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MEMS红外光源的高精度控温电路设计
被引量:
2
1
作者
李宝玲
余隽
+2 位作者
姜云龙
李中洲
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第8期18-21,共4页
基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。...
基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。测试结果显示,在该芯片驱动下,MEMS红外光源系统在10 ms内即可快速升温至450℃,且控温精度优于±1.5℃。该电路实现了温度快速调制、控温精度高、集成度高等优点,满足红外光源的稳定驱动需求。
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关键词
MEMS红外光源
控温电路
集成电路设计
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职称材料
EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究
被引量:
5
2
作者
曹睿
余隽
+3 位作者
吴昊
朱思鹏
李中洲
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第4期11-14,19,共5页
采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响,实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中,利用...
采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响,实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中,利用计算机控制三坐标平移台移动实现微热板与打印点的对准。采用外径为300μm、内径为180μm的针头,调节打印距离和电压,实现了气敏材料在微热板上的定位微滴打印。EHD喷墨微滴打印过程稳定,无针头堵塞现象,液滴直径约65μm,满足微热板打印需求。制备的气体传感器对甲醛表现出良好的气敏响应。
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关键词
静电流体动力学(EHD)喷墨打印
微热板
气体传感器
纳米材料
电喷
气敏材料
墨水
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职称材料
InSb薄膜热导率温度特性及传热机理
被引量:
1
3
作者
黄正兴
孙豪
+1 位作者
李奇松
管相宇
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期519-525,共7页
InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70~200nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的...
InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70~200nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的传热机理.对于晶态InSb薄膜,热导率为(0.55±0.055)W/(m·K),并且随温度的变化不明显;而非晶态InSb薄膜在温度450K以下时热导率为(0.37±0.037)W/(m·K).当温度在450K以上时,由于薄膜从非晶态转化为晶态,其热导率经历了一个突然的升高过程.无论是晶态还是非晶态薄膜样品,热导率与薄膜厚度都没有明显依赖关系.研究结果可以为InSb薄膜的实际应用提供有益的参考.
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关键词
INSB薄膜
晶态和非晶态
热导率
温度特性
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职称材料
悬臂梁结构串级无线预测控制算法研究及验证
4
作者
杨常平
喻言
+3 位作者
李芦钰
冷晓智
张帅帅
欧进萍
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期650-656,共7页
应用无线方式对结构进行主动控制已经有了初步研究,并逐步取代传统的有线控制策略.无线方式不可避免地引入了延时,影响了系统稳定和控制效果,所以无线主动控制必须要解决延时问题.基于悬臂梁结构搭建了无线控制实验系统,采用PID和模型...
应用无线方式对结构进行主动控制已经有了初步研究,并逐步取代传统的有线控制策略.无线方式不可避免地引入了延时,影响了系统稳定和控制效果,所以无线主动控制必须要解决延时问题.基于悬臂梁结构搭建了无线控制实验系统,采用PID和模型预测控制相结合的串级控制策略,增加了延时补偿算法,分别以无延时、信号采集端有延时、信号采集端及控制信号输出端都有延时3种工况,对悬臂梁无线控制系统进行了仿真与实验.仿真和实验结果表明,所建立的无线控制系统可以对模型结构实现控制,所运用的延时补偿策略能达到与有线控制相媲美的控制效果,对实际工程应用具有很好的借鉴作用.
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关键词
延时补偿
无线控制
悬臂梁
预测控制
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职称材料
应用于微测辐射热计的12位SAR ADC的设计
被引量:
1
5
作者
黄伟奇
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第3期31-37,共7页
针对红外探测微测辐射热计的应用,设计了一种12位全差分高速低功耗逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)。该设计采用了新型的电荷重分配型数模转换器(DAC),通过对高位码字(MSB)段与低位码字(LSB)段采用两种不同参考电压的方案,使电路在保证...
