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脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究
被引量:
3
1
作者
刘缠牢
梁海锋
严一心
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2006年第4期37-39,共3页
利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性。用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦...
利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性。用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度。结果表明薄膜在光谱范围1.25~10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa曲维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等。
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关键词
类金刚石薄膜
脉冲电弧
光学特性
机械特性
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职称材料
直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究
被引量:
1
2
作者
梁海锋
周扬
严一心
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z2期206-210,共5页
利用直流电弧技术在硅基片上制备氮化铝薄膜,研究了薄膜的折射率、消光系数、透过率和沉积速率。薄膜的光学折射率、消光系数、厚度通过椭偏法测试并拟合得到;薄膜的透过率谱通过傅里叶变换红外光谱仪测试,薄膜的沉积速率通过厚度的相...
利用直流电弧技术在硅基片上制备氮化铝薄膜,研究了薄膜的折射率、消光系数、透过率和沉积速率。薄膜的光学折射率、消光系数、厚度通过椭偏法测试并拟合得到;薄膜的透过率谱通过傅里叶变换红外光谱仪测试,薄膜的沉积速率通过厚度的相应时间计算得到;利用柯希模型来拟合测试得到可见区光学常数,外推得到薄膜在整个近红外、中远红外的光学常数.结果表明:薄膜的折射率随工艺参数的不同有较大的变化范围,并且薄膜在较宽的光谱范围内消光系数为零;薄膜的沉积速率达到85 nm·min^(-1),单面镀制氮化铝薄膜的硅样片的峰值透过滤达到了69.2%.
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关键词
氮化铝
光学常数
沉积速率
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职称材料
类金刚石薄膜对纯钛的磨损保护及安全性评价
被引量:
4
3
作者
尹路
郭天文
+1 位作者
赵雯
弥谦
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期261-265,共5页
评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性。采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜。在体外对比检测镀膜的耐磨损能力和与纯钛的结合力,同时观察...
评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性。采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜。在体外对比检测镀膜的耐磨损能力和与纯钛的结合力,同时观察检测磨损后的表面形貌和元素分布。应用MTT法评价其生物相容性。结果表明,DLC薄膜的耐磨损能力以及与纯钛的结合力明显高于其余表面处理方法,表面形貌改变小。细胞毒性实验表明,DLC膜表面的L-929细胞增值良好。复合梯度膜的应用,可以明显提高DLC镀膜与纯钛基体的结合力。耐磨试验表明,DLC复合梯度膜可以承受日常口腔刷牙的磨耗,安全可靠,可以应用于人体。
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关键词
类金刚石膜
纯钛
复合梯度膜
耐磨试验
划痕实验
生物安全性
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职称材料
等离子体加工光学元件工艺研究
被引量:
4
4
作者
王颖男
杭凌侠
胡敏达
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第1期51-53,共3页
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研...
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化。结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工。
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关键词
超光滑表面
等离子体抛光
电容耦合放电
表面粗糙度
去除速率
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职称材料
氮硅锆-羟磷灰石涂层应用于纯钛种植体的实验研究
被引量:
3
5
作者
尹路
惠迎雪
姚江武
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期492-495,共4页
目的对比研究采用不同涂层的纯钛种植体表面骨结合力及耐腐蚀性。方法采用等离子喷涂技术在纯钛表面制备氮硅锆-羟磷灰石(ZrSiN-HA)复合涂层并植入实验动物下颌骨。利用扫描电镜(SEM)观察分析复合涂层的表面形貌,电子万能材料实验机对...
目的对比研究采用不同涂层的纯钛种植体表面骨结合力及耐腐蚀性。方法采用等离子喷涂技术在纯钛表面制备氮硅锆-羟磷灰石(ZrSiN-HA)复合涂层并植入实验动物下颌骨。利用扫描电镜(SEM)观察分析复合涂层的表面形貌,电子万能材料实验机对比检测ZrSiN-HA组、氮硅锆(ZrSiN)组、羟磷灰石(HA)组与纯钛种植体组涂层的骨结合力并观测各组断裂区域的形貌,电化学腐蚀测试系统对比检测4组涂层的耐腐蚀性。结果种植体表面喷涂ZrSiN-HA后较单纯喷涂HA的表面更加致密,结晶化明显;ZrSiN-HA涂层与其他涂层比较骨结合力最高,耐腐蚀性能最强。结论ZrSiN-HA涂层的应用有利于种植体的长期固位,对齿科修复体具有一定的应用价值。
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关键词
纯钛
种植
涂层
骨结合
等离子喷涂
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职称材料
表面镀膜纯钛牙膏磨刷后表面粗糙度研究
被引量:
9
6
作者
尹路
郭天文
+4 位作者
越野
于绍冰
赵雯
王跃研
梁海峰
《实用口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期65-68,共4页
目的:研究纯钛铸件镀制含氢类金刚石膜H-DLC在体外刷洗实验中粗糙度、反射率、色彩的变化,为临床应用含氢类金刚石膜提供理论依据。方法:铸造纯钛试件20片,分别镀制H-DLC、TiN、阳极氧化以及空白对照,在牙刷磨耗机上刷洗75000次,对比刷...
