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基于表面等离激元的超薄隐身套的实验验证: 1; 作者王甲富屈绍波 +2 位作者张介秋徐卓马华《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第3期74-77,82,共5页; 针对超材料透波隐身套厚度大的问题,提出了基于表面等离激元的超薄隐身套,通过超材料套层将入射电磁波耦合为表面等离激元波并传输至障碍物后方,实现超薄透波隐身。设计了基于开口谐振环的表面等离激元耦合层,将其包覆在金属圆柱表面,... 展开更多; 关键词表面等离激元超材料隐身套超薄; 在线阅读下载PDF 职称材料

PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展被引量：6: 2; 作者史鹏姚熹 +1 位作者吴小清张良莹《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期386-389,共4页; PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用,并对各种刻蚀法进行分析和对比。; 关键词 PZT 铁电薄膜刻蚀微图形; 在线阅读下载PDF 职称材料

A位非化学计量比对铌酸钾钠陶瓷极化程度的影响被引量：2: 3; 作者张红梅赵静波 +1 位作者屈绍波徐卓《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2012年第3期91-94,共4页; 研究了A位非化学计量比对铌酸钾钠陶瓷极化程度的影响。采用固相反应法制备了0.96K0.5+xNa0.5+xNbO3-0.04LiSbO3系无铅压电陶瓷,通过建立钙钛矿结构的极化模型,研究了x取不同值时,外加电场、温度对陶瓷极化及压电性能的影响。研究结果表... 展开更多; 关键词铌酸钾钠极化压电; 在线阅读下载PDF 职称材料

固相法制备新型KNN基近红外透明陶瓷: 4; 作者王斌科杜红亮徐卓《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2013年第3期87-90,共4页; 采用传统固相烧结工艺,注重烧结时的气氛控制,制备了铌酸钾钠(KNN)基无铅透明陶瓷xBa(Sc0.5Nb0.5)O3-(1-x)(K0.5N0.5)NbO3。并对其相结钩、微观结构、压电性能和透光率进行了研究。结果表明:该体系陶瓷具有准立方钙钛矿结构,没有其他杂... 展开更多; 关键词铌酸钾钠(KNN) 无铅透明陶瓷透过率晶界; 在线阅读下载PDF 职称材料

