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使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
被引量：
1
1
作者
殷冀平
吕少波
+1 位作者
蔺增
巴德纯
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期273-279,共7页
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊...
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。
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关键词
电子回旋波共振等离子体
中频磁控溅射
等离子体诊断
感应耦合等离子体
氧化铌薄膜
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职称材料
NaOH溶液存储对纯钛表面TiO_(2-x)层超亲水性长期稳定性的影响
2
作者
孙飞
程巍
蔺增
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期71-77,共7页
等离子体氧化方法能够在纯钛种植体表面产生梯度变化的TiO2-x层,使其显著提高表面的亲水性和生物相容性,但是在空气中长期存放由于吸附的污染物,种植体表面很容易失去这些特性。因此,需要一些存储方法来防止表面失效。利用辉光等离子体...
等离子体氧化方法能够在纯钛种植体表面产生梯度变化的TiO2-x层,使其显著提高表面的亲水性和生物相容性,但是在空气中长期存放由于吸附的污染物,种植体表面很容易失去这些特性。因此,需要一些存储方法来防止表面失效。利用辉光等离子体放电技术在喷砂酸蚀(SLA)的纯钛表面进行等离子体氧化,然后对氧化后的样品进行NaOH溶液存储。分析了NaOH溶液存储前后的表面特性,观察了NaOH溶液存储不同时间后表面亲水性的时效性,以及比较了NaOH溶液和生理盐水长期存储对表面亲水性的影响。结果表明,NaOH溶液处理后等离子体氧化表面形貌和化学成分无太大变化;NaOH溶液存储时间对于亲水性的时效性无影响;NaOH溶液是否残留不影响亲水性;将氧化后的样品直接储存在NaOH溶液或生理盐水中,可以长期保持表面的超亲水性。对于纯钛表面超亲水性的长期稳定性,NaOH溶液优于生理盐水。
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关键词
等离子体氧化
NaOH溶液存储
TiO_(2-x)
超亲水性
种植体
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职称材料
题名
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
被引量：
1
1
作者
殷冀平
吕少波
蔺增
巴德纯
机构
东北大学机械工程与自动化学院
沈阳仪表
科学
研究院有限公司汇博光学
辽宁省植入器械与界面科学重点实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期273-279,共7页
基金
国家自然科学基金(51775096)
中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2007]006)
中央高校基本科研业务费项目(N2003009)。
文摘
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。
关键词
电子回旋波共振等离子体
中频磁控溅射
等离子体诊断
感应耦合等离子体
氧化铌薄膜
Keywords
electron cyclotron wave resonance plasma
medium frequency magnetron sputtering
plasma diagnosis
inductively coupled plasma
niobium oxide film
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
NaOH溶液存储对纯钛表面TiO_(2-x)层超亲水性长期稳定性的影响
2
作者
孙飞
程巍
蔺增
机构
东北大学机械工程与自动化学院
东北大学
辽宁省植入器械与界面科学重点实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期71-77,共7页
基金
国家自然科学基金(5175096)
中央高校基本科研业务费(N2003009)
文摘
等离子体氧化方法能够在纯钛种植体表面产生梯度变化的TiO2-x层,使其显著提高表面的亲水性和生物相容性,但是在空气中长期存放由于吸附的污染物,种植体表面很容易失去这些特性。因此,需要一些存储方法来防止表面失效。利用辉光等离子体放电技术在喷砂酸蚀(SLA)的纯钛表面进行等离子体氧化,然后对氧化后的样品进行NaOH溶液存储。分析了NaOH溶液存储前后的表面特性,观察了NaOH溶液存储不同时间后表面亲水性的时效性,以及比较了NaOH溶液和生理盐水长期存储对表面亲水性的影响。结果表明,NaOH溶液处理后等离子体氧化表面形貌和化学成分无太大变化;NaOH溶液存储时间对于亲水性的时效性无影响;NaOH溶液是否残留不影响亲水性;将氧化后的样品直接储存在NaOH溶液或生理盐水中,可以长期保持表面的超亲水性。对于纯钛表面超亲水性的长期稳定性,NaOH溶液优于生理盐水。
关键词
等离子体氧化
NaOH溶液存储
TiO_(2-x)
超亲水性
种植体
Keywords
plasma oxidation
NaOH solution
TiO_(2-x)
superhydrophilicity
dental implant
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
殷冀平
吕少波
蔺增
巴德纯
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
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职称材料
2
NaOH溶液存储对纯钛表面TiO_(2-x)层超亲水性长期稳定性的影响
孙飞
程巍
蔺增
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
已选择
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