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球囊导管远端气压反馈测试系统设计与实验
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作者 叶旭时 王东 +3 位作者 耿欢欢 张攀 王恩博 梁军生 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第11期94-98,共5页
为实现对胃部等特定高敏感远距离环境的气压测试,开发了一种球囊导管远端气压反馈测试系统,安装球囊导管使远端的测压球囊置于气体环境中反馈远端环境气压,利用STM32单片机和XG⁃ZP6847D压力传感器模块采集测压球囊气压,并根据测压球囊... 为实现对胃部等特定高敏感远距离环境的气压测试,开发了一种球囊导管远端气压反馈测试系统,安装球囊导管使远端的测压球囊置于气体环境中反馈远端环境气压,利用STM32单片机和XG⁃ZP6847D压力传感器模块采集测压球囊气压,并根据测压球囊气压反馈特性计算得到环境气压。为了验证测压系统的可靠性和精准度,搭建模拟实验平台进行测压球囊静态气压反馈特性标定和动态测压实验,结果表明:测压系统测量值与环境气压实际值具有较高一致性,响应时间在200 ms之内,绝对误差在0.15 kPa以下,测压系统可实时精确测量远端环境气压。 展开更多
关键词 球囊导管 气压测试 STM32单片机
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UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构 被引量:13
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作者 杜立群 莫顺培 +1 位作者 张余升 刘冲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期363-368,共6页
为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微... 为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响,在工作电压为65V,标称电容为100pF时得到了Ra为0.08μm的微细电火花加工表面。研究结果表明,使用该方法可实现三维金属微结构的制作;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙度。 展开更多
关键词 三维金属微结构 UV-LIGA 微细电火花加工 组合制作 表面粗糙度
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低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统 被引量:6
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作者 佘东生 王晓东 +1 位作者 张习文 王立鼎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2178-2184,共7页
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半... 研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半导体冷阱实现低温环境,利用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,通过底座的冲击激励,使微悬臂梁处于自由衰减振动状态,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,从而获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的测试系统,在-50℃~室温的环境下对单晶硅微悬臂的谐振频率进行了测试,结果表明,随着温度的降低,微悬臂梁的谐振频率略有增大,其谐振频率的温度变化率约为-0.263 Hz/K,与理论分析的结果基本一致。该测试装置能够有效地完成在-50℃~室温环境下微构件的动态特性测试。 展开更多
关键词 微机电系统 动态特性 低温 微悬臂梁 冲击激励
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无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究 被引量:7
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作者 刘海军 杜立群 +1 位作者 秦江 朱神渺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1481-1483,1487,共4页
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的... 针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性. 展开更多
关键词 无背板生长工艺 微电铸 周期换向电流 均匀性
