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飞秒激光脉冲作用熔石英的超快传热动力学研究
1
作者
余方锐
杜广庆
+3 位作者
Waqas AHMAD
陆宇
杨青
陈烽
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第3期529-536,共8页
飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模...
飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模型。通过数值求解该模型获得了飞秒激光单脉冲作用熔石英的载流子密度和非平衡电子与声子温度的时空演化;得到了在非平衡态条件下,电声耦合时间随激光能量密度、脉冲宽度的近线性调控规律。进一步研究得到了瞬态电子热导、热容、电声耦合系数的变化规律,并对上述模拟现象进行了分析和探讨。
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关键词
飞秒激光脉冲
瞬态光电离
超快传热
双温模型
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职称材料
题名
飞秒激光脉冲作用熔石英的超快传热动力学研究
1
作者
余方锐
杜广庆
Waqas AHMAD
陆宇
杨青
陈烽
机构
西安交通大学电子科学与工程学院、西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室陕西省信息光子技术重点实验室
西安交通大学
仪器
科学与
技术
学院
出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第3期529-536,共8页
基金
国家自然科学基金(61875158,62175195)
国家重点研发计划(2017YFB1104700)
中央高校基本科研业务费。
文摘
飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模型。通过数值求解该模型获得了飞秒激光单脉冲作用熔石英的载流子密度和非平衡电子与声子温度的时空演化;得到了在非平衡态条件下,电声耦合时间随激光能量密度、脉冲宽度的近线性调控规律。进一步研究得到了瞬态电子热导、热容、电声耦合系数的变化规律,并对上述模拟现象进行了分析和探讨。
关键词
飞秒激光脉冲
瞬态光电离
超快传热
双温模型
Keywords
femtosecond laser pulse
transient photoionization
ultrafast heat transfer
two-temperature model
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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被引量
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1
飞秒激光脉冲作用熔石英的超快传热动力学研究
余方锐
杜广庆
Waqas AHMAD
陆宇
杨青
陈烽
《应用光学》
CAS
北大核心
2024
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