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题名基体负偏压对类金刚石涂层结构和性能的影响
被引量：4
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作者
纪锡旺
许振华
贺莉丽
何利民
郝俊文
甄洪滨
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机构
北京航空材料研究院
华东理工大学机械与动力工程学院
中航工业南方航空工业(集团)有限公司
赛屋涂层技术有限公司
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出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期43-49,共7页
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文摘
采用直流等离子体增强化学气相沉积技术(DC-PECVD),通过控制基体负偏压的变化在YG8硬质合金基体上制备一系列类金刚石涂层。选用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、粗糙度仪对涂层形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析涂层的显微硬度和界面结合性能。结果表明:随着负偏压增大,涂层表面形貌逐渐平整光滑、致密,颗粒尺寸减小及数量降低。拉曼光谱表明,涂层具有典型的类金刚石结构,涂层中sp3键含量呈先增大后减小趋势,最大值约67.9%出现在负偏压为1000V左右,负偏压过大导致sp3键含量降低。显微硬度随负偏压变化规律与sp3键基本相符,sp3键含量决定显微硬度值大小。负偏压过大对吸附离子产生反溅射作用导致涂层厚度减小。当负偏压为1100V时,涂层与基体间的界面结合性能最优。
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关键词
DC-PECVD
类金刚石
基体负偏压
结构
性能
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Keywords
DC-PECVD
diamond-like-carbon
substrate negative bias voltage
microstructure
performance
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分类号
TG70
[金属学及工艺—刀具与模具]
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题名沉积温度对类金刚石涂层表面形貌和性能的影响
被引量：2
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作者
纪锡旺
郝俊文
许振华
何利民
何志宏
甄洪滨
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机构
华东理工大学机械与动力工程学院
北京航空材料研究院
第二炮兵驻红阳机械厂军代表室
赛屋涂层技术有限公司
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期40-45,共6页
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文摘
采用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石(DLC)涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构、表面形貌、厚度、显微硬度、耐磨损性能以及界面结合性能的影响。结果表明:随着沉积温度的升高,DLC涂层中sp3键的比例呈先增大后减小的趋势,并在160℃达到最大,为69%;沉积温度过高将导致DLC涂层出现石墨化;DLC涂层的厚度、显微硬度、耐磨损性能、界面结合力均随沉积温度的升高呈先增大后减小的趋势,当沉积温度为160℃时,涂层表面平整光滑、致密,此时涂层的厚度、显微硬度和界面结合力均达到最大,分别为3.2μm、2 395HV和63N;DLC涂层的显微硬度、抗磨损能力、厚度和界面结合强度随沉积温度的变化规律与sp3键含量密切相关。
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关键词
直流等离子体增强化学气相沉积技术
类金刚石涂层
沉积温度
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Keywords
direct current plasma enhanced chemical vapor deposition（DC-PEVCD）technology
diamond-like-carbon（DLC）coating
deposition temperature
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分类号
TG174
[金属学及工艺—金属表面处理]
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