Ag/Zn O透明导电薄膜。首先,Zn O厚度为30 nm时,改变Ag厚度制备3层透明导电薄膜,研究Ag层厚度及膜层间配比对光电性能的影响;其次,按Zn O:Ag厚度比为30:11比...
室温下采用射频磁控溅射氧化锌(Zn O)粉末靶、银(Ag)靶,在玻璃衬底上制备Zn O/Ag/Zn O透明导电薄膜。首先,Zn O厚度为30 nm时,改变Ag厚度制备3层透明导电薄膜,研究Ag层厚度及膜层间配比对光电性能的影响;其次,按Zn O:Ag厚度比为30:11比例制备不同厚度的3层透明导电薄膜,研究多层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明:Ag厚度为8 nm及11 nm的Zn O/Ag/Zn O表面相对平整,结晶程度较好,在可见光范围内最高透过率达到90%及86%,并且方块电阻为6Ω/及3.20Ω/,具有优良的光电性;当按配比制备Zn O/Ag/Zn O 3层膜时,增加Zn O厚度对Ag层的增透作用反而减弱,同时增加Ag层厚度也会降低3层薄膜的整体光学性。
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关键词
透明导电薄膜
射频磁控溅射
粉末靶
镀膜
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职称材料
粉末靶磁控溅射ZnO/Cu/ZnO的制备及表征
被引量：
1
2
作者
李彤
赵卓
+2 位作者
武俊生
方方
周艳文
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期70-73,共4页
室温下,采用射频磁控溅射氧化锌(ZnO)粉末靶和铜(Cu)靶,在玻璃衬底上制备ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜。通过改变Cu层厚度,研究其对ZnO/Cu/ZnO薄膜光电性能的影响。结果表明:ZnO/Cu/ZnO表面相对平整,结晶程度较好,在可见光范围内,当Cu厚度为1...
室温下,采用射频磁控溅射氧化锌(ZnO)粉末靶和铜(Cu)靶,在玻璃衬底上制备ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜。通过改变Cu层厚度,研究其对ZnO/Cu/ZnO薄膜光电性能的影响。结果表明:ZnO/Cu/ZnO表面相对平整,结晶程度较好,在可见光范围内,当Cu厚度为11 nm和14 nm时,ZnO/Cu/ZnO薄膜的最高透光率分别为79%和74%;当Cu厚度为14 nm时,其载流子浓度及带电粒子运动能力分别为4.85×10^(21)cm^(-3)和6.73 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)。与ZnO/Ag/ZnO薄膜相比,ZnO/Cu/ZnO需要更厚的铜薄膜才能连续,而具有较薄Ag层的ZnO/Ag/ZnO有比ZnO/Cu/ZnO更优良的光电性能。
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关键词
透明导电薄膜
粉末靶
射频磁控溅射
光电薄膜
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职称材料
题名
磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究
被引量：
4
1
作者
李彤
周艳文
王艳雪
赵卓
武俊生
王晓明
高鹏
机构
辽宁
科技
大学
化学
工程
学院
辽宁科技大学表面工程研究所
鞍钢集团钢铁
研究
院海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1272-1279,共8页
基金
国家自然科学基金(51672119)
辽宁省教育厅校企成果转化项目(601009817-01)
辽宁省教育厅海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室-辽宁科技大学联合基金(SKLMEA-USTL-201709)资助项目~~
文摘
室温下采用射频磁控溅射氧化锌(Zn O)粉末靶、银(Ag)靶,在玻璃衬底上制备Zn O/Ag/Zn O透明导电薄膜。首先,Zn O厚度为30 nm时,改变Ag厚度制备3层透明导电薄膜,研究Ag层厚度及膜层间配比对光电性能的影响;其次,按Zn O:Ag厚度比为30:11比例制备不同厚度的3层透明导电薄膜,研究多层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明:Ag厚度为8 nm及11 nm的Zn O/Ag/Zn O表面相对平整,结晶程度较好,在可见光范围内最高透过率达到90%及86%,并且方块电阻为6Ω/及3.20Ω/,具有优良的光电性;当按配比制备Zn O/Ag/Zn O 3层膜时,增加Zn O厚度对Ag层的增透作用反而减弱,同时增加Ag层厚度也会降低3层薄膜的整体光学性。
关键词
透明导电薄膜
射频磁控溅射
粉末靶
镀膜
Keywords
transparent conductive films
RF magnetron sputtering
powder target
coating
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TM24 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
粉末靶磁控溅射ZnO/Cu/ZnO的制备及表征
被引量：
1
2
作者
李彤
赵卓
武俊生
方方
周艳文
机构
辽宁
科技
大学
化学
工程
学院
辽宁科技大学表面工程研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期70-73,共4页
基金
国家自然科学基金(51672119,51972155)。
文摘
室温下,采用射频磁控溅射氧化锌(ZnO)粉末靶和铜(Cu)靶,在玻璃衬底上制备ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜。通过改变Cu层厚度,研究其对ZnO/Cu/ZnO薄膜光电性能的影响。结果表明:ZnO/Cu/ZnO表面相对平整,结晶程度较好,在可见光范围内,当Cu厚度为11 nm和14 nm时,ZnO/Cu/ZnO薄膜的最高透光率分别为79%和74%;当Cu厚度为14 nm时,其载流子浓度及带电粒子运动能力分别为4.85×10^(21)cm^(-3)和6.73 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)。与ZnO/Ag/ZnO薄膜相比,ZnO/Cu/ZnO需要更厚的铜薄膜才能连续,而具有较薄Ag层的ZnO/Ag/ZnO有比ZnO/Cu/ZnO更优良的光电性能。
关键词
透明导电薄膜
粉末靶
射频磁控溅射
光电薄膜
Keywords
transparent conductive film
powder target
RF magnetron sputtering
thin-film photovoltaics
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TM24 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究
李彤
周艳文
王艳雪
赵卓
武俊生
王晓明
高鹏
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
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职称材料
2
粉末靶磁控溅射ZnO/Cu/ZnO的制备及表征
李彤
赵卓
武俊生
方方
周艳文
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
已选择
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