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电子轰击下MgO薄膜的二次电子效应的衰减机理
被引量：
4
1
作者
魏强
吴胜利
+3 位作者
付马龙
李洁
胡文波
张劲涛
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期125-129,共5页
以MgO薄膜、MgO/Au复合薄膜作为二次电子发射材料的研究对象,利用持续电子束轰击薄膜的方式,研究了二次电子效应与时间的变化规律。通过测试样品时间的指数衰减,电导率和介电常数对衰减速率的影响,建立模型假设来研究二次电子发射的机理...
以MgO薄膜、MgO/Au复合薄膜作为二次电子发射材料的研究对象,利用持续电子束轰击薄膜的方式,研究了二次电子效应与时间的变化规律。通过测试样品时间的指数衰减,电导率和介电常数对衰减速率的影响,建立模型假设来研究二次电子发射的机理,提出了潜在电子的概念及平板电容模型;以此模型为基础进行分析推导,建立了二次电子发射过程理论模型,得出了诱导电流和二次电子发射系数实验值的表达式,与实际样品测试结果的趋势一致,二次电子发射材料性能的衰减速率与薄膜电导率正相关,验证了所提理论模型能很好地解释介质薄膜二次电子发射的衰减机理,有助于提高二次电子发射材料的衰减性能,为改进工艺和研发新型介质薄膜材料提供了一定的理论指导。
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关键词
MgO薄膜
二次电子发射
介质薄膜
衰减机理
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职称材料
题名
电子轰击下MgO薄膜的二次电子效应的衰减机理
被引量：
4
1
作者
魏强
吴胜利
付马龙
李洁
胡文波
张劲涛
机构
西安交通大学物理电子物理与器件教育部重点实验室
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期125-129,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61771383)
文摘
以MgO薄膜、MgO/Au复合薄膜作为二次电子发射材料的研究对象,利用持续电子束轰击薄膜的方式,研究了二次电子效应与时间的变化规律。通过测试样品时间的指数衰减,电导率和介电常数对衰减速率的影响,建立模型假设来研究二次电子发射的机理,提出了潜在电子的概念及平板电容模型;以此模型为基础进行分析推导,建立了二次电子发射过程理论模型,得出了诱导电流和二次电子发射系数实验值的表达式,与实际样品测试结果的趋势一致,二次电子发射材料性能的衰减速率与薄膜电导率正相关,验证了所提理论模型能很好地解释介质薄膜二次电子发射的衰减机理,有助于提高二次电子发射材料的衰减性能,为改进工艺和研发新型介质薄膜材料提供了一定的理论指导。
关键词
MgO薄膜
二次电子发射
介质薄膜
衰减机理
Keywords
MgO film
secondary electron effect
dielectric film
attenuation mechanism
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子轰击下MgO薄膜的二次电子效应的衰减机理
魏强
吴胜利
付马龙
李洁
胡文波
张劲涛
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
4
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