针对红外探测微测辐射热计的应用,设计了一种12位全差分高速低功耗逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)。该设计采用了新型的电荷重分配型数模转换器(DAC),通过对高位码字(MSB)段与低位码字(LSB)段采用两种不同参考电压的方案,使电路在保证性能的同时降低功耗与面积。电路基于CSMC 0.18μm CMOS工艺,对模数转换器整体进行仿真,当采样频率为5 MSPS,输入频率为195.3 kHz的正弦波信号时,输出信号的无杂散波动态范围(SFDR)为74.1 dB,有效位数为10.66 bit,功耗为200μW,品质因数为24 fJ/conversion-step。
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关键词
逐次逼近
模数转换
低功耗
新型电容阵列
微测辐射热计
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职称材料
题名
MEMS红外光源的高精度控温电路设计
被引量:
2
1
作者
李宝玲
余隽
姜云龙
李中洲
唐祯安
机构
大连理工大学电信学部生物医学工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第8期18-21,共4页
基金
国家自然科学基金(61874018)
国家重点研发计划项目课题(2019YFB2005702)
中央高校基本科研业务费资助(DUT19LAB33)。
文摘
基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。测试结果显示,在该芯片驱动下,MEMS红外光源系统在10 ms内即可快速升温至450℃,且控温精度优于±1.5℃。该电路实现了温度快速调制、控温精度高、集成度高等优点,满足红外光源的稳定驱动需求。
关键词
MEMS红外光源
控温电路
集成电路设计
Keywords
MEMS infrared source
temperature-control circuit
integrated circuit design
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究
被引量:
5
2
作者
曹睿
余隽
吴昊
朱思鹏
李中洲
唐祯安
机构
大连理工大学电信学部生物医学工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第4期11-14,19,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61874018,61131004,61274076)。
文摘
采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响,实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中,利用计算机控制三坐标平移台移动实现微热板与打印点的对准。采用外径为300μm、内径为180μm的针头,调节打印距离和电压,实现了气敏材料在微热板上的定位微滴打印。EHD喷墨微滴打印过程稳定,无针头堵塞现象,液滴直径约65μm,满足微热板打印需求。制备的气体传感器对甲醛表现出良好的气敏响应。
关键词
静电流体动力学(EHD)喷墨打印
微热板
气体传感器
纳米材料
电喷
气敏材料
墨水
Keywords
EHD inkjet printing
micro hotplate
gas sensor
nanomaterial
electrospinning
gas sensing material
ink
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
InSb薄膜热导率温度特性及传热机理
被引量:
1
3
作者
黄正兴
孙豪
李奇松
管相宇
机构
大连理工大学电子信息与电气工程学部
辽宁省集成电路技术重点实验室
中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储
实验室
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期519-525,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61131004)
辽宁省自然科学基金资助项目(201602153)
文摘
InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70~200nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的传热机理.对于晶态InSb薄膜,热导率为(0.55±0.055)W/(m·K),并且随温度的变化不明显;而非晶态InSb薄膜在温度450K以下时热导率为(0.37±0.037)W/(m·K).当温度在450K以上时,由于薄膜从非晶态转化为晶态,其热导率经历了一个突然的升高过程.无论是晶态还是非晶态薄膜样品,热导率与薄膜厚度都没有明显依赖关系.研究结果可以为InSb薄膜的实际应用提供有益的参考.
关键词
INSB薄膜
晶态和非晶态
热导率
温度特性
Keywords
InSb thin film
crystalline and amorphous
thermal conductivity
temperature dependent characteristic
分类号
TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
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职称材料
题名
悬臂梁结构串级无线预测控制算法研究及验证
4
作者
杨常平
喻言
李芦钰
冷晓智
张帅帅
欧进萍
机构
大连理工大学电子信息与电气工程学部
辽宁省集成电路技术重点实验室
大连理工大学土木工程学院
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期650-656,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51678108
51378093)
+2 种基金
国家国际科技合作专项项目(2015DFG82080)
辽宁省高校优秀人才支持计划资助项目(LJQ2015028)
辽宁百千万人才工程项目(201724)
文摘
应用无线方式对结构进行主动控制已经有了初步研究,并逐步取代传统的有线控制策略.无线方式不可避免地引入了延时,影响了系统稳定和控制效果,所以无线主动控制必须要解决延时问题.基于悬臂梁结构搭建了无线控制实验系统,采用PID和模型预测控制相结合的串级控制策略,增加了延时补偿算法,分别以无延时、信号采集端有延时、信号采集端及控制信号输出端都有延时3种工况,对悬臂梁无线控制系统进行了仿真与实验.仿真和实验结果表明,所建立的无线控制系统可以对模型结构实现控制,所运用的延时补偿策略能达到与有线控制相媲美的控制效果,对实际工程应用具有很好的借鉴作用.
关键词
延时补偿
无线控制
悬臂梁
预测控制
Keywords
time delay compensation
wireless control
cantilever beam
predictive control
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
应用于微测辐射热计的12位SAR ADC的设计
被引量:
1
5
作者
黄伟奇
唐祯安
机构
大连理工大学电子信息与电气工程学部
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第3期31-37,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61131004,61274076,61874018)。
文摘
针对红外探测微测辐射热计的应用,设计了一种12位全差分高速低功耗逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)。该设计采用了新型的电荷重分配型数模转换器(DAC),通过对高位码字(MSB)段与低位码字(LSB)段采用两种不同参考电压的方案,使电路在保证性能的同时降低功耗与面积。电路基于CSMC 0.18μm CMOS工艺,对模数转换器整体进行仿真,当采样频率为5 MSPS,输入频率为195.3 kHz的正弦波信号时,输出信号的无杂散波动态范围(SFDR)为74.1 dB,有效位数为10.66 bit,功耗为200μW,品质因数为24 fJ/conversion-step。
关键词
逐次逼近
模数转换
低功耗
新型电容阵列
微测辐射热计
Keywords
successive approximation register
analog to digital converter
low power consumption
new capacitance array
micro-bolometer
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS红外光源的高精度控温电路设计
李宝玲
余隽
姜云龙
李中洲
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究
曹睿
余隽
吴昊
朱思鹏
李中洲
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
InSb薄膜热导率温度特性及传热机理
黄正兴
孙豪
李奇松
管相宇
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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下载PDF
职称材料
4
悬臂梁结构串级无线预测控制算法研究及验证
杨常平
喻言
李芦钰
冷晓智
张帅帅
欧进萍
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
应用于微测辐射热计的12位SAR ADC的设计
黄伟奇
唐祯安
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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