BST薄膜的反应离子刻蚀研究: 5; 作者史鹏姚熹《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期64-66,共3页; 钙钛矿结构的钛酸锶钡(BST)薄膜作为优良的介电、铁电材料在新一代的微机械系统(MEMS)、动态存储器(DRAM)及其他器件上的广泛应用,使得BST薄膜的刻蚀特性越来越重要。该文利用反应离子刻蚀装置,研究了溶胶-凝胶工艺制备的钛酸锶钡薄膜在... 展开更多; 关键词钛酸锶钡(BST) 薄膜反应离子刻蚀 CHF3; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于表面等离激元的超薄隐身套的实验验证: 1; 作者王甲富屈绍波张介秋徐卓马华; 机构空军工程大学理学院空军工程大学航空等离子体动力学重点实验室西安交通大学电子材料与器件教育部重点实验室; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第3期74-77,82,共5页; 基金国家自然科学基金项目(61331005 11204378 +7 种基金 11274389 11304393 61302023) 2013M532221) 20123196015); 文摘针对超材料透波隐身套厚度大的问题,提出了基于表面等离激元的超薄隐身套,通过超材料套层将入射电磁波耦合为表面等离激元波并传输至障碍物后方,实现超薄透波隐身。设计了基于开口谐振环的表面等离激元耦合层,将其包覆在金属圆柱表面,制作了基于表面等离激元的超薄隐身套原理样件并进行了对比测试。实验结果表明,该隐身套在其厚度仅为工作波长的1/30时具有良好的绕行透波性能。; 关键词表面等离激元超材料隐身套超薄; Keywords surface plasmon polariton,metamaterials,cloak,super-thin; 分类号 TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展被引量：6: 2; 作者史鹏姚熹吴小清张良莹; 机构西安交通大学电子材料与器件教育部重点实验室; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期386-389,共4页; 基金国家"八六三"基金(715-002-0250) 西安交通大学培植项目"复合铁电薄膜红外探测器阵列"和"中国-以色列国际合作项目"; 文摘 PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用,并对各种刻蚀法进行分析和对比。; 关键词 PZT 铁电薄膜刻蚀微图形; Keywords PZT ferroelectric thin films etching micropattern; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名A位非化学计量比对铌酸钾钠陶瓷极化程度的影响被引量：2: 3; 作者张红梅赵静波屈绍波徐卓; 机构空军工程大学理学院西安交通大学电子材料与器件教育部重点实验室; 出处《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2012年第3期91-94,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(10804130 60871027); 文摘研究了A位非化学计量比对铌酸钾钠陶瓷极化程度的影响。采用固相反应法制备了0.96K0.5+xNa0.5+xNbO3-0.04LiSbO3系无铅压电陶瓷,通过建立钙钛矿结构的极化模型,研究了x取不同值时,外加电场、温度对陶瓷极化及压电性能的影响。研究结果表明:A位适当过量的铌酸钾钠陶瓷极化时,对温度和电场没有强烈依赖性,可以使极化足够充分,能有效提高铌酸钾钠基陶瓷的压电性能;相反,A位不过量的铌酸钾钠陶瓷极化对温度和电场敏感,容易击穿,极化不充分,降低了铌酸钾钠基陶瓷的压电性能。; 关键词铌酸钾钠极化压电; Keywords K0. 5 Na0. 5 Nb03 polarization piezoelectric; 分类号 TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固相法制备新型KNN基近红外透明陶瓷: 4; 作者王斌科杜红亮徐卓; 机构空军工程大学理学院西安交通大学电子材料与器件教育部重点实验室; 出处《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2013年第3期87-90,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(10976022 50632030) 陕西省自然科学基金资助项目(2011JM6012); 文摘采用传统固相烧结工艺,注重烧结时的气氛控制,制备了铌酸钾钠(KNN)基无铅透明陶瓷xBa(Sc0.5Nb0.5)O3-(1-x)(K0.5N0.5)NbO3。并对其相结钩、微观结构、压电性能和透光率进行了研究。结果表明:该体系陶瓷具有准立方钙钛矿结构,没有其他杂相,晶粒大小与可见光波长相当,高度致密,无明显的晶界存在。在x=0.05时,d33最高可达到110pC/N。同时该材料具有良好的透明性,在可见光范围内,透过率达到47%左右,近红外2 500nm处,透过率接近70%,是一种有望取代铅基透明陶瓷的环境友好型无铅透明陶瓷。; 关键词铌酸钾钠(KNN) 无铅透明陶瓷透过率晶界; Keywords KNN lead-free transparent ceramics transmission crystal boundary; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名BST薄膜的反应离子刻蚀研究: 5; 作者史鹏姚熹; 机构西安交通大学电子材料与器件教育部重点实验室; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期64-66,共3页; 基金国家科技部"九七三"计划基金资助项目(2002CB613305) 中国-以色列国际合作基金资助项目; 文摘钙钛矿结构的钛酸锶钡(BST)薄膜作为优良的介电、铁电材料在新一代的微机械系统(MEMS)、动态存储器(DRAM)及其他器件上的广泛应用,使得BST薄膜的刻蚀特性越来越重要。该文利用反应离子刻蚀装置,研究了溶胶-凝胶工艺制备的钛酸锶钡薄膜在CHF3/Ar等离子气体中的刻蚀情况。通过分析刻蚀速率及薄膜刻蚀前后表面形貌的变化,结果表明,刻蚀过程是离子轰击、离子辅助化学反应和化学反应刻蚀共同作用的结果。刻蚀速率为5.1 nm/min。Sr元素较难去除,成为阻碍刻蚀的重要因素。; 关键词钛酸锶钡(BST) 薄膜反应离子刻蚀 CHF3; Keywords BST thin film RIE CHF3; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于表面等离激元的超薄隐身套的实验验证	王甲富屈绍波张介秋徐卓马华	《微波学报》 CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展	史鹏姚熹吴小清张良莹	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2003	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	A位非化学计量比对铌酸钾钠陶瓷极化程度的影响	张红梅赵静波屈绍波徐卓	《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	固相法制备新型KNN基近红外透明陶瓷	王斌科杜红亮徐卓	《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	BST薄膜的反应离子刻蚀研究	史鹏姚熹	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料