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基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺
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作者 王权岱 段玉岗 +2 位作者 丁玉成 卢秉恒 张亚军 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期946-949,共4页
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性... 针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法. 展开更多
关键词 压印光刻 分层制造 微电子机械系统 对正
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直线电机进给系统机械系统动态特性研究 被引量:14
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作者 杨晓君 赵万华 +1 位作者 刘辉 张会杰 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期44-50,共7页
为了获得满意的运动精度,针对以往直线电机进给系统研究中被忽略的机械系统动态特性,利用达朗贝尔原理建立了机械系统的动力学模型,对直线电机进给实验台的机械系统动态特性及影响因素进行了理论分析和实验测试,同时分析讨论了机械系统... 为了获得满意的运动精度,针对以往直线电机进给系统研究中被忽略的机械系统动态特性,利用达朗贝尔原理建立了机械系统的动力学模型,对直线电机进给实验台的机械系统动态特性及影响因素进行了理论分析和实验测试,同时分析讨论了机械系统频率特性对进给系统运动精度的影响。结果表明:尽管直线电机进给系统机械环节结构简单,但依然具有复杂的动态特性,影响系统运动精度;伺服控制速度环增益越高,机械系统进给方向固有频率越高;随着进给速度的提高,工作台各方向振动频率与幅值均增大,当速度提高1倍时,俯仰振动和偏摆振动致使工作台产生的位移波动增大2倍。 展开更多
关键词 直线电机 进给系统 机械系统 动态特性 速度环增益
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用于机械系统精度预测的理想表面法 被引量:3
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作者 王永 郭俊康 +1 位作者 洪军 王少锋 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期104-110,共7页
为了实现复杂机械系统的精度预测,提出了一种能够综合考虑尺寸、形位公差的精度预测方法.将零部件的实际配合面抽象为理想配合面,用单位法矢量表示位置和方向,在刚体条件下从设计信息中获取理想配合面的单位法矢量.采用齐次转换矩阵的方... 为了实现复杂机械系统的精度预测,提出了一种能够综合考虑尺寸、形位公差的精度预测方法.将零部件的实际配合面抽象为理想配合面,用单位法矢量表示位置和方向,在刚体条件下从设计信息中获取理想配合面的单位法矢量.采用齐次转换矩阵的方法,得到各零件坐标系之间的转换矩阵,根据系统末端功能面在基准坐标系下单位法矢量的变动范围,分析系统末端功能面的空间位置分布范围和分布规律,从而实现了对机械系统的精度预测.以某型圆柱磨齿机的砂轮修整器为例,进行了3 000次的模拟公差分析计算,得到了工作点位置分布云图和概率密度曲线,与不考虑形位公差精度预测结果的对比表明,该方法能够综合考虑尺寸和形位公差,得到的公差分析结果更接近实际生产情况. 展开更多
关键词 公差分析 理想配合面 单位法矢量
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肝组织工程支架的微制造工艺 被引量:2
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作者 贺健康 李涤尘 +2 位作者 刘亚雄 刘利华 卢秉恒 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1285-1289,共5页
