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CVD单晶金刚石的制备及红外性能研究 被引量:1
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作者 卢灿华 刘乾坤 +4 位作者 王志涛 张国凯 陈明 曹通 朱培 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2020年第6期20-24,共5页
利用微波等离子化学气相沉积法,以H2/CH4/N2为混合气源,在CVD金刚石单晶基底上同质外延生长金刚石。在一定的甲烷浓度下,分析衬底温度对金刚石结晶质量及光学性能的影响。利用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)表征金刚石单晶,得到金刚... 利用微波等离子化学气相沉积法,以H2/CH4/N2为混合气源,在CVD金刚石单晶基底上同质外延生长金刚石。在一定的甲烷浓度下,分析衬底温度对金刚石结晶质量及光学性能的影响。利用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)表征金刚石单晶,得到金刚石单晶的样品颜色、内部缺陷、表面形貌等信息。对金刚石样品进行抛光处理后,使用红外傅里叶变换光谱仪对金刚石进行检测,得到红外波段的光学透过率。结果表明:在生长温度为930℃左右时金刚石的结晶质量最好,红外透过率最高,可达70%以上;略高或略低的温度均会降低其红外透过率,相对来说略高的温度下生长的金刚石结晶质量和红外性能优于低温下生长的金刚石的。N2的掺杂会导致单晶带有棕褐色,生长速率显著变快,严重降低红外波段的光学性能。 展开更多
关键词 微波等离子体 衬底温度 红外透过率 掺杂
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钻探用聚晶金刚石复合片的显微组织及性能
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作者 朱培 卢灿华 +3 位作者 张涛 陈明 赵文龙 韩新伟 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2023年第4期482-488,共7页
采用上层为细粒度金刚石、下层与硬质合金接触的为粗细度金刚石的分层设计理念,制备钻探用多金刚石层的聚晶金刚石复合片(PDC),对比不同粒度的单层金刚石PDC与多层金刚石PDC的显微组织与性能的差异。利用超声波扫描、扫描电子显微镜(SEM... 采用上层为细粒度金刚石、下层与硬质合金接触的为粗细度金刚石的分层设计理念,制备钻探用多金刚石层的聚晶金刚石复合片(PDC),对比不同粒度的单层金刚石PDC与多层金刚石PDC的显微组织与性能的差异。利用超声波扫描、扫描电子显微镜(SEM)表征每种PDC的内部缺陷和表面形貌等,并分别对PDC的耐热性、抗冲击性和耐磨性进行测试。结果表明:多层金刚石PDC的综合性能良好,其表层耐磨,下层更耐冲击,且其具有更加均衡的耐热性、抗冲击性和耐磨性。细粒度金刚石层PDC的耐磨性更高,但耐热性和抗冲击性较低,而粗粒度金刚石层PDC的耐热性和抗冲击性能更好,但耐磨性较差。 展开更多
关键词 聚晶金刚石复合片 分层设计 耐热性 抗冲击性 耐磨性
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