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金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器
被引量:
8
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作者
田敬民
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1996年第2期50-55,共6页
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位。
关键词
金属氧化物
氧化锡
气敏传感器
传感器
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职称材料
SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
被引量:
3
2
作者
田敬民
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期113-118,共6页
本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的SnO2薄膜气体传感器在不同温度与气氛条件下的复阻抗谱,根据等效电路模型与复阻抗谱的变化,分析了电导调制机构与气敏机理,基于气体在晶界与表面吸附效应提出了气体敏感的物理化学模型.
关键词
二氧化锡
复阻抗谱
气体传感器
敏感性
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职称材料
大功率晶体管(GTR)工艺的计算机模拟
3
作者
高勇
高彦明
陈治明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期37-39,共3页
针对集成电路工艺模拟中的扩散模型不适宜大功率器件工艺,对模型作了适当修正。在此基础上对大功率晶体管(GTR)的三重扩散工艺进行了模拟,结果与实验吻合很好。此外,在模拟中将离子注入引入GTR工艺,对改进GTR工艺具有一...
针对集成电路工艺模拟中的扩散模型不适宜大功率器件工艺,对模型作了适当修正。在此基础上对大功率晶体管(GTR)的三重扩散工艺进行了模拟,结果与实验吻合很好。此外,在模拟中将离子注入引入GTR工艺,对改进GTR工艺具有一定的参考价值。
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关键词
大功率晶体管
工艺
模拟
杂质分析
GTR
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职称材料
题名
金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器
被引量:
8
1
作者
田敬民
机构
西安理工大学微电子技术教研室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1996年第2期50-55,共6页
文摘
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位。
关键词
金属氧化物
氧化锡
气敏传感器
传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
被引量:
3
2
作者
田敬民
机构
西安理工大学微电子技术教研室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期113-118,共6页
文摘
本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的SnO2薄膜气体传感器在不同温度与气氛条件下的复阻抗谱,根据等效电路模型与复阻抗谱的变化,分析了电导调制机构与气敏机理,基于气体在晶界与表面吸附效应提出了气体敏感的物理化学模型.
关键词
二氧化锡
复阻抗谱
气体传感器
敏感性
Keywords
tin dioxide
complex impedance spectroscopy, electrostatic spray pyrolysis prooes
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
大功率晶体管(GTR)工艺的计算机模拟
3
作者
高勇
高彦明
陈治明
机构
西安理工大学微电子技术教研室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期37-39,共3页
文摘
针对集成电路工艺模拟中的扩散模型不适宜大功率器件工艺,对模型作了适当修正。在此基础上对大功率晶体管(GTR)的三重扩散工艺进行了模拟,结果与实验吻合很好。此外,在模拟中将离子注入引入GTR工艺,对改进GTR工艺具有一定的参考价值。
关键词
大功率晶体管
工艺
模拟
杂质分析
GTR
分类号
TN323.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器
田敬民
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1996
8
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职称材料
2
SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
田敬民
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
3
在线阅读
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职称材料
3
大功率晶体管(GTR)工艺的计算机模拟
高勇
高彦明
陈治明
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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职称材料
已选择
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参考文献
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