目的:研究纯钛铸件镀制含氢类金刚石膜H-DLC在体外刷洗实验中粗糙度、反射率、色彩的变化,为临床应用含氢类金刚石膜提供理论依据。方法:铸造纯钛试件20片,分别镀制H-DLC、TiN、阳极氧化以及空白对照,在牙刷磨耗机上刷洗75000次,对比刷洗前后的粗糙度增加值、反射率下降值、色彩变化值,并在扫描电镜下观察表面形貌。结果:4组试件中,H-DLC镀膜的粗糙度增加值、反射率下降值、色彩变化值最小(P<0.01),空白对照组的变化最大(P<0.01),阳极氧化组的色彩变化值较大与空白对照组接近(P>0.05),TiN的色彩变化值略小于H-DLC镀膜(P<0.05),各组试件在含氟与无氟牙膏处理因素之间比较,只有空白对照组的各项变化值有显著性差异(P<0.05)。扫描电镜观察空白对照与阳极氧化组试件表面刷痕明显,TiN和H-DLC镀膜表面未见明显刷痕,仅见有加工处理残留的细小痕迹。结论:与其他表面改性方法相比,刷洗实验对H-DLC镀膜的表面形态、光泽度、色彩影响最小。
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关键词
纯钛
表面改性
含氢类金刚石膜
磨耗实验
粗糙度
反射率
色差
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职称材料
题名
脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究
被引量:
3
1
作者
刘缠牢
梁海锋
严一心
机构
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2006年第4期37-39,共3页
基金
陕西省教育厅专项科研计划项目资助(02JK14)
文摘
利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性。用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度。结果表明薄膜在光谱范围1.25~10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa曲维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等。
关键词
类金刚石薄膜
脉冲电弧
光学特性
机械特性
Keywords
Diamond-like carbon film
Pulsed arc
Optical property
Mechanical property
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究
被引量:
1
2
作者
梁海锋
周扬
严一心
机构
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z2期206-210,共5页
文摘
利用直流电弧技术在硅基片上制备氮化铝薄膜,研究了薄膜的折射率、消光系数、透过率和沉积速率。薄膜的光学折射率、消光系数、厚度通过椭偏法测试并拟合得到;薄膜的透过率谱通过傅里叶变换红外光谱仪测试,薄膜的沉积速率通过厚度的相应时间计算得到;利用柯希模型来拟合测试得到可见区光学常数,外推得到薄膜在整个近红外、中远红外的光学常数.结果表明:薄膜的折射率随工艺参数的不同有较大的变化范围,并且薄膜在较宽的光谱范围内消光系数为零;薄膜的沉积速率达到85 nm·min^(-1),单面镀制氮化铝薄膜的硅样片的峰值透过滤达到了69.2%.
关键词
氮化铝
光学常数
沉积速率
Keywords
AIN
Optical constant
Deposition rate
分类号
O484.4+1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
类金刚石薄膜对纯钛的磨损保护及安全性评价
被引量:
4
3
作者
尹路
郭天文
赵雯
弥谦
机构
第四军医
大学
口腔医学院
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期261-265,共5页
基金
国家自然科学基金(No.30171022)
西安工业大学光电工程学院国家薄膜重点实验室开放课题基金资助(NO.ZSKJ-200709)
文摘
评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性。采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜。在体外对比检测镀膜的耐磨损能力和与纯钛的结合力,同时观察检测磨损后的表面形貌和元素分布。应用MTT法评价其生物相容性。结果表明,DLC薄膜的耐磨损能力以及与纯钛的结合力明显高于其余表面处理方法,表面形貌改变小。细胞毒性实验表明,DLC膜表面的L-929细胞增值良好。复合梯度膜的应用,可以明显提高DLC镀膜与纯钛基体的结合力。耐磨试验表明,DLC复合梯度膜可以承受日常口腔刷牙的磨耗,安全可靠,可以应用于人体。
关键词
类金刚石膜
纯钛
复合梯度膜
耐磨试验
划痕实验
生物安全性
Keywords
Diamond-like carbon coatings, Pure titanium, Compound multi-layer, Wear test, Scratch test, Biocom- patibility
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
等离子体加工光学元件工艺研究
被引量:
4
4
作者
王颖男
杭凌侠
胡敏达
机构
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第1期51-53,共3页
文摘
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化。结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工。
关键词
超光滑表面
等离子体抛光
电容耦合放电
表面粗糙度
去除速率
Keywords
