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动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
被引量：
4
1
作者
展长勇
杜纪富
黄宁康
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期241-245,共5页
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形...
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形成与基体有组分梯度的界面过渡层,减小了薄膜内应力,同时薄膜与基体具有较好的热学相容性,从而提高了薄膜的附着性能。Ar+束轰击的动态离子束混合沉积钛的氧化物薄膜中,Ti主要以+4价存在,而O+束轰击的动态离子束混合沉积形成的钛氧化物薄膜中含有次价态的钛氧化物。
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关键词
钛氧化物薄膜
动态离子束混合技术
AES
XPS
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职称材料
题名
动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
被引量：
4
1
作者
展长勇
杜纪富
黄宁康
机构
辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期241-245,共5页
文摘
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形成与基体有组分梯度的界面过渡层,减小了薄膜内应力,同时薄膜与基体具有较好的热学相容性,从而提高了薄膜的附着性能。Ar+束轰击的动态离子束混合沉积钛的氧化物薄膜中,Ti主要以+4价存在,而O+束轰击的动态离子束混合沉积形成的钛氧化物薄膜中含有次价态的钛氧化物。
关键词
钛氧化物薄膜
动态离子束混合技术
AES
XPS
Keywords
Titanium oxide film, Dynamic ion beam mixing, AES, XPS
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
展长勇
杜纪富
黄宁康
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
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