期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硅片清洗技术的研究进展
被引量：
9
1
作者
任格格
丁红旗
《科技创新与应用》
2017年第14期59-61,共3页
文章综述了国内外关于硅片清洗技术的研究进展,包括清洗技术的种类、清洗原理、清洗的特点以及清洗的效果。重点介绍了硅片清洗技术中的湿法清洗和干法清洗,并分析了各种清洗工艺的优缺点,讨论了硅片清洗工艺中存在的问题,并提出了进一...
文章综述了国内外关于硅片清洗技术的研究进展,包括清洗技术的种类、清洗原理、清洗的特点以及清洗的效果。重点介绍了硅片清洗技术中的湿法清洗和干法清洗,并分析了各种清洗工艺的优缺点,讨论了硅片清洗工艺中存在的问题,并提出了进一步发展的方向。
展开更多
关键词
硅片
清洗
湿法
干法
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
硅片清洗技术的研究进展
被引量：
9
1
作者
任格格
丁红旗
机构
辽宁工程技术大学研究生院材料工程系
出处
《科技创新与应用》
2017年第14期59-61,共3页
文摘
文章综述了国内外关于硅片清洗技术的研究进展,包括清洗技术的种类、清洗原理、清洗的特点以及清洗的效果。重点介绍了硅片清洗技术中的湿法清洗和干法清洗,并分析了各种清洗工艺的优缺点,讨论了硅片清洗工艺中存在的问题,并提出了进一步发展的方向。
关键词
硅片
清洗
湿法
干法
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅片清洗技术的研究进展
任格格
丁红旗
《科技创新与应用》
2017
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
