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MEMS红外光源的高精度控温电路设计 被引量:2
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作者 李宝玲 余隽 +2 位作者 姜云龙 李中洲 唐祯安 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第8期18-21,共4页
基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。... 基于MEMS红外光源的稳定驱动需求,设计了一款高精度控温CMOS集成电路,具有对光源温度的实时监测与闭环控制功能,能够克服环境温度变化等干扰因素的影响,从而提高红外光源的温度稳定性。采用0.35μm标准CMOS工艺完成了芯片的流片制造。测试结果显示,在该芯片驱动下,MEMS红外光源系统在10 ms内即可快速升温至450℃,且控温精度优于±1.5℃。该电路实现了温度快速调制、控温精度高、集成度高等优点,满足红外光源的稳定驱动需求。 展开更多
关键词 MEMS红外光源 控温电路 集成电路设计
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EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究 被引量:5
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作者 曹睿 余隽 +3 位作者 吴昊 朱思鹏 李中洲 唐祯安 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第4期11-14,19,共5页
采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响,实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中,利用... 采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水,研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响,实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中,利用计算机控制三坐标平移台移动实现微热板与打印点的对准。采用外径为300μm、内径为180μm的针头,调节打印距离和电压,实现了气敏材料在微热板上的定位微滴打印。EHD喷墨微滴打印过程稳定,无针头堵塞现象,液滴直径约65μm,满足微热板打印需求。制备的气体传感器对甲醛表现出良好的气敏响应。 展开更多
关键词 静电流体动力学(EHD)喷墨打印 微热板 气体传感器 纳米材料 电喷 气敏材料 墨水
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InSb薄膜热导率温度特性及传热机理 被引量:1
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作者 黄正兴 孙豪 +1 位作者 李奇松 管相宇 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期519-525,共7页
InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70~200nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的... InSb薄膜广泛应用于高精度的光电存储、红外探测和红外热成像技术以及超分辨掩膜层技术中.热导率及其温度特性是影响薄膜实际应用的关键因素.采用瞬态热反射方法测试了厚度为70~200nm的InSb薄膜在非晶态和晶态下热导率,并探讨了其中的传热机理.对于晶态InSb薄膜,热导率为(0.55±0.055)W/(m·K),并且随温度的变化不明显;而非晶态InSb薄膜在温度450K以下时热导率为(0.37±0.037)W/(m·K).当温度在450K以上时,由于薄膜从非晶态转化为晶态,其热导率经历了一个突然的升高过程.无论是晶态还是非晶态薄膜样品,热导率与薄膜厚度都没有明显依赖关系.研究结果可以为InSb薄膜的实际应用提供有益的参考. 展开更多
关键词 INSB薄膜 晶态和非晶态 热导率 温度特性
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悬臂梁结构串级无线预测控制算法研究及验证
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作者 杨常平 喻言 +3 位作者 李芦钰 冷晓智 张帅帅 欧进萍 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期650-656,共7页
应用无线方式对结构进行主动控制已经有了初步研究,并逐步取代传统的有线控制策略.无线方式不可避免地引入了延时,影响了系统稳定和控制效果,所以无线主动控制必须要解决延时问题.基于悬臂梁结构搭建了无线控制实验系统,采用PID和模型... 应用无线方式对结构进行主动控制已经有了初步研究,并逐步取代传统的有线控制策略.无线方式不可避免地引入了延时,影响了系统稳定和控制效果,所以无线主动控制必须要解决延时问题.基于悬臂梁结构搭建了无线控制实验系统,采用PID和模型预测控制相结合的串级控制策略,增加了延时补偿算法,分别以无延时、信号采集端有延时、信号采集端及控制信号输出端都有延时3种工况,对悬臂梁无线控制系统进行了仿真与实验.仿真和实验结果表明,所建立的无线控制系统可以对模型结构实现控制,所运用的延时补偿策略能达到与有线控制相媲美的控制效果,对实际工程应用具有很好的借鉴作用. 展开更多
关键词 延时补偿 无线控制 悬臂梁 预测控制
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应用于微测辐射热计的12位SAR ADC的设计 被引量:1
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作者 黄伟奇 唐祯安 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第3期31-37,共7页
针对红外探测微测辐射热计的应用,设计了一种12位全差分高速低功耗逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)。该设计采用了新型的电荷重分配型数模转换器(DAC),通过对高位码字(MSB)段与低位码字(LSB)段采用两种不同参考电压的方案,使电路在保证... 针对红外探测微测辐射热计的应用,设计了一种12位全差分高速低功耗逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)。该设计采用了新型的电荷重分配型数模转换器(DAC),通过对高位码字(MSB)段与低位码字(LSB)段采用两种不同参考电压的方案,使电路在保证性能的同时降低功耗与面积。电路基于CSMC 0.18μm CMOS工艺,对模数转换器整体进行仿真,当采样频率为5 MSPS,输入频率为195.3 kHz的正弦波信号时,输出信号的无杂散波动态范围(SFDR)为74.1 dB,有效位数为10.66 bit,功耗为200μW,品质因数为24 fJ/conversion-step。 展开更多
关键词 逐次逼近 模数转换 低功耗 新型电容阵列 微测辐射热计
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