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半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究
被引量:
4
1
作者
王一晴
闻明
+1 位作者
郭俊梅
管伟明
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期27-31,共5页
采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理...
采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理对NiPt合金获得择优取向具有明显影响,合金经过铸造、均匀化、轧制等工艺,其硬度分别为292、218、439,可分别形成(200)织构、(311)织构、(200)+(220)织构。靶材微观结构与溅射后表面形貌均匀性具有关联性。
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关键词
金属材料
NiPt合金靶材
均匀化退火
轧制
择优取向
磁控溅射
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职称材料
银包铜复合材料的界面研究
被引量:
2
2
作者
陈永秦
谢明
+8 位作者
杨有才
王松
张吉明
刘满门
王塞北
胡洁琼
杨云峰
李爱坤
魏宽
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S01期52-55,共4页
采用复合铸造方法制备了银包铜复合材料,研究了扩散退火温度和时间对复合材料显微组织和扩散层厚度的影响。结果表明:随着扩散热处理温度升高和保温时间的延长,扩散层厚度逐渐增加,在500℃和600℃保温60 min,出现了界面组织的球化现象...
采用复合铸造方法制备了银包铜复合材料,研究了扩散退火温度和时间对复合材料显微组织和扩散层厚度的影响。结果表明:随着扩散热处理温度升高和保温时间的延长,扩散层厚度逐渐增加,在500℃和600℃保温60 min,出现了界面组织的球化现象。扩散层厚度与扩散处理时间的平方根成正比,扩散层生长激活能为51.9 kJ/mol。
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关键词
金属材料
银包铜复合材料
扩散退火
显微组织
扩散层
生长激活能
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职称材料
钌粉提纯和钌靶制备的研究进展
被引量:
12
3
作者
邓瑞
闻明
+2 位作者
陈家林
郭俊梅
杜怡霖
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期82-87,共6页
钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)和放电等离子烧结(SPS)等不同工艺加工所得钌靶的差异。分析了...
钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)和放电等离子烧结(SPS)等不同工艺加工所得钌靶的差异。分析了靶材的纯度、密度、晶粒大小、晶面取向、成分和组织的均匀性等特性对溅射薄膜的影响。探讨了高品质钌靶的制约因素和发展方向。
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关键词
金属材料
钌
靶材
提纯
制备
溅射薄膜
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职称材料
含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展
被引量:
2
4
作者
王鲁宁
闻明
+2 位作者
张蕊
赵飞
郭俊梅
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期75-81,97,共8页
材料在使用过程中经常会因为磨损和腐蚀而导致失效,采用表面改性技术制备涂层来改善材料的耐磨性和耐蚀性是一种经济、高效的方法。由于金具有低剪切强度、化学稳定性好和自润滑作用等优点,在涂层中引入金可以显著改善材料的耐磨性和耐...
