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题名压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析
被引量：16
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作者
娄利飞
杨银堂
樊永祥
李跃进
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机构
西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2006年第4期165-169,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(90207022)
武器装备预研基金项目(51411040105DZ0141)
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文摘
以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响应速度的关键因素,结果表明为了提高压电薄膜微传感器的工作稳定性和响应速度,应该在符合工艺要求和保证其它特性的前提下,尽量减小微悬臂梁结构长度,增加多晶硅层厚度,限制PZT层厚度,而微悬臂梁宽度的影响较小。
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关键词
压电薄膜
有限元分析
耦合场
微传感器
模态分析
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Keywords
piezoelectric thin film,finite element analysis(FEA),coupling field,microsensor,modal analysis
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜
被引量：1
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作者
娄利飞
杨银堂
汪家友
毕发社
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机构
西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室
西安通信学院军事综合信息网教研室
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第1期29-32,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(90207022)
武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
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文摘
设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移。提出了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺相兼容的制作方法,利用有限元软件ANSYS7.0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究,并与数值计算结果进行了比较,结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求。
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关键词
微镜
有限元模拟
压电薄膜
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Keywords
micro-mirror
finite element analysis （FEA）
piezoelectric thin film
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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