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AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能
被引量：
6
1
作者
黄振
郭媛媛
+3 位作者
滕越
杨利
杨永杰
吴法宇
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期111-118,共8页
为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD...
为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能。结果表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其中100℃时,硬度和结合力分别提高25%和175%,综合性能最好。沉积DLC涂层的过程中,氮化层中氮原子因扩散而重新分布,使氮化层的厚度增加,硬度梯度减缓,更有利于基体与DLC涂层间的过渡。
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关键词
DLC涂层
扩展奥氏体
相结构
摩擦学性能
膜基结合强度
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职称材料
题名
AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能
被引量：
6
1
作者
黄振
郭媛媛
滕越
杨利
杨永杰
吴法宇
机构
辽宁科技大学表面工程中心
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期111-118,共8页
基金
国家自然科学基金(51502126)
辽宁科技大学省级重点实验室中心开放课题(USTLKFSY201705)
辽宁科技大学青年基金(2018QN12)~~
文摘
为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能。结果表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其中100℃时,硬度和结合力分别提高25%和175%,综合性能最好。沉积DLC涂层的过程中,氮化层中氮原子因扩散而重新分布,使氮化层的厚度增加,硬度梯度减缓,更有利于基体与DLC涂层间的过渡。
关键词
DLC涂层
扩展奥氏体
相结构
摩擦学性能
膜基结合强度
Keywords
DLC coatings
expanded austenite
phase structure
tribological properties
adhesion strength
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能
黄振
郭媛媛
滕越
杨利
杨永杰
吴法宇
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
6
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