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类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究被引量：5: 1; 作者李建超苏俊宏徐均琪《应用光学》 CAS CSCD 2004年第5期56-59,共4页; 　由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得十分必要。本文采... 展开更多; 关键词类金刚石薄膜光学常数拟合模型椭偏光谱可靠性; 在线阅读下载PDF 职称材料

干涉图空域延拓技术研究被引量：5: 2; 作者苏俊宏陈磊朱日宏《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第4期397-400,共4页; 现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。用二维FFT方法处理干涉图时,由于FFT算法只能处理数字化的离散数据,且要求数据分布区域必须是矩形区域,因此必须设法将圆形区域干涉图扩展延拓成矩形区域。在研究二... 展开更多; 关键词二维FFT 区域延拓干涉图算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计被引量：4: 3; 作者权贵秦韩军弥谦《应用光学》 CAS CSCD 2002年第4期30-32,25,共4页; 介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。; 关键词系统设计光学薄膜光学膜厚控制系统光电极值法; 在线阅读下载PDF 职称材料

长度测量中干涉条纹的自动识别技术研究被引量：14: 4; 作者苏俊宏《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期615-617,共3页; 利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决了测量端面长度标准中条纹图的处理技术 ,应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量结果的精度。; 关键词长度测量干涉条纹自动识别激光干涉数字图像处理 FFT分析端面长度标准量块; 在线阅读下载PDF 职称材料

非平衡磁控溅射DLC薄膜应力研究被引量：2: 5; 作者杭凌侠 Y.YIN +1 位作者徐均琪李建超《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1-5,26,共6页; 类金刚石(DLC) 薄膜可用作红外增透保护膜,高的薄膜残余应力造成薄膜附着力下降是目前应用中存在的主要问题之一.本文从DLC薄膜作为红外增透保护膜的需求出发,采用非平衡磁控溅射技术生长DLC薄膜.实测了薄膜的残余应力,分析研究了薄膜... 展开更多; 关键词应力类金刚石薄膜非平衡磁控溅射红外增透保护膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

双波长激光干涉移相式测量长度技术研究被引量：3: 6; 作者苏俊宏《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期359-363,共5页; 研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值... 展开更多; 关键词量块长度变动量移相干涉术; 在线阅读下载PDF 职称材料

用激光干涉法测量长度的智能化处理技术研究被引量：2: 7; 作者苏俊宏《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期11-13,共3页; 介绍利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用 FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决测量端面长度标准中条纹图的处理技术。应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量精度。; 关键词智能化处理量块激光干涉测量法干涉条纹处理长度测量端面长度标准; 在线阅读下载PDF 职称材料