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变温蠕变实验的COP微流控芯片热压制备 被引量:7
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作者 罗怡 王晓东 +1 位作者 杨帆 刘冲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1090-1095,共6页
采用热压方法制备了COP微流控芯片。由于温度对微结构热压成形的质量影响最大,基于材料的粘弹性特性,通过变温准蠕变实验获得热压参考温度Tr,即从材料玻璃点温度以下开始,以1.5℃/min的温升速率,在热压工作压力下热压聚合物基片,通过温... 采用热压方法制备了COP微流控芯片。由于温度对微结构热压成形的质量影响最大,基于材料的粘弹性特性,通过变温准蠕变实验获得热压参考温度Tr,即从材料玻璃点温度以下开始,以1.5℃/min的温升速率,在热压工作压力下热压聚合物基片,通过温度-位移实时采集系统获得材料的温度-形变曲线,曲线的拐点对应的温度即是热压参考温度。实验证明了在该温度下热压成形具有高复制精度和低整体变形,微结构宽度和深度方向的复制精度分别达到97.6%和94.3%。电泳实验和DNA分析实验得出COP芯片具有良好的生物兼容性,适用于生化分析。 展开更多
关键词 COP微流控芯片 变温准蠕变实验 电泳效率
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微注塑成型模具设计与制造技术研究进展 被引量:7
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作者 杨铎 刘冲 +3 位作者 徐征 杜立群 刘军山 王立鼎 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1-5,共5页
简述了微注塑模具设计与制造方面的国内外发展现状,分析了微注塑成型模具的特点和具体要求,归纳总结了微模具组成形式、金属和非金属微型芯加工方法,对微注塑模具设计要点进行了深入讨论。
关键词 微注塑 微模具 微加工
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微电铸中电流-流体耦合的数值分析及实验 被引量:5
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作者 邵力耕 杜立群 +1 位作者 刘冲 王立鼎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2184-2190,共7页
研究了LIGA/UV-LIGA的核心技术微电铸的内在规律,对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的十字电铸层为研究对象,建立了微电铸的数学模型。给出了描述微电铸体系电流密度和流体流场的偏微分方程... 研究了LIGA/UV-LIGA的核心技术微电铸的内在规律,对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的十字电铸层为研究对象,建立了微电铸的数学模型。给出了描述微电铸体系电流密度和流体流场的偏微分方程,运用有限元法对微电铸体系进行三维数值仿真,得到了电流密度分布和流体流场分布的数值结果。选择十字铸层上的测量点,由该点处电流密度和流体流速仿真数据计算出微电铸4 h的铸层生长高度仿真值,并与相同工艺条件下的微电铸实验铸层生长高度进行对比。结果显示,对应各测量点微电铸生长高度仿真值和实验值的变化趋势接近,绝对偏差小,最大绝对偏差为4.437μm,最小绝对偏差为0.264μm。实验表明这种数值仿真方法适用于微电铸工艺设计的辅助分析,可缩短微电铸工艺的开发周期。 展开更多
关键词 微电铸 阴极电流密度 流体 三维数值仿真
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PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究 被引量:5
8
作者 杜立群 高晓光 +1 位作者 董维杰 吕岩 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期492-494,共3页
介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,... 介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响。在7.5 V1、80 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05μL/min。该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求。 展开更多
关键词 PZT压电薄膜 无阀微泵 PDMS泵膜 收缩管/扩张管
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微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究 被引量:10