通过模拟自然肝脏的内部微结构,对肝组织工程支架进行仿生设计,构建了有利于人工肝向自然肝转化的肝支架孔洞与管道系统.结合光固化和微压印工艺制造了肝支架的硅橡胶模具,通过微复型工艺成型出生物可降解的壳聚糖/明胶复合肝支架... 通过模拟自然肝脏的内部微结构,对肝组织工程支架进行仿生设计,构建了有利于人工肝向自然肝转化的肝支架孔洞与管道系统.结合光固化和微压印工艺制造了肝支架的硅橡胶模具,通过微复型工艺成型出生物可降解的壳聚糖/明胶复合肝支架.实验表明,普通光固化和掩膜光固化工艺可以实现最小尺度为200μm的微结构制造,精密光固化工艺不仅可以在同一模具上制造出具有良好复型精度和边缘特征的肝细胞孔洞(200-300μm)和血管管道(100-200μm),而且还可以制造出具有半通透功能的微管道(13.1~30μm).因此,提出的微制造方法能成型出复杂的肝组织工程支架系统,可保证多种肝脏细胞的有序分布,并且为组织工程肝脏支架材料微观结构的模拟提供了参考. 展开更多
关键词 肝组织工程支架 光固化工艺 微复型
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对准系统中调焦机构机械摆动引入误差的补偿
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作者 王权岱 李言 肖继明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期573-579,共7页
为了消减压印对准系统焦平面调整过程中由于机构机械不稳定性产生的对准误差,提出了拟合调整架摆动轨迹来进行软件补偿的方法。通过亚像素模板匹配算法对调焦过程中标记图像的坐标进行定位运算并分析了算法的有效性,结果说明该算法的理... 为了消减压印对准系统焦平面调整过程中由于机构机械不稳定性产生的对准误差,提出了拟合调整架摆动轨迹来进行软件补偿的方法。通过亚像素模板匹配算法对调焦过程中标记图像的坐标进行定位运算并分析了算法的有效性,结果说明该算法的理论误差<0.1μm。采用该算法计算随调整架摆动的标记坐标,对调整架的摆动轨迹进行了实验标定。分别考察调整架上升和下降时的摆动特性,结果显示,实验具有较好的重复性。以此为基础,建立了调整架的摆动轨迹模型及误差补偿方法,并对模型的预测补偿精度进行了实验研究。结果表明,通过预测调整架摆动轨迹并进行补偿,调焦系统机械不稳定性误差从2.84μm减小到1.29μm,可以满足2μm的总体对准精度要求。 展开更多
关键词 对准系统 调焦机构 机械摆动 对准误差 补偿 亚像素模板匹配
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基于制造公差的复杂机械产品精准选配方法 被引量:9
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作者 曹杰 高智勇 +1 位作者 高建民 谢军太 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2020年第7期1729-1736,共8页
针对复杂机械产品多质量要求下的选配问题,提出一种基于遗传算法的选择装配方法。以装配精度和装配成功率作为质量要求的评价指标,建立了综合考虑形位公差与尺寸公差的装配质量综合优化模型,能够在保证尺寸公差装配精度的前提下,有效降... 针对复杂机械产品多质量要求下的选配问题,提出一种基于遗传算法的选择装配方法。以装配精度和装配成功率作为质量要求的评价指标,建立了综合考虑形位公差与尺寸公差的装配质量综合优化模型,能够在保证尺寸公差装配精度的前提下,有效降低产品的形位公差。同时提出了基于影响度的选配优先级评价模型,有效地提高了遗传算法的收敛速度。根据复杂机械产品尺寸链的特点,提出一种以零部件为单元的编码方式,并建立了映射关联矩阵描述多个公差项间的关联关系,综合Pareto支配强度及密集度生成适应度函数作为个体评价规则,以某发动机曲柄连杆机构的装配为例验证了该方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 选择装配 形位公差 遗传算法 装配质量 复杂机械产品
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深度图网络驱动的核电系统多级异常检测方法
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作者 张乐 成玮 +5 位作者 张硕 陈雪峰 常丰田 洪郡滢 马颖菲 彭将 《振动.测试与诊断》 北大核心 2025年第1期88-94,202,共8页
针对深度学习方法未明确学习变量间关系结构、系统异常难以准确检测的问题,提出一种深度图网络驱动的核电系统多级异常检测方法。首先,利用无监督图对比学习方法挖掘系统变量时间序列间相关性,构建与核电系统物理结构匹配的可解释性图结... 针对深度学习方法未明确学习变量间关系结构、系统异常难以准确检测的问题,提出一种深度图网络驱动的核电系统多级异常检测方法。首先,利用无监督图对比学习方法挖掘系统变量时间序列间相关性,构建与核电系统物理结构匹配的可解释性图结构;其次,基于变分图自编码器重构系统图结构,以重构误差来表征系统运行状态,从系统层面防止非线性突发行为带来的安全性问题;然后,通过半监督图卷积节点分类模型识别系统内部各变量运行状态,实现测点级异常检测;最后,以PCTranACP100仿真机2种基准事故工况数据、国内某核电机组循环水系统监测数据来验证提出方法的有效性。结果表明,系统级异常检测准确率达到93%,86%和90%,证明所提出方法能够准确检测出系统异常情况,可降低电厂单一仪表异常触发的非计划停机概率。 展开更多