Super smooth surface
Plasma polishing
Capacitivcly-coupled discharge
Roughness of surface
Remove rate
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
氮硅锆-羟磷灰石涂层应用于纯钛种植体的实验研究
被引量:
3
5
作者
尹路
惠迎雪
姚江武
机构
厦门市口腔医院修复科
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期492-495,共4页
基金
西安工业大学光电工程学院国家薄膜重点实验室开放课题基金资助项目(ZSKJ-200709)
福建省自然科学基金青年创新资助项目(2009D013)
文摘
目的对比研究采用不同涂层的纯钛种植体表面骨结合力及耐腐蚀性。方法采用等离子喷涂技术在纯钛表面制备氮硅锆-羟磷灰石(ZrSiN-HA)复合涂层并植入实验动物下颌骨。利用扫描电镜(SEM)观察分析复合涂层的表面形貌,电子万能材料实验机对比检测ZrSiN-HA组、氮硅锆(ZrSiN)组、羟磷灰石(HA)组与纯钛种植体组涂层的骨结合力并观测各组断裂区域的形貌,电化学腐蚀测试系统对比检测4组涂层的耐腐蚀性。结果种植体表面喷涂ZrSiN-HA后较单纯喷涂HA的表面更加致密,结晶化明显;ZrSiN-HA涂层与其他涂层比较骨结合力最高,耐腐蚀性能最强。结论ZrSiN-HA涂层的应用有利于种植体的长期固位,对齿科修复体具有一定的应用价值。
关键词
纯钛
种植
涂层
骨结合
等离子喷涂
Keywords
pure titanium
implantation: coating
osseointegration
plasma spraying
分类号
R783.1 [医药卫生—口腔医学]
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职称材料
题名
表面镀膜纯钛牙膏磨刷后表面粗糙度研究
被引量:
9
6
作者
尹路
郭天文
越野
于绍冰
赵雯
王跃研
梁海峰
机构
西安
第四军医
大学
口腔医学院修复科
无锡市口腔医院
西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《实用口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期65-68,共4页
基金
国家自然科学基金(编号:39770805)
西安工业大学光电工程学院国家薄膜重点实验室开放课题(编号:ZSKJ-200709)
文摘
目的:研究纯钛铸件镀制含氢类金刚石膜H-DLC在体外刷洗实验中粗糙度、反射率、色彩的变化,为临床应用含氢类金刚石膜提供理论依据。方法:铸造纯钛试件20片,分别镀制H-DLC、TiN、阳极氧化以及空白对照,在牙刷磨耗机上刷洗75000次,对比刷洗前后的粗糙度增加值、反射率下降值、色彩变化值,并在扫描电镜下观察表面形貌。结果:4组试件中,H-DLC镀膜的粗糙度增加值、反射率下降值、色彩变化值最小(P<0.01),空白对照组的变化最大(P<0.01),阳极氧化组的色彩变化值较大与空白对照组接近(P>0.05),TiN的色彩变化值略小于H-DLC镀膜(P<0.05),各组试件在含氟与无氟牙膏处理因素之间比较,只有空白对照组的各项变化值有显著性差异(P<0.05)。扫描电镜观察空白对照与阳极氧化组试件表面刷痕明显,TiN和H-DLC镀膜表面未见明显刷痕,仅见有加工处理残留的细小痕迹。结论:与其他表面改性方法相比,刷洗实验对H-DLC镀膜的表面形态、光泽度、色彩影响最小。
关键词
纯钛
表面改性
含氢类金刚石膜
磨耗实验
粗糙度
反射率
色差
Keywords
Pure titanium
Surface modifwation
H-Diamond like carbon coating
Wear behavior
Roughness
Reflectivity
Color difference
分类号
R783.1 [医药卫生—口腔医学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究
刘缠牢
梁海锋
严一心
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2006
3
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职称材料
2
直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究
梁海锋
周扬
严一心
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
3
类金刚石薄膜对纯钛的磨损保护及安全性评价
尹路
郭天文
赵雯
弥谦
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
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职称材料
4
等离子体加工光学元件工艺研究
王颖男
杭凌侠
胡敏达
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008
4
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职称材料
5
氮硅锆-羟磷灰石涂层应用于纯钛种植体的实验研究
尹路
惠迎雪
姚江武
《华西口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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职称材料
6
表面镀膜纯钛牙膏磨刷后表面粗糙度研究
尹路
郭天文
越野
于绍冰
赵雯
王跃研
梁海峰
《实用口腔医学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2008
9
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