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题名数字气压传感器的一种高效标定和补偿方法
被引量：11
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作者
李亮
杜利东
赵湛
卫克晶
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机构
中国科学院电子学研究所传感器技术联合国家重点实验室
中国科学院大学
解放军理工大学气象海洋学院探测与装备工程教研中心
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第11期44-47,共4页
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基金
国家"863"计划资助项目(2012AA040504)
国家自然科学青年基金资助项目(51305423)
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文摘
硅压阻式压力传感器受制造工艺和测量环境的影响,其输出大都具有一定的非线性,其中以温度的影响最为明显。鉴于此,传感器需要准确地标定测试和温度补偿,首先制作一种带有高精度AD和微处理器的数字气压传感器,用它采集数据;然后分析测试设备,确定采用恒压变温的标定方案,它不仅效率高,而且能准确反映传感器的温度和输出特性;最后用最小二乘算法在微处理器上实现温度补偿,补偿后传感器的输出精度满足了应用需求。
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关键词
硅压阻式压力传感器
标定测试
温度补偿
最小二乘法
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Keywords
Si piezo-resistive pressure sensor
calibration and test
temperature compensation
least square method
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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