关键词 核电系统 无监督深度图学习 可解释性图结构 多级异常检测 变分图自编码器
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混合离散蛙跳算法求解柔性装配系统调度问题
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作者 李晓玲 冯彦翔 +1 位作者 张广辉 段浩浩 《控制理论与应用》 北大核心 2025年第4期816-826,共11页
本文主要研究不含中间缓冲区的柔性装配系统(FAS)的优化调度问题,其中当工件竞争使用有限的生产资源时,不合理的资源分配会导致系统死锁(deadlock).针对易死锁(deadlock-prone)FAS的优化调度问题,本文采用Petri网建模,提出了一种混合离... 本文主要研究不含中间缓冲区的柔性装配系统(FAS)的优化调度问题,其中当工件竞争使用有限的生产资源时,不合理的资源分配会导致系统死锁(deadlock).针对易死锁(deadlock-prone)FAS的优化调度问题,本文采用Petri网建模,提出了一种混合离散蛙跳算法(HDSFLA)以最小化最大完工时间(makespan).首先,提出了一种新的编码解码方法,其中一个个体编码为一个包含全部工件加工信息的变迁序列,可解码为一个工件–工序序列;其次,为了保证种群中个体的可行性,提出了一个个体修正算法和基于最早引发时间的改进个体修正算法,从而将不可行个体修复为可行个体;然后,结合编码特征设计了用于生成新个体的交叉操作;最后,为了平衡算法的全局搜索和局部开发能力,设计了一个基于交换和插入算子的局部搜索策略.通过不同规模算例上的仿真实验和算法对比分析,验证了HDSFLA的有效性. 展开更多
关键词 柔性装配系统 死锁 PETRI网 调度 混合离散蛙跳算法
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高速主轴系统热特性分析与实验 被引量:12
9
作者 马驰 杨军 +3 位作者 赵亮 梅雪松 施虎 王新孟 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2092-2102,共11页
为了在设计阶段避免高速主轴在实际加工中由于温升过高可能会引起加工精度降低的问题,构建高速主轴的三维有限元模型(FEA)进行瞬态热-结构耦合分析.但传统热特性分析模型中,没有考虑结合面间接触热导致仿真精度较低,该有限元模型考虑接... 为了在设计阶段避免高速主轴在实际加工中由于温升过高可能会引起加工精度降低的问题,构建高速主轴的三维有限元模型(FEA)进行瞬态热-结构耦合分析.但传统热特性分析模型中,没有考虑结合面间接触热导致仿真精度较低,该有限元模型考虑接触热导对仿真结果的影响.利用Weierstrass-Mandelbrot函数表征轴承表面的粗糙形貌,利用功率谱法与粗糙表面形貌数据对分形参数进行辨识,并提出接触力学模型以计算用于接触热导建模的接触参数.最终,提出几何-力学-热综合预测模型计算结合面间的接触热导,有效避免统计学方法的不准确性与实验测量法通用性不强的缺陷.利用电机效率分析与轴承拟静力学分析法,分别求解电机与轴承热功率.由雷诺数判定流体的流动状态,并依据努塞尔数计算主轴部件的对流换热系数.将上述边界条件施加到该有限元模型对温度场与热变形进行仿真,并进行热特性实验验证该有限元模型的有效性.结果表明,该有限元模型的仿真精度明显优于不考虑接触热导的热特性分析模型. 展开更多
关键词 高速主轴 轴承拟静力学分析 接触热导 温度场 热变形
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基于RP的骨组织工程支架构造及生物学特性分析 被引量:15
10
作者 李祥 李涤尘 +2 位作者 王林 卢秉恒 王臻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1117-1120,共4页
