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面向IC封装的两自由度高速精密定位系统
被引量：
1
1
作者
冯晓梅
张大卫
+1 位作者
赵兴玉
杜伟涛
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期13-17,共5页
为弥补传统滚珠丝杠式两维驱动xy精密定位平台在速度和加速度提高上存在的不足,提出一种基于直线音圈电机直接驱动,采用新型弹性解耦机构的高速高精度xy定位平台。系统探讨了该装置的动态设计方法,在此基础上,加工生产出xy精密定位平台...
为弥补传统滚珠丝杠式两维驱动xy精密定位平台在速度和加速度提高上存在的不足,提出一种基于直线音圈电机直接驱动,采用新型弹性解耦机构的高速高精度xy定位平台。系统探讨了该装置的动态设计方法,在此基础上,加工生产出xy精密定位平台样机一套。通过对样机进行性能测试,结果表明,xy定位平台具有很高的速度、加速度和精度,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求。
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关键词
XY平台
音圈电机
解耦机构
性能试验
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职称材料
题名
面向IC封装的两自由度高速精密定位系统
被引量：
1
1
作者
冯晓梅
张大卫
赵兴玉
杜伟涛
机构
解放军军事交通学院装机系
天津大学机械工程
学院
出处
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期13-17,共5页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404060)
文摘
为弥补传统滚珠丝杠式两维驱动xy精密定位平台在速度和加速度提高上存在的不足,提出一种基于直线音圈电机直接驱动,采用新型弹性解耦机构的高速高精度xy定位平台。系统探讨了该装置的动态设计方法,在此基础上,加工生产出xy精密定位平台样机一套。通过对样机进行性能测试,结果表明,xy定位平台具有很高的速度、加速度和精度,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求。
关键词
XY平台
音圈电机
解耦机构
性能试验
Keywords
xy table
voice coil actuator
decoupling mechanism
performance test
分类号
U666.12 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向IC封装的两自由度高速精密定位系统
冯晓梅
张大卫
赵兴玉
杜伟涛
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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