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高加速寿命试验在裂解源装置可靠性测试中的应用
1
作者
陈冬冬
郭维
+2 位作者
张朱锋
谢斌平
高汉超
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第6期436-441,共6页
裂解源是超高真空分子束外延(MBE)设备的核心部件,可用于生长诸如GaAs、InP、GaSb等多种III-V族化合物半导体外延材料。由于MBE使用过程中超高真空不易获取的特点,对裂解源的可靠性有很高的要求。文章探讨了分子束外延设备用砷裂解源装...
裂解源是超高真空分子束外延(MBE)设备的核心部件,可用于生长诸如GaAs、InP、GaSb等多种III-V族化合物半导体外延材料。由于MBE使用过程中超高真空不易获取的特点,对裂解源的可靠性有很高的要求。文章探讨了分子束外延设备用砷裂解源装置高应力加速试验的原理和方法,针对裂解源的特点设计了加速老化试验方案。根据高温度应力加速模型,确定了裂解源的温度组合加速因子,设计出相应的试验任务剖面,并且根据试验方案得出裂解源的平均失效间隔时间(MTBF)大于5000 h。该方案为可靠性指标较高、受试样机数量紧缩的真空装置、科学仪器等设备的可靠性验证问题提供了工程应用参考。
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关键词
分子束外延
裂解源
可靠性
平均失效间隔时间
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职称材料
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
被引量：
1
2
作者
朱冠卿
邹鹏飞
+4 位作者
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期394-400,共7页
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其...
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹,实验测试得到了MMG在−500~−2500 V电压下10^(−4)~10^(−7)mbar之间的电流与真空度关系曲线,选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度,将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10^(−4)到10^(−7)mbar范围真空度的测量。
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关键词
真空测量
磁控管真空计
微型化
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职称材料
微型磁控管式离子泵设计及其性能研究
3
作者
孙雷桔
朱冠卿
+4 位作者
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期1026-1032,共7页
越来越多关于微型离子泵新思路、新想法的产生以及新结构设计的提出,为目前微型真空电子元件的工作和真空度维护等问题提供了更多的解决方法。微型电离真空计与微型溅射离子泵在结构和原理上有许多相似之处,将这两种器件结合在一起,能...
越来越多关于微型离子泵新思路、新想法的产生以及新结构设计的提出,为目前微型真空电子元件的工作和真空度维护等问题提供了更多的解决方法。微型电离真空计与微型溅射离子泵在结构和原理上有许多相似之处,将这两种器件结合在一起,能够同时实现两种功能并且大大减小半导体整体体积,文章在一种微型电离真空计的基础上设计了一种微型溅射离子泵,该离子泵单独作为主泵在10^(-3)Pa-10^(-4)Pa范围抽气效果良好,并可以维持系统真空度;作为辅助泵可以有效加强分子泵在10^(-6)Pa量级的抽速,其离子电流与内部真空度变化趋势相一致,因此该结构可以同时作为冷阴极电离真空计与溅射离子泵使用。
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关键词
真空获得
离子泵
磁控管
微型化
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职称材料
题名
高加速寿命试验在裂解源装置可靠性测试中的应用
1
作者
陈冬冬
郭维
张朱锋
谢斌平
高汉超
机构
费勉
仪器
科技
(
上海
)
有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第6期436-441,共6页
基金
国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项资助项目(2022YFF0707600)。
文摘
裂解源是超高真空分子束外延(MBE)设备的核心部件,可用于生长诸如GaAs、InP、GaSb等多种III-V族化合物半导体外延材料。由于MBE使用过程中超高真空不易获取的特点,对裂解源的可靠性有很高的要求。文章探讨了分子束外延设备用砷裂解源装置高应力加速试验的原理和方法,针对裂解源的特点设计了加速老化试验方案。根据高温度应力加速模型,确定了裂解源的温度组合加速因子,设计出相应的试验任务剖面,并且根据试验方案得出裂解源的平均失效间隔时间(MTBF)大于5000 h。该方案为可靠性指标较高、受试样机数量紧缩的真空装置、科学仪器等设备的可靠性验证问题提供了工程应用参考。
关键词
分子束外延
裂解源
可靠性
平均失效间隔时间
Keywords
Molecular beam epitaxy
Cracking source
Reliability
Mean time between failures
分类号
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
TB754 [一般工业技术—真空技术]
V438.4 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
TP202.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
被引量：
1
2
作者
朱冠卿
邹鹏飞
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
机构
合肥工业大学机械工程学院
费勉
仪器
科技
(
上海
)
有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期394-400,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)
国家自然科学基金青年基金项目(62101172)。
文摘
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹,实验测试得到了MMG在−500~−2500 V电压下10^(−4)~10^(−7)mbar之间的电流与真空度关系曲线,选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度,将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10^(−4)到10^(−7)mbar范围真空度的测量。
关键词
真空测量
磁控管真空计
微型化
Keywords
Vacuum measurement
Magnetron gauge
Miniaturize
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
微型磁控管式离子泵设计及其性能研究
3
作者
孙雷桔
朱冠卿
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
机构
合肥工业大学机械工程学院
费勉
仪器
科技
(
上海
)
有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期1026-1032,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)
国家自然科学基金青年基金项目(62101172)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JZ2024HGTG0307)
中国博士后科学基金面上资助项目(2023M743110)。
文摘
越来越多关于微型离子泵新思路、新想法的产生以及新结构设计的提出,为目前微型真空电子元件的工作和真空度维护等问题提供了更多的解决方法。微型电离真空计与微型溅射离子泵在结构和原理上有许多相似之处,将这两种器件结合在一起,能够同时实现两种功能并且大大减小半导体整体体积,文章在一种微型电离真空计的基础上设计了一种微型溅射离子泵,该离子泵单独作为主泵在10^(-3)Pa-10^(-4)Pa范围抽气效果良好,并可以维持系统真空度;作为辅助泵可以有效加强分子泵在10^(-6)Pa量级的抽速,其离子电流与内部真空度变化趋势相一致,因此该结构可以同时作为冷阴极电离真空计与溅射离子泵使用。
关键词
真空获得
离子泵
磁控管
微型化
Keywords
Vacuum acquisition
Ion pumps
Magnetrons
Miniaturization
分类号
TB752 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高加速寿命试验在裂解源装置可靠性测试中的应用
陈冬冬
郭维
张朱锋
谢斌平
高汉超
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
朱冠卿
邹鹏飞
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
微型磁控管式离子泵设计及其性能研究
孙雷桔
朱冠卿
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
已选择
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