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作者 杜立群 朱神渺 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1377-1382,共6页
在对基片曲率法常用的Stoney公式进行必要修正的基础上,提出了适合计算SU-8胶层内应力的理论模型,并采用轮廓法直观地测量了内应力引起的基底曲率的变化。通过ANSYS仿真揭示了基片直径,胶层厚度及后烘温度三者对基片曲率的影响。仿真结... 在对基片曲率法常用的Stoney公式进行必要修正的基础上,提出了适合计算SU-8胶层内应力的理论模型,并采用轮廓法直观地测量了内应力引起的基底曲率的变化。通过ANSYS仿真揭示了基片直径,胶层厚度及后烘温度三者对基片曲率的影响。仿真结果表明:后烘温度是影响胶层内应力的主要因素。实验测量了后烘温度分别为55℃、70℃和85℃三种条件下的SU-8胶层的内应力。结果表明:降低后烘温度能有效地减小SU-8胶层的内应力,实验测量值与仿真计算值基本吻合。内应力的测量为SU-8胶层内应力的定量研究奠定了基础。 展开更多
关键词 SU-8 内应力测量 基片曲率法 Stoney公式
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微装配中变焦变倍视觉系统标定及自动聚焦 被引量:2
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作者 任同群 黄海亭 +1 位作者 王晓东 刘钰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第11期193-202,共10页
在微装配中,采用变焦变倍视觉系统可以有效解决测量范围与精度的矛盾,但同时也引入了动态标定和实时自动聚焦的新问题。为此,对变焦变倍显微视觉系统的标定和自动聚焦技术展开研究。在标定方面,首先通过变倍率法完成图像主点的标定。基... 在微装配中,采用变焦变倍视觉系统可以有效解决测量范围与精度的矛盾,但同时也引入了动态标定和实时自动聚焦的新问题。为此,对变焦变倍显微视觉系统的标定和自动聚焦技术展开研究。在标定方面,首先通过变倍率法完成图像主点的标定。基于平面靶标定法,采用单视图单应矩阵分解对固定倍率下相机内外参数进行线性标定,再引入畸变模型,并由量子行为粒子群优化算法对标定结果进行非线性优化,优化之后的最大反投影误差约为0.13 pixel,平均反投影误差约为0.1 pixel。此外,通过高斯曲线拟合完成对任意工作状态下视觉系统放大倍数的校准。在自动聚焦方面,针对传统灰度梯度函数只考虑固定梯度方向且易受噪声影响的问题,采用八邻域最大梯度阈值的自动调焦算法,通过梯度阈值提高算法的抗噪性。与其他几种灰度梯度调焦函数相比,该算法的单峰性好,抗噪性强。 展开更多
关键词 变焦变倍显微视觉系统 标定 量子行为粒子群优化 自动调焦
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基于温度原位监测的微反应器在HNS微流道制备过程中的应用 被引量:1
11
作者 黄健 时育坤 +6 位作者 和欣 张松 韩瑞山 周继明 张方 吴梦希 刘军山 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期559-565,I0005,共8页
针对含能材料微流道制备过程中缺乏温度原位监测手段的问题,提出一种集成薄膜温度传感器的微反应器系统;微反应器由包含薄膜温度传感器的玻璃基片与包含微流道的硅基片键合组成;微流道的上游、中游、下游分别放置了3个温度传感器,以实... 针对含能材料微流道制备过程中缺乏温度原位监测手段的问题,提出一种集成薄膜温度传感器的微反应器系统;微反应器由包含薄膜温度传感器的玻璃基片与包含微流道的硅基片键合组成;微流道的上游、中游、下游分别放置了3个温度传感器,以实现微反应过程中高空间分辨率的温度测量;基于该微反应器,搭建了六硝基茋(HNS)连续化微流道制备系统,实时监测了HNS微纳米化及球形化过程中的温度变化。结果表明,微反应器具有精度高、耐腐蚀、可观测的优点;HNS微纳米化是一个放热反应,流体最大温升为6.4℃,由于HNS的逐渐析出,流体中的固体含量增大,流速变慢,流体温度的分布发生变化;在HNS球形化过程中,两相流体的混合是一个放热过程,流体最大温升为2.3℃;微流道中游处的温度明显高于上游与下游,说明当液滴流动至中游时,HNS微球已经制备完成。 展开更多
关键词 物理化学 微反应器 薄膜温度传感器 实时温度监测 六硝基芪 HNS 微流控
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面向射流管伺服阀性能评估的微射流观测系统
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作者 徐征 贾凯 +3 位作者 牛士勇 王晓东 曹伟 肖遥 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第8期86-88,共3页
针对各种制造和装配误差会使射流管伺服阀的射流形态出现变化,从而影响整阀的静态特性和动态特性的问题,综合考虑工业现场对微射流检测的实际需求,提出一种由液压控制、显微成像、油雾处理、废液回收等组成的微射流观测方法与系统,建立... 针对各种制造和装配误差会使射流管伺服阀的射流形态出现变化,从而影响整阀的静态特性和动态特性的问题,综合考虑工业现场对微射流检测的实际需求,提出一种由液压控制、显微成像、油雾处理、废液回收等组成的微射流观测方法与系统,建立了液压驱动控制与图像采集同步的信号控制技术,设计了能提取多段射流特征提取的算法,并开展伺服阀性能评估应用,成果可以广泛用于射流元件的机理研究和性能测试。 展开更多
