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不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
+2 位作者
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导...
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
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关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
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职称材料
纳米复合材料制备方法的研究进展
被引量：
6
2
作者
郭磊
李红岩
+3 位作者
王峰
宁叔帆
刘斌
陈寿田
《绝缘材料》
CAS
2005年第4期55-58,64,共5页
纳米尺度的复合为发展高性能的新型材料和改善传统材料性能提供了新的途径。从如何才能得到聚合物基纳米尺度复合的材料这一角度出发,综述了各种制备方法的概念、特点以及应用的研究进展。
关键词
纳米复合
共混
溶胶-凝胶
插层
原位聚合
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职称材料
考虑条件风险价值的电-气综合能源系统风险厌恶机组组合研究
被引量：
7
3
作者
王春晓
严超
+2 位作者
张耀
别朝红
谢海鹏
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期17-27,共11页
为应对新能源不确定性带来的综合能源系统运行风险,选择合理的机组组合策略平衡综合能源系统的运行风险与运行费用,建立风险厌恶电-气综合能源系统机组组合模型。在电-气综合能源系统的机组组合中引入条件风险价值,分别描述电力系统和...
为应对新能源不确定性带来的综合能源系统运行风险,选择合理的机组组合策略平衡综合能源系统的运行风险与运行费用,建立风险厌恶电-气综合能源系统机组组合模型。在电-气综合能源系统的机组组合中引入条件风险价值,分别描述电力系统和天然气系统的负荷损失风险,分析电力系统与天然气系统的运行风险和两系统间的相互影响。利用分段线性化技术对天然气流量方程进行线性化,通过Benders分解算法将模型分解为机组组合主问题、分场景子问题和天然气负荷损失风险校验问题,对所提模型进行高效求解。算例仿真结果表明,所提模型与传统模型相比可以有效减少小概率极端场景的电力负荷损失,算例中最严重场景负荷损失从34.62 MW减少到9.59 MW。所提模型可以协调电力负荷损失风险和天然气负荷损失风险,为电-气综合能源系统的协调调度提供参考。
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关键词
风险厌恶
电-气综合能源系统
随机机组组合
条件风险价值
Benders分解
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职称材料
题名
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
机构
西安交通大学电气设备电力绝缘国家重点实验室
国家
电网国网上海市
电力
公司
出处
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
基金
国家电网有限公司科技项目(52094020006W)。
文摘
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
Keywords
inductively coupled plasma
carbon dissociation
emission spectroscopy
response surface methodology
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
纳米复合材料制备方法的研究进展
被引量：
6
2
作者
郭磊
李红岩
王峰
宁叔帆
刘斌
陈寿田
机构
西安交通大学电气设备电力绝缘国家重点实验室
出处
《绝缘材料》
CAS
2005年第4期55-58,64,共5页
文摘
纳米尺度的复合为发展高性能的新型材料和改善传统材料性能提供了新的途径。从如何才能得到聚合物基纳米尺度复合的材料这一角度出发,综述了各种制备方法的概念、特点以及应用的研究进展。
关键词
纳米复合
共混
溶胶-凝胶
插层
原位聚合
Keywords
nano-composites
co-blending
sol-gel
intercalation
in-situ polymerization
分类号
TM215.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
TQ316.62 [化学工程—高聚物工业]
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职称材料
题名
考虑条件风险价值的电-气综合能源系统风险厌恶机组组合研究
被引量：
7
3
作者
王春晓
严超
张耀
别朝红
谢海鹏
机构
西安交通大学电气设备电力绝缘国家重点实验室
西安交通大学
陕西省智能电网
重点
实验室
西安交通大学
电气
工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期17-27,共11页
基金
国家自然科学基金资助项目(51637008,51607136)
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0901900)。
文摘
为应对新能源不确定性带来的综合能源系统运行风险,选择合理的机组组合策略平衡综合能源系统的运行风险与运行费用,建立风险厌恶电-气综合能源系统机组组合模型。在电-气综合能源系统的机组组合中引入条件风险价值,分别描述电力系统和天然气系统的负荷损失风险,分析电力系统与天然气系统的运行风险和两系统间的相互影响。利用分段线性化技术对天然气流量方程进行线性化,通过Benders分解算法将模型分解为机组组合主问题、分场景子问题和天然气负荷损失风险校验问题,对所提模型进行高效求解。算例仿真结果表明,所提模型与传统模型相比可以有效减少小概率极端场景的电力负荷损失,算例中最严重场景负荷损失从34.62 MW减少到9.59 MW。所提模型可以协调电力负荷损失风险和天然气负荷损失风险,为电-气综合能源系统的协调调度提供参考。
关键词
风险厌恶
电-气综合能源系统
随机机组组合
条件风险价值
Benders分解
Keywords
risk-averse
integrated electricity and natural gas system
stochastic unit commitment
conditional value-at-risk(CVaR)
Benders decomposition
分类号
TM76 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
纳米复合材料制备方法的研究进展
郭磊
李红岩
王峰
宁叔帆
刘斌
陈寿田
《绝缘材料》
CAS
2005
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
考虑条件风险价值的电-气综合能源系统风险厌恶机组组合研究
王春晓
严超
张耀
别朝红
谢海鹏
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
7
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职称材料
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