应用三维CAD软件设计支架和相应的模具结构,通过光固化快速成形技术制造出树脂模具,并在模具中填充磷酸钙(CPC)生物材料,然后通过热分解方法去掉树脂模具,得到具有可控微管道结构的骨组织工程支架。该方法克服了传统构造方法中支架内部... 应用三维CAD软件设计支架和相应的模具结构,通过光固化快速成形技术制造出树脂模具,并在模具中填充磷酸钙(CPC)生物材料,然后通过热分解方法去掉树脂模具,得到具有可控微管道结构的骨组织工程支架。该方法克服了传统构造方法中支架内部微管道结构不可控的缺点,为制造出更有利于细胞/组织长入和成活的支架三维空间结构提供了一个更理想的方案。INSTRONMicrotester试验设备上测得支架的最大抗压强度为7.12MPa;测得其表面粗糙度Ra=2.16μm。扫描电镜观察支架表面微结构特征,能谱分析测出支架中所含钙元素和磷元素的摩尔比是1.59∶1。结果表明所构造的支架具有良好的生物学特性。 展开更多
关键词 快速成形 支架 间接制造 生物学特性
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数控车床综合热误差建模及工程应用 被引量:12
11
作者 孙志超 侯瑞生 +3 位作者 陶涛 杨军 梅雪松 王新孟 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期107-113,共7页
针对车床实际工程应用中主轴与进给轴综合误差对工件加工精度产生影响问题,建立包含工件膨胀效应的主轴与进给轴综合热误差模型,并进行实际切削验证.以精密车床为研究对象,综合分析车床主轴、进给轴和工件在实际加工中的相互影响关系,... 针对车床实际工程应用中主轴与进给轴综合误差对工件加工精度产生影响问题,建立包含工件膨胀效应的主轴与进给轴综合热误差模型,并进行实际切削验证.以精密车床为研究对象,综合分析车床主轴、进给轴和工件在实际加工中的相互影响关系,并建立三者之间的综合热误差多元线性回归模型(MLRA).实验结果表明:含有工件膨胀效应系数的综合热误差模型符合实际工况,有效提高了车床的加工精度.主轴热误差模型的预测精度达85%以上,进给轴预测精度达70%以上,实际加工中工件误差由15μm降低到5μm左右.综合热误差模型显著提高了高精密数控车床的加工精度. 展开更多
关键词 数控车床 主轴 进给轴 工件膨胀效应 热误差建模 热误差补偿
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机械故障诊断内积变换原理与验证 被引量:14
12
作者 何正嘉 袁静 +2 位作者 訾艳阳 孙海亮 陈彬强 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2012年第2期175-185,337,共11页
工程实际常用的快速傅里叶变换、短时傅里叶变换、小波变换、第二代小波变换和多小波变换等先进信号处理方法,为关键设备运行监测与故障诊断奠定了基础。为深刻认识其共性问题,对机械故障诊断信号处理方法物理本质与关键技术等基础问题... 工程实际常用的快速傅里叶变换、短时傅里叶变换、小波变换、第二代小波变换和多小波变换等先进信号处理方法,为关键设备运行监测与故障诊断奠定了基础。为深刻认识其共性问题,对机械故障诊断信号处理方法物理本质与关键技术等基础问题进行研究。指出它们的变换原理都是内积变换,探求信号中包含与"基函数"最相似或最相关的分量,关键在于构造和选择动态信号中与故障特征波形相匹配的基函数,实现科学、正确的状态监测与故障诊断。通过仿真试验和工程案例,对机械故障诊断的内积变换原理进行验证,证明该原理的正确性和可靠性。同时,根据试验现象得出若干基函数性质对内积变换的影响规律,补充和完善了机械故障诊断内积变换原理。 展开更多
关键词 机械故障诊断 内积变换 小波变换 基函数
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基于机械诊断信息的设备运行可靠性研究 被引量:24
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作者 何正嘉 蔡改改 +2 位作者 申中杰 曹宏瑞 李兵 《中国工程科学》 北大核心 2013年第1期9-14,共6页
针对传统可靠性分析方法必须依赖大样本统计数据、利用概率统计求解设备可靠性的不足,提出两种利用运行状态信息实现小样本条件下设备运行可靠性评估的方法:基于归一化小波信息熵的可靠性评估和基于损伤定量识别的可靠性评估。基于归一... 针对传统可靠性分析方法必须依赖大样本统计数据、利用概率统计求解设备可靠性的不足,提出两种利用运行状态信息实现小样本条件下设备运行可靠性评估的方法:基于归一化小波信息熵的可靠性评估和基于损伤定量识别的可靠性评估。基于归一化小波信息熵的可靠性评估对设备运行过程中的振动信号采用第二代小波包进行分解与重构,获得多个分解频带信号,计算分解频带信号的相对能量和归一化信息熵,根据归一化信息熵获取反映设备运行状态可靠性的重要指标——可靠度;基于损伤定量识别的可靠性评估定义了新的运行可靠性评价指标——隶属可靠度,在故障定量诊断的基础上,建立了损伤程度与运行可靠性评价指标之间的联系。在制氧压缩机运行可靠性评估和机车轮对轴承运行可靠性评估的成功应用,表明所提出的方法合理、有效,为机械设备实现缺乏大样本、非概率统计模型的可靠性评估提供了新理论与新技术。 展开更多