增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究被引量：2: 8; 作者陈朝平朱昌郭芮《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期228-231,共4页; 本文利用增强型脉冲电弧离子源在硅基底上沉积类金刚石薄膜,拉曼光谱分析表明DLC薄膜中sp3键含量比不加磁过滤装置时脉冲离子源所镀的类金刚石薄膜高,折射率更接近金刚石折射率2.4并且光学带隙也增大,证明用增强型脉冲离子源镀制的类金... 展开更多; 关键词增强型脉冲弧离子源磁过滤装置类金刚石薄膜拉曼光谱折射率光学带隙; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于ANSYS的二维谐性磁场分析被引量：9: 9; 作者李龙奎苏俊宏 +1 位作者徐均琪王笑丹《应用光学》 CAS CSCD 2005年第6期35-37,共3页; 非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对... 展开更多; 关键词 ANSYS软件谐性磁场有限元法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究被引量：5: 1; 作者李建超苏俊宏徐均琪; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《应用光学》 CAS CSCD 2004年第5期56-59,共4页; 文摘　由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得十分必要。本文采用椭偏法测量了类金刚石薄膜(DLC)的光学常数,分析并拟合了脉冲真空电弧离子技术镀制的类金刚石薄膜的椭偏光谱,获得了光学常数,并对拟合模型的合理性和测量结果的可靠性进行了分析。; 关键词类金刚石薄膜光学常数拟合模型椭偏光谱可靠性; Keywords DLC film optical constant model reliability; 分类号 O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名干涉图空域延拓技术研究被引量：5: 2; 作者苏俊宏陈磊朱日宏; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室南京理工大学电光学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第4期397-400,共4页; 文摘现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。用二维FFT方法处理干涉图时,由于FFT算法只能处理数字化的离散数据,且要求数据分布区域必须是矩形区域,因此必须设法将圆形区域干涉图扩展延拓成矩形区域。在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出了一种干涉图空域迭代延拓的原理和方法,利用该方法对一幅实际干涉图进行空域延拓,取得了满意的延拓效果。结果表明,该方法具有较高的处理精度,为波面相位复原奠定了基础。; 关键词二维FFT 区域延拓干涉图算法; Keywords 2-D FFT Region spreading Interferogram Algorithm; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计被引量：4: 3; 作者权贵秦韩军弥谦; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《应用光学》 CAS CSCD 2002年第4期30-32,25,共4页; 文摘介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。; 关键词系统设计光学薄膜光学膜厚控制系统光电极值法; Keywords film thickness monitoring control system design; 分类号 O484.5 [理学—固体物理] TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名长度测量中干涉条纹的自动识别技术研究被引量：14: 4; 作者苏俊宏; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期615-617,共3页; 文摘利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决了测量端面长度标准中条纹图的处理技术 ,应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量结果的精度。; 关键词长度测量干涉条纹自动识别激光干涉数字图像处理 FFT分析端面长度标准量块; Keywords Gauge Blocks Laser Interferometry Measurement Interference Fringes Processing; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非平衡磁控溅射DLC薄膜应力研究被引量：2: 5; 作者杭凌侠 Y.YIN 徐均琪李建超; 机构西安工业学院悉尼大学物理系西安工业学院; 出处《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1-5,26,共6页; 基金中国国家留学基金项目(留金出[2002]3034号) 国家总装预研基金项目资助; 文摘类金刚石(DLC) 薄膜可用作红外增透保护膜,高的薄膜残余应力造成薄膜附着力下降是目前应用中存在的主要问题之一.本文从DLC薄膜作为红外增透保护膜的需求出发,采用非平衡磁控溅射技术生长DLC薄膜.实测了薄膜的残余应力,分析研究了薄膜残余应力在不同工艺条件下的变化情况.探讨了薄膜残余应力与薄膜厚度、光学透过率、离子能量、沉积速率以及能流密度之间的关系.研究结果表明,薄膜残余应力平衡值在0.9～2.2GPa之间,相应的单面镀膜样片的透过率在4μm波长处为69% ～ 63%,随工艺的不同而变化.工艺优化后薄膜残余应力显著下降.硅基底上薄膜与基底剥离的力的临界值大于2160GPa·nm,最大薄膜厚度≥ 2400nm;锗基底上最大薄膜厚度≥ 2000nm,可以满足整个红外波段的需求.; 关键词应力类金刚石薄膜非平衡磁控溅射红外增透保护膜; Keywords Stress DLC film Unbalanced magnetron sputtering Infrared antireflection; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双波长激光干涉移相式测量长度技术研究被引量：3: 6; 作者苏俊宏; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期359-363,共5页; 文摘研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。; 关键词量块长度变动量移相干涉术; Keywords Guage block Length dynamic argument Phase shift interferometry; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用激光干涉法测量长度的智能化处理技术研究被引量：2: 7; 作者苏俊宏; 机构西安工业学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期11-13,共3页; 文摘介绍利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用 FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决测量端面长度标准中条纹图的处理技术。应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量精度。; 关键词智能化处理量块激光干涉测量法干涉条纹处理长度测量端面长度标准; Keywords gauge blocks laser interferometry measurement interference fringes processing; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究被引量：2: 8; 作者陈朝平朱昌郭芮; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期228-231,共4页; 文摘本文利用增强型脉冲电弧离子源在硅基底上沉积类金刚石薄膜,拉曼光谱分析表明DLC薄膜中sp3键含量比不加磁过滤装置时脉冲离子源所镀的类金刚石薄膜高,折射率更接近金刚石折射率2.4并且光学带隙也增大,证明用增强型脉冲离子源镀制的类金刚石薄膜sp3键含量提高,性能得到了很大改善。; 关键词增强型脉冲弧离子源磁过滤装置类金刚石薄膜拉曼光谱折射率光学带隙; Keywords Enhanced pulsed-arc ion source, Magnetic filter, DLC film, Raman spectra, Refractive index, Optical band gap; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于ANSYS的二维谐性磁场分析被引量：9: 9; 作者李龙奎苏俊宏徐均琪王笑丹; 机构西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室吉林大学生物与农业工程学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 2005年第6期35-37,共3页; 文摘非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对非平衡磁控溅射镀膜机中线圈所产生的磁场分布进行了数值模拟。通过与实测值进行比较,验证了计算模型和计算结果的可靠性。总结了非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布情况,为优化镀制薄膜设计方案和提高薄膜质量提供了参考依据。; 关键词 ANSYS软件谐性磁场有限元法; Keywords ANSYS compatible magnetic-field finite element method; 分类号 O441.4 [理学—电磁学] TU375.1 [建筑科学—结构工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究	李建超苏俊宏徐均琪	《应用光学》 CAS CSCD	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	干涉图空域延拓技术研究	苏俊宏陈磊朱日宏	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计	权贵秦韩军弥谦	《应用光学》 CAS CSCD	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	长度测量中干涉条纹的自动识别技术研究	苏俊宏	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	14	在线阅读下载PDF 职称材料
5	非平衡磁控溅射DLC薄膜应力研究	杭凌侠 Y.YIN 徐均琪李建超	《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	双波长激光干涉移相式测量长度技术研究	苏俊宏	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2003	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	用激光干涉法测量长度的智能化处理技术研究	苏俊宏	《应用光学》 CAS CSCD	2002	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究	陈朝平朱昌郭芮	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	基于ANSYS的二维谐性磁场分析	李龙奎苏俊宏徐均琪王笑丹	《应用光学》 CAS CSCD	2005	9	在线阅读下载PDF 职称材料