材料在使用过程中经常会因为磨损和腐蚀而导致失效,采用表面改性技术制备涂层来改善材料的耐磨性和耐蚀性是一种经济、高效的方法。由于金具有低剪切强度、化学稳定性好和自润滑作用等优点,在涂层中引入金可以显著改善材料的耐磨性和耐蚀性。综述了含金耐磨耐蚀涂层目前主要的制备方法、金的润滑机理、金提高涂层耐蚀性的原因及其影响因素等,并对涂层的发展方向进行了展望。
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关键词
材料失效与保护
涂层
耐磨性
耐蚀性
金
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职称材料
题名
半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究
被引量:
4
1
作者
王一晴
闻明
郭俊梅
管伟明
机构
贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室昆明贵金属研究所云南省贵金属材料重点实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期27-31,共5页
基金
云南省对外科技合作计划项目(2014IA037)
云南省战略性新兴产业发展专项资金项目
文摘
采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理对NiPt合金获得择优取向具有明显影响,合金经过铸造、均匀化、轧制等工艺,其硬度分别为292、218、439,可分别形成(200)织构、(311)织构、(200)+(220)织构。靶材微观结构与溅射后表面形貌均匀性具有关联性。
关键词
金属材料
NiPt合金靶材
均匀化退火
轧制
择优取向
磁控溅射
Keywords
metal materials
Ni Pt alloy target
homogenization annealing
rolling
texture
magnetron sputtering
分类号
TG335.5 [金属学及工艺—金属压力加工]
TN305.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
银包铜复合材料的界面研究
被引量:
2
2
作者
陈永秦
谢明
杨有才
王松
张吉明
刘满门
王塞北
胡洁琼
杨云峰
李爱坤
魏宽
机构
贵研
铂
业
股份有限公司
稀
贵金属
综合
利用
新
技术
国家
重点
实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S01期52-55,共4页
基金
云南省省院所技术开发专项(2011CF012)
昆明市科技创新团队项目(2012-01-01-A-R-07-0005)资助
文摘
采用复合铸造方法制备了银包铜复合材料,研究了扩散退火温度和时间对复合材料显微组织和扩散层厚度的影响。结果表明:随着扩散热处理温度升高和保温时间的延长,扩散层厚度逐渐增加,在500℃和600℃保温60 min,出现了界面组织的球化现象。扩散层厚度与扩散处理时间的平方根成正比,扩散层生长激活能为51.9 kJ/mol。
关键词
金属材料
银包铜复合材料
扩散退火
显微组织
扩散层
生长激活能
Keywords
metal materials
Ag clad Cu composite materials
diffusion annealing
microstructures
diffusion layer
the growth activation energy
分类号
TG146.31 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
钌粉提纯和钌靶制备的研究进展
被引量:
12
3
作者
邓瑞
闻明
陈家林
郭俊梅
杜怡霖
机构
贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室昆明贵金属研究所云南省贵金属材料重点实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期82-87,共6页
基金
国家重点研发计划项目(2017YFB0305503)
云南省院所专项项目(2009CF003)
文摘
钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)和放电等离子烧结(SPS)等不同工艺加工所得钌靶的差异。分析了靶材的纯度、密度、晶粒大小、晶面取向、成分和组织的均匀性等特性对溅射薄膜的影响。探讨了高品质钌靶的制约因素和发展方向。
关键词
金属材料
钌
靶材
提纯
制备
溅射薄膜
Keywords
metal materials
ruthenium
sputter target
purification
preparation
sputtered films
分类号
TG146.38 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展
被引量:
2
4
作者
王鲁宁
闻明
张蕊
赵飞
郭俊梅
机构
贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室昆明贵金属研究所云南省贵金属材料重点实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期75-81,97,共8页
基金
国家自然科学基金项目(51564025)
云南省基金重点项目(2017FA029)
文摘
材料在使用过程中经常会因为磨损和腐蚀而导致失效,采用表面改性技术制备涂层来改善材料的耐磨性和耐蚀性是一种经济、高效的方法。由于金具有低剪切强度、化学稳定性好和自润滑作用等优点,在涂层中引入金可以显著改善材料的耐磨性和耐蚀性。综述了含金耐磨耐蚀涂层目前主要的制备方法、金的润滑机理、金提高涂层耐蚀性的原因及其影响因素等,并对涂层的发展方向进行了展望。
关键词
材料失效与保护
涂层
耐磨性
耐蚀性
金
Keywords
material failure and protection
coating
wear resistance
corrosion resistance
Au
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
TG146.31 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究
王一晴
闻明
郭俊梅
管伟明
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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下载PDF
职称材料
2
银包铜复合材料的界面研究
陈永秦
谢明
杨有才
王松
张吉明
刘满门
王塞北
胡洁琼
杨云峰
李爱坤
魏宽
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
钌粉提纯和钌靶制备的研究进展
邓瑞
闻明
陈家林
郭俊梅
杜怡霖
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展
王鲁宁
闻明
张蕊
赵飞
郭俊梅
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
在线阅读
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职称材料
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