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用圆弧极板型差动式电容传感器测量主轴回转精度时的误差分析 被引量:2
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作者 洪迈生 洪亮 《计量学报》 CSCD 北大核心 1998年第2期152-156,共5页
定量地分析了圆弧极板型差动电容式传感器在测量主轴回转误差运动时的原理误差。指出不能忽略主轴截面形状误差的1、5、7阶谐波的影响,其余均可剔除或忽略。
关键词 主轴回转误差 测量 差动法 机床 几何误差
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