关键词 机械设备 运行可靠性 归一化信息熵 隶属可靠度
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三维光学扫描技术逆向工程应用研究 被引量:27
14
作者 张德海 李艳芹 +2 位作者 谢贵重 杨勇 王良文 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期519-525,共7页
针对三维扫描测量数据因为原始点云在获取时受环境等客观条件限制,存在不可避免的噪声点、飞点、重叠点云等现象,以致存在点云密度大、运算复杂、计算周期长等问题,本文以在逆向工程中具有将三维物体几何信息转换为计算机能直接处理的... 针对三维扫描测量数据因为原始点云在获取时受环境等客观条件限制,存在不可避免的噪声点、飞点、重叠点云等现象,以致存在点云密度大、运算复杂、计算周期长等问题,本文以在逆向工程中具有将三维物体几何信息转换为计算机能直接处理的二维数字信号的功能的三维光学扫描技术为基础,研究了三维扫描技术应用的主要设备、常用软件、使用方法和实体建模商用软件,研究了其原理及数学模型;结合XJTUOM,制定了扫描策略,以某型号汽车皮带轮和减震器托盘为例进行了实践操作,结果表明:该设备能够满足在逆向工程的应用,其扫描精度接近原始数模的相似度为98%。 展开更多
关键词 逆向工程 三维扫描 实体建模 GEOMAGIC
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基于LMD的时频分析方法及其机械故障诊断应用研究 被引量:14
15
作者 王衍学 何正嘉 +1 位作者 訾艳阳 袁静 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第9期9-12,共4页
如何有效地从振动信号中提取有用信息成分一直以来都是故障诊断领域研究的热点。局部均值分解(Local Mean Decomposition,LMD)是一种新的信号自适应分解方法。本研究基于LMD的瞬时频率求解、时频分析及其故障诊断的应用。LMD的时频分析... 如何有效地从振动信号中提取有用信息成分一直以来都是故障诊断领域研究的热点。局部均值分解(Local Mean Decomposition,LMD)是一种新的信号自适应分解方法。本研究基于LMD的瞬时频率求解、时频分析及其故障诊断的应用。LMD的时频分析方法成功提取出实验室转子碰摩特征以及实际低速变载轧机齿轮局部故障信息,证实了方法的有效性。 展开更多
关键词 局部均值分解 时频分析 碰摩 齿轮箱 故障诊断
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多色集合的研究及在机械产品概念设计中应用 被引量:11
16
作者 李宗斌 赵丽萍 +1 位作者 凌永祥 李天石 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第7期688-692,共5页
在多色集合这一信息处理工具的基础上 ,建立了面向离散系统建模与分析的多色集合模糊数学模型 ,给出按多色集合模糊数学模型进行设计的准则和机械产品概念设计的搜索算法 .使用该搜索算法可以得到符合技术规范的若干可行产品方案 ,组成... 在多色集合这一信息处理工具的基础上 ,建立了面向离散系统建模与分析的多色集合模糊数学模型 ,给出按多色集合模糊数学模型进行设计的准则和机械产品概念设计的搜索算法 .使用该搜索算法可以得到符合技术规范的若干可行产品方案 ,组成可行产品方案集 ;然后利用方案选择算法 ,可以在确定的可行产品方案集中选择出合理的产品方案 ; 展开更多
关键词 多色集合 机械产品 概念设计 模糊数学模型 方案采纳算法
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谱域光学相干层析成像系统的实验研究 被引量:8
17
作者 陈玉平 赵宏 +2 位作者 杨琦 王昭 张璐 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期815-817,912,共4页
为改善光学相干层析成像(OCT)技术图像的获取速度和灵敏度,搭建了一套基于光谱干涉法的谱域光学相干层析成像系统(SD-OCT).该系统采用宽带光源照明,通过光纤迈克尔逊干涉仪产生物体的干涉图形并被光谱仪采集,物体内部结构图像则由... 为改善光学相干层析成像(OCT)技术图像的获取速度和灵敏度,搭建了一套基于光谱干涉法的谱域光学相干层析成像系统(SD-OCT).该系统采用宽带光源照明,通过光纤迈克尔逊干涉仪产生物体的干涉图形并被光谱仪采集,物体内部结构图像则由干涉图形的傅里叶变换获得.研究表明,SD-OCT的数据获取速度比传统的OCT系统提高了将近40倍,达到了16 000/s的轴向扫描速率,其灵敏度也改善了20~30 dB.因此,SD-OCT可实现工程和生物材料内部结构的实时三维图像重构. 展开更多
