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半导体激光Fabry-Perot干涉波长的微位移测量仪
被引量:
2
1
作者
杨秀芳
王小明
+1 位作者
刘月明
郭彦珍
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期916-918,共3页
设计了一种基于FabryPerot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个FabryPerot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干...
设计了一种基于FabryPerot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个FabryPerot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干涉腔长之间的关系,当参考腔与测量腔的透射光谱中心波长完全重合时,对纳米级微位移实现实时测量.光源采用半导体激光器,可获得所需要的波长值和波长变化范围.实验结果表明,这种测量仪测量误差不大于1.5nm,该精度可以满足精密机械加工、光电子和微电子加工以及纳米级测量技术等领域的精度要求.
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关键词
Fabry—Perot干涉仪
微位移测量仪
半导体激光
透射光谱
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职称材料
城市铁路平交道口安全防护装置的研究与应用
被引量:
1
2
作者
梁伟
仝前进
《铁道建筑》
北大核心
2006年第10期91-92,共2页
根据西安城市铁路平交道口的现状,分析了不同形式安全防护装置的性能,介绍了新型机动车辆阻挡装置的结构性能和特点,以及新型安全防护装置安装应用实例,供类似工程参考。
关键词
铁路平交道口
机动车辆
防撞装置
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职称材料
题名
半导体激光Fabry-Perot干涉波长的微位移测量仪
被引量:
2
1
作者
杨秀芳
王小明
刘月明
郭彦珍
机构
西安
理工大学机械与精密仪器工程学院
西安市政管理委员会
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期916-918,共3页
文摘
设计了一种基于FabryPerot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个FabryPerot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干涉腔长之间的关系,当参考腔与测量腔的透射光谱中心波长完全重合时,对纳米级微位移实现实时测量.光源采用半导体激光器,可获得所需要的波长值和波长变化范围.实验结果表明,这种测量仪测量误差不大于1.5nm,该精度可以满足精密机械加工、光电子和微电子加工以及纳米级测量技术等领域的精度要求.
关键词
Fabry—Perot干涉仪
微位移测量仪
半导体激光
透射光谱
Keywords
Fabry-Perot interferometer
Micro-distance measuring instrument
Laser diode
Transmission spectrum
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
城市铁路平交道口安全防护装置的研究与应用
被引量:
1
2
作者
梁伟
仝前进
机构
西安
市
市政管理
委员会
科技处
西安
百斯特实业有限公司
出处
《铁道建筑》
北大核心
2006年第10期91-92,共2页
文摘
根据西安城市铁路平交道口的现状,分析了不同形式安全防护装置的性能,介绍了新型机动车辆阻挡装置的结构性能和特点,以及新型安全防护装置安装应用实例,供类似工程参考。
关键词
铁路平交道口
机动车辆
防撞装置
分类号
U213.81 [交通运输工程—道路与铁道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体激光Fabry-Perot干涉波长的微位移测量仪
杨秀芳
王小明
刘月明
郭彦珍
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
在线阅读
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职称材料
2
城市铁路平交道口安全防护装置的研究与应用
梁伟
仝前进
《铁道建筑》
北大核心
2006
1
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职称材料
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