关键词 射流管伺服阀 显微视觉 流体可视化 射流
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基于力学状态反馈的聚合物微器件超声波精密联接系统
13
作者 孙屹博 罗怡 +1 位作者 王晓东 张苗苗 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2574-2579,共6页
针对聚合物微器件的联接搭建了超声波精密联接系统。该系统选用工作频率为60kHz的超声换能器提供高频、低振幅超声波振动,以降低振动对微结构的影响。应用高细分步进电机及直线导轨驱动超声波工具头的纵向移动,并为联接提供压力。提出... 针对聚合物微器件的联接搭建了超声波精密联接系统。该系统选用工作频率为60kHz的超声换能器提供高频、低振幅超声波振动,以降低振动对微结构的影响。应用高细分步进电机及直线导轨驱动超声波工具头的纵向移动,并为联接提供压力。提出了基于力学状态反馈的超声波精密联接流程,联接过程中,联接界面的聚合物软化后产生压力跳变,以该信号切断超声波振动,实现了联接能量的自适应精确控制。应用虚拟仪器技术建立了控制系统,设计了基于力学状态反馈的超声波精密联接流程并进行了PMMA微器件的联接实验,对该方法的作用机制进行了分析,得到了对于该种材料及尺寸零件的最佳联接参数。 展开更多
关键词 力学状态 聚合物 超声波 精密联接
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高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究 被引量:6
14
作者 佘东生 王晓东 +1 位作者 张习文 王立鼎 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2494-2499,共6页
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用... 对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。 展开更多
关键词 MEMS测试 动态特性的测试 高温环境 微悬臂梁 激励装置
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一种微小挠性零件的自动化精密装配系统 被引量:2
15
作者 辛明哲 罗怡 +1 位作者 陈勇 王晓东 《机电工程》 CAS 2013年第12期1462-1466,共5页
为解决具有挠性结构微小零件精密装配的问题,将基于机器视觉的精密测量技术、高分辨率非接触激光位移测量技术等应用到精密装配系统的研制中。设计了用于微小零件夹持的装置,实现了对微小挠性零件拾取、搬运、放置等操作;根据视觉系统... 为解决具有挠性结构微小零件精密装配的问题,将基于机器视觉的精密测量技术、高分辨率非接触激光位移测量技术等应用到精密装配系统的研制中。设计了用于微小零件夹持的装置,实现了对微小挠性零件拾取、搬运、放置等操作;根据视觉系统测量得到的微小零件与目标位置的偏差,对微小零件水平面内的位置和姿态进行了调整;提出了装配微小零件挠性结构的接触控制方法,该方法通过激光位移传感器非接触测量挠性结构接触变形所引起的微小位移变化,实现了装配过程中垂直方向的精密接触控制;通过在作业机械臂上集成标定模板,实现了装配系统的自动标定。简要介绍了所研制的装配系统组成,并进行了微小挠性零件的装配实验。实验结果表明,微小零件装配的平行度、同轴度误差小于10μm,挠性结构接触控制偏差为0.6μm^0.8μm,装配精度满足使用要求。 展开更多
关键词 微小挠性零件 精密装配 机器视觉 接触控制 装配系统标定
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微型PCR系统及其温控特性研究 被引量:1
16
作者 国石磊 刘泽文 +2 位作者 秦健 田昊 司卫华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1204-1208,共5页
介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热... 介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验。结果显示:微加热器升温速度可以达到3℃/s,降温速度可以达到1℃/s,稳定后温度变化小于0.1℃。通过实验结果与理论计算的对比,分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素。 展开更多
关键词 PCR芯片 MEMS 微加热器 温控特性
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模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖 被引量:1
17