关键词 光学相干层析成像 光纤迈克尔逊干涉仪 光谱干涉法
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制造过程产品质量目标管理方法研究及系统实现 被引量:7
18
作者 李成 高建民 +1 位作者 陈富民 陈琨 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期1148-1154,共7页
大型制造企业的产品质量目标管理中存在着难以科学地确定具体目标并合理分解到各部门,且不能在目标执行期内或结束后对目标完成情况进行科学和全面评价的问题。为此,研究了质量目标的制定、分解和评价方法。首先,采用质量功能配置方法... 大型制造企业的产品质量目标管理中存在着难以科学地确定具体目标并合理分解到各部门,且不能在目标执行期内或结束后对目标完成情况进行科学和全面评价的问题。为此,研究了质量目标的制定、分解和评价方法。首先,采用质量功能配置方法制定和筛选产品质量目标;其次,采用基于相关质量因素差异补偿的层次分析法将目标分解到各层级部门;然后,采用基于模糊评判的层次分析法对定量和定性因素进行统一处理,对目标实现情况进行综合评价。最后,结合某飞机制造企业的实际需求,开发了基于浏览器/服务器模式的制造过程产品质量目标管理系统,有效地保证了企业质量目标的实现。 展开更多
关键词 质量目标管理 质量功能配置 层次分析法 目标评价
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粒计算及其在机械故障智能诊断中的应用 被引量:7
19
作者 张周锁 闫晓旭 成玮 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期37-41,共5页
为了更好地揭示原发性、早期微弱以及复合故障的发生发展规律,以粒计算理论为基础,提出了基于相容粒度空间模型的智能故障诊断方法.该方法通过层次化和粒度化来表示原始数据中蕴涵的不同设备运行状态的信息,使得不同故障状态被高效地映... 为了更好地揭示原发性、早期微弱以及复合故障的发生发展规律,以粒计算理论为基础,提出了基于相容粒度空间模型的智能故障诊断方法.该方法通过层次化和粒度化来表示原始数据中蕴涵的不同设备运行状态的信息,使得不同故障状态被高效地映射到粒结构的不同层次上,达到正确区分各类故障的目的.利用得到的约简属性集构建相容粒度空间模型,对电力机车轮对轴承的早期微弱故障、严重故障以及复合故障进行诊断,取得了较高的分类精度.实验结果表明,与RBF神经网络方法相比,模型有着很高的分类性能,对9类故障状态的分类准确率达到了91.11%,说明相容粒度空间模型在机械故障诊断方面具有很好的分类性能.由于约简方法可以弥补特征评估技术不能直接获得最优特征组合的不足,因此提高了模型的工作效率. 展开更多
关键词 粒计算 故障诊断 相容粒度空间模型 约简属性
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机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器 被引量:6
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作者 赵玉龙 刘岩 孙禄 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期875-882,1031,共8页
结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力&qu... 结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力"为敏感结构设计思路,研制了梁膜结构、孔缝双桥结构以及复合多梁结构3种高频加速度传感器,以满足高速制造装备的振动信号监测对传感器的需求。通过静态、动态性能测试实验可以看出,3种结构均在一定程度上提升了传感器的测量性能,实际测振实验也说明所研制的MEMS加速度传感器具备了装备振动信号检测所需的功能。具有微型化、低成本以及可大规模生产潜力的MEMS传感器的发展为高端机械制造装备的发展提供了新的器件支持,推动主轴部件等的智能化、一体化发展。 展开更多
关键词 故障监测 微机电系统 加速度传感器 敏感结构 微加工
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