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题名以应用为导向的薄膜材料与技术综合实验设计
被引量：3
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作者
岳兰
罗胜耘
孟繁新
董泽刚
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机构
贵州民族大学材料科学与工程学院
中国振华集团永光电子有限公司
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出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2020年第6期149-153,157,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(61504031)
贵州省科学技术基金项目(黔科合LH字[2014]7388)。
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文摘
基于应用型创新人才的培养目标,通过创新教学模式,整合教学资源,以国际研究热点氧化物薄膜晶体管(TFT)作为实验对象,为薄膜材料与技术实验课程设计了以应用为导向的综合性实验。该实验设计采用全面贯穿"应用导向驱动学生好奇心"的实践教学模式,通过模拟科学研究全过程,将典型薄膜材料、传统制膜技术以及多种薄膜表征手段等课程知识要点有机结合,激发学生的学习热情,促进学生对课程重点知识的掌握,提升学生运用综合知识解决实际问题的能力,培养学生的创新意识和科研素养。
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关键词
薄膜材料与技术课程
制膜技术
薄膜表征
综合性实验
应用型人才
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Keywords
thin film materials and technology courses
comprehensive experiment
thin film materials
preparation method of thin films
applied talents
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分类号
G642.423
[文化科学—高等教育学]
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题名无机氧化物沟道层/有机介质层混合型薄膜晶体管
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作者
岳兰
董泽刚
孟繁新
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机构
贵州民族大学材料科学与工程学院贵州省普通高等学校光电信息分析与处理特色重点实验室
中国振华集团永光电子有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第11期857-862,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61504031)
贵州省科学技术基金资助项目(20147388,20147389)
+2 种基金
贵州省教育厅青年成长人才项目(2016155)
贵州民族大学科研基金资助项目(15XRY009)
贵州省普通高等学校光电信息分析与处理特色重点实验室项目(KY2016003)
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文摘
基于低成本溶液法的浸渍提拉成膜工艺以无机In-Al-Zn-O(IAZO)为沟道层,以有机聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为介质层,研制了无机/有机混合型薄膜晶体管(TFT),探究了PMMA厚度对IAZO TFT电学特性和电学稳定性的影响。结果表明,具备较薄PMMA介质层的TFT呈现出更优越的工作特性(饱和迁移率大于20 cm2·V^-1·s^-1,电流开关比高于104),然而随着介质层厚度的减薄,经过疲劳测试后的器件电学稳定性却明显退化。此外,有机PMMA介质层(厚度390 nm)叠加于无机IAZO沟道层有一定的增透效果:IAZO/PMMA双层薄膜在可见光区(波长400~700 nm)的平均透过率(95.0%)高于单层IAZO的平均透过率(93.0%),表明所选用的IAZO和PMMA材料在制备全透明器件方面具备一定的应用潜力。
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关键词
薄膜晶体管
溶液法
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
介质层厚度
电学稳定性
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Keywords
thin-film transistor
solution method
polymethyl methacrylate (PMMA)
dielectric layer thickness
electrical stability
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分类号
TN321.5
[电子电信—物理电子学]
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