作者 胡亚明 梁军生 +2 位作者 杨金鹤 王大志 王立鼎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期1500-1509,共10页
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获... 为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获得了厚度为200 nm的Ni种子层薄膜并进行金属图形化,之后进行微电铸实验,最后,利用KOH腐蚀硅模具以释放金字塔型实体Ni纳米尖。实验结果表明利用ICP干法刻蚀代替HF酸腐蚀SiO2掩蔽窗口,可将模具制作的相对误差降低约9%;金字塔型Ni纳米尖的底部边长尺寸约为140μm,纳米尖最小曲率半径为54 nm;微电铸工艺复制精度约为99%。采用微电铸工艺并结合硅片自停止刻蚀技术,能够稳定可靠地制备出金字塔型Ni纳米尖,实现了金属纳米尖的批量化制备,从而降低了制造成本,为纳米尖的广泛应用奠定了基础。 展开更多
关键词 纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层
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微拉伸测试系统中PZT微驱动器的设计与实现 被引量:1
18
作者 张国庆 褚金奎 高佳丽 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第7期23-25,48,共4页
为了实现微拉伸测试系统中微位移的精密进给,首先设计了一种压电陶瓷微驱动器,然后在LabVIEW平台上利用PID控制算法对其进行了闭环控制。控制后的微驱动器输出精度达到10 nm,响应时间较开环时缩短了近10倍,明显改善了输出特性并达到了... 为了实现微拉伸测试系统中微位移的精密进给,首先设计了一种压电陶瓷微驱动器,然后在LabVIEW平台上利用PID控制算法对其进行了闭环控制。控制后的微驱动器输出精度达到10 nm,响应时间较开环时缩短了近10倍,明显改善了输出特性并达到了线性输出的目的。最后将该驱动器应用于搭建的微拉伸测试系统,对SU-8光刻胶薄膜进行了微尺度力学性能测试,测得SU-8光刻胶薄膜的杨氏模量为(1.47±0.27)GPa,抗拉强度为(62.18±16.49)MPa,最大应变为(3.57±1.4)%。该驱动器基本满足了微拉伸测试的需要。 展开更多
关键词 微拉伸测试 压电陶瓷 PID SU-8光刻胶
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基于视觉的微夹钳位移测试技术研究
19
作者 王文静 褚金奎 +1 位作者 张然 张成 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期44-46,共3页
微夹钳输出位移是它的一个重要特性,微夹钳整体尺寸比较小,不能用常规方法测量输出位移。针对微夹钳的特点,提出一种微夹钳位移测试方法,采用非接触式测量,设计了一种基于视觉的微位移测试装置,并开发了配套的测量软件。测试软件通过Lab... 微夹钳输出位移是它的一个重要特性,微夹钳整体尺寸比较小,不能用常规方法测量输出位移。针对微夹钳的特点,提出一种微夹钳位移测试方法,采用非接触式测量,设计了一种基于视觉的微位移测试装置,并开发了配套的测量软件。测试软件通过LabVIEW软件平台实现,能够实现图像标定、测量和图像标注等功能。给出了详细的图像标定方法,通过台式测微尺实现。最后对微夹钳进行位移测试实验,验证了测量装置的可用性,并总结出微夹钳位移随电压变化的规律。位移测量装置的精度为±1μm,且具有一定的通用性,可用于其他MEMS器件的位移测试。 展开更多
关键词 位移测量 微夹钳 机器视觉 LABVIEW
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精密加速度计组件自动装配及焊接系统 被引量:1
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作者 刘正尧 罗怡 +1 位作者 王晓东 钱志龙 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第9期89-97,共9页
悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成... 悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成力、温度传感器和机器视觉的精密装配及焊接系统。采用相机配合转台实现待装配零件视觉测量,完成零件特征点的识别定位;利用精密滑台和转台调整待装配零件位姿;直线电机运动结合力反馈实现装配过程中零件间隙调整以及张紧力控制;开发专用焊接单元,实现在紧凑空间内对微小器件的自动温控焊接。试验结果表明,该系统能够完成加速度计组件自动装配及焊接,装配结果满足技术指标要求,焊点无虚焊,摆组件内边缘相对于磁钢边缘间隙偏差小于10μm,悬丝中心相对于加速度计底座地面位置精度优于20μm,悬丝张紧力偏差控制在±5 mN之内,能够达到产品装配质量要求。 展开更多
关键词 加速度计 精密装配 自动焊接 机器视觉 力反馈 误差测量
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