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题名聚焦离子束在微纳尺度材料力学性能研究中的应用
被引量：6
- 1
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作者
田琳
付琴琴
单智伟
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机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
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出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013年第12期706-715,751,共11页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51231005)
国家杰出青年基金(50925104)
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文摘
微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10 nm到10μm之间(以下简称微纳尺度)的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性:其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到,传统的力学测试工具和方法无法满足对微纳尺度材料进行测试的要求,微纳尺度材料通常在多场耦合条件下服役。这些特性要求研究工作者持续不断地寻找和研发新的工具以期实现对微纳尺度材料的可控制备,高通量观测、操控和定量测量。双束聚焦离子束技术不仅因具有纳米级的空间分辨率而具备对微纳尺度材料的高质量成像和动态监测,而且具备纳米分辨率的定点刻蚀、诱导沉积等功能。因此,双束聚焦离子束成为研究微纳尺度材料力学性能的有力工具。综述了近年来聚焦离子束技术在微纳尺度材料类力学性能研究中的应用,并讨论了其局限性和发展趋势。
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关键词
聚焦离子束
纳米力学
微纳尺度
样品加工
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Keywords
focused Ion beam
micro/nanomaterials
mechanical properties
micro-fabrication
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍
被引量：23
- 2
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作者
付琴琴
单智伟
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机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第1期81-89,共9页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
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文摘
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。
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关键词
FIB-SEM双束系统
TEM样品制备
微纳尺度力学测试样品制备
三维成像及分析
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Keywords
FIB-SEM dual-beam system
TEM sample preparation
micro and nano-scale mechanical test sample preparaiton
three-dimensional characterization
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分类号
TH83
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法
被引量：1
- 3
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作者
付琴琴
张朋诚
单智伟
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机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第6期538-543,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
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文摘
光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法。该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效。最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法。
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关键词
光阑
聚焦离子束
清理
透射电子显微镜
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Keywords
aperture
focused ion beam
clean
TEM
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
O766.1
[理学—晶体学]
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