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基于负偏压收集极的绝缘体二次电子发射系数测量
被引量：
5
1
作者
翁明
曹猛
+1 位作者
赵红娟
张海波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1262-1266,共5页
建立了一个主要由单把脉冲电子枪和一个二次电子收集极构成的测量装置用于室温下绝缘体二次电子发射系数的测量。通过给收集极设定负偏压,本文提出了一种新的电荷中和方法,有效地中和了在测量过程中累积在样品表面的电荷。采用双通道示...
建立了一个主要由单把脉冲电子枪和一个二次电子收集极构成的测量装置用于室温下绝缘体二次电子发射系数的测量。通过给收集极设定负偏压,本文提出了一种新的电荷中和方法,有效地中和了在测量过程中累积在样品表面的电荷。采用双通道示波器对二次电子电流和样品电流进行了测量,根据相应脉冲电流的峰值确定了样品的二次电子发射系数。成功测量了尼龙样品的二次电子发射系数与一次电子能量的关系曲线,并与文献测量结果进行了比较,结果表明本文的测量装置和测量方法简单易行。
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关键词
二次电子发射系数
电荷中和
绝缘体
测量
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职称材料
扫描透射电镜中厚样品的电子散射与透过率特性的模拟研究
2
作者
王芳
曹猛
张海波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期68-73,共6页
电子散射和电子透过率是影响厚膜样品扫描透射电镜成像及其检测应用的重要因素。本文根据样品材料中电子的弹性散射和非弹性散射模型,采用蒙特卡罗方法模拟了能量为100~300 keV的电子在微米级厚非晶薄膜样品中的散射过程,并计算了在扫...
电子散射和电子透过率是影响厚膜样品扫描透射电镜成像及其检测应用的重要因素。本文根据样品材料中电子的弹性散射和非弹性散射模型,采用蒙特卡罗方法模拟了能量为100~300 keV的电子在微米级厚非晶薄膜样品中的散射过程,并计算了在扫描透射电镜明场模式下的电子透过率特性。电子透射厚样品的散射次数和出射角分布都由于样品厚度的增大而明显增大且展宽。所获得的电子透过率随样品厚度的变化规律与文献中实验报道一致。分析了入射电子能量、接收半张角及样品材料类型等参数对电子透过率的影响。结果表明电子透过率随着电子能量的提高而增大,随着样品材料的原子序数和密度的增大而减小。模拟结果还证实,部分电子经多重弹性散射而返回接收半张角会使电子透过率的减小偏离指数线性变化。
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关键词
扫描透射电镜
电子透过率
蒙特卡罗模拟
电子散射
厚样品
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职称材料
题名
基于负偏压收集极的绝缘体二次电子发射系数测量
被引量：
5
1
作者
翁明
曹猛
赵红娟
张海波
机构
西安交通大学电子科学与技术系电子物理与器件教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1262-1266,共5页
基金
国家自然科学基金项目(项目批准号11175140)
国家重点实验室基金项目(No.9140C530101130C53013)
文摘
建立了一个主要由单把脉冲电子枪和一个二次电子收集极构成的测量装置用于室温下绝缘体二次电子发射系数的测量。通过给收集极设定负偏压,本文提出了一种新的电荷中和方法,有效地中和了在测量过程中累积在样品表面的电荷。采用双通道示波器对二次电子电流和样品电流进行了测量,根据相应脉冲电流的峰值确定了样品的二次电子发射系数。成功测量了尼龙样品的二次电子发射系数与一次电子能量的关系曲线,并与文献测量结果进行了比较,结果表明本文的测量装置和测量方法简单易行。
关键词
二次电子发射系数
电荷中和
绝缘体
测量
Keywords
Secondary electron yield
Charge neutralization
Insulators
Measurement
分类号
O462.2 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
扫描透射电镜中厚样品的电子散射与透过率特性的模拟研究
2
作者
王芳
曹猛
张海波
机构
西安交通大学电子科学与技术系电子物理与器件教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期68-73,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(批准号:11004157)
陕西省自然科学基础研究计划(批准号:2009JQ8001)资助的课题
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
文摘
电子散射和电子透过率是影响厚膜样品扫描透射电镜成像及其检测应用的重要因素。本文根据样品材料中电子的弹性散射和非弹性散射模型,采用蒙特卡罗方法模拟了能量为100~300 keV的电子在微米级厚非晶薄膜样品中的散射过程,并计算了在扫描透射电镜明场模式下的电子透过率特性。电子透射厚样品的散射次数和出射角分布都由于样品厚度的增大而明显增大且展宽。所获得的电子透过率随样品厚度的变化规律与文献中实验报道一致。分析了入射电子能量、接收半张角及样品材料类型等参数对电子透过率的影响。结果表明电子透过率随着电子能量的提高而增大,随着样品材料的原子序数和密度的增大而减小。模拟结果还证实,部分电子经多重弹性散射而返回接收半张角会使电子透过率的减小偏离指数线性变化。
关键词
扫描透射电镜
电子透过率
蒙特卡罗模拟
电子散射
厚样品
Keywords
Scanning transmission electron microscopy
Electron transmission
Monte Carlo simulation
Electron scattering
Thick specimens
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于负偏压收集极的绝缘体二次电子发射系数测量
翁明
曹猛
赵红娟
张海波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
在线阅读
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职称材料
2
扫描透射电镜中厚样品的电子散射与透过率特性的模拟研究
王芳
曹猛
张海波
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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