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金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器 被引量:8
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作者 田敬民 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期50-55,共6页
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位。
关键词 金属氧化物 氧化锡 气敏传感器 传感器
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SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究 被引量:3
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作者 田敬民 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期113-118,共6页
本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的SnO2薄膜气体传感器在不同温度与气氛条件下的复阻抗谱,根据等效电路模型与复阻抗谱的变化,分析了电导调制机构与气敏机理,基于气体在晶界与表面吸附效应提出了气体敏感的物理化学模型.
关键词 二氧化锡 复阻抗谱 气体传感器 敏感性
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大功率晶体管(GTR)工艺的计算机模拟
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作者 高勇 高彦明 陈治明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期37-39,共3页
针对集成电路工艺模拟中的扩散模型不适宜大功率器件工艺,对模型作了适当修正。在此基础上对大功率晶体管(GTR)的三重扩散工艺进行了模拟,结果与实验吻合很好。此外,在模拟中将离子注入引入GTR工艺,对改进GTR工艺具有一... 针对集成电路工艺模拟中的扩散模型不适宜大功率器件工艺,对模型作了适当修正。在此基础上对大功率晶体管(GTR)的三重扩散工艺进行了模拟,结果与实验吻合很好。此外,在模拟中将离子注入引入GTR工艺,对改进GTR工艺具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 大功率晶体管 工艺 模拟 杂质分析 GTR
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