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表面形变精密测试方法的研究 被引量：1
1
作者 杨永正 杨军 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期188-189,共2页
本文在试样的表面制作出等间隔的平行线，作为反射式光栅，在激光束的照射下形成一列线阵分布的衍射光斑，并用线阵电荷耦合器件等组成的系统，测试衍射光斑间距及其变化量，从而高精度（μｍ量级）的为材料表面形变、应变等的测试，开... 本文在试样的表面制作出等间隔的平行线，作为反射式光栅，在激光束的照射下形成一列线阵分布的衍射光斑，并用线阵电荷耦合器件等组成的系统，测试衍射光斑间距及其变化量，从而高精度（μｍ量级）的为材料表面形变、应变等的测试，开发了一种具有近代光学测量的新技术。 展开更多
关键词 表面光栅 衍射光斑 形变 精密测试 光学测量
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材料表面形变应变场的光电检测新途径
2
作者 杨永正 杨军 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第3期33-36,共4页
目前为了高精度地测量材料表面形变、应变场，正致力于完善在试件表面刻蚀１，０００－１０，０００线／ｍｍ的正交网络技术，这是件难度很大的具有一定限度的新技术，当刻线比线距宽时，由于使用效果不佳而失去意义。本文避免了在试件... 目前为了高精度地测量材料表面形变、应变场，正致力于完善在试件表面刻蚀１，０００－１０，０００线／ｍｍ的正交网络技术，这是件难度很大的具有一定限度的新技术，当刻线比线距宽时，由于使用效果不佳而失去意义。本文避免了在试件表面制作这种高密集刻线的困难，用了在试件表面制作１０－１００线／ｍｍ表面光栅的新方法，把栅距ｄ及其变化量Δｄ的测量、转换、放大成为衍射光斑间距Ｌ及其变化量ΔＬ的测量，再经光信息采集，与数据处理的硬件、软件系统，把ｍｍ量级形变的测量提高到μｍ量级的测量精度，发展了高精度（微米量级）、快速（微秒量级）、自动地获得与处理表面形变、应变场等表面特征量的新途径。 展开更多
关键词 变形测量 应变测量 材料缺陷 表面缺陷 光电测量
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