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不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构
被引量：
7
1
作者
袁春华
李晓红
+2 位作者
唐多昌
杨宏道
李国强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2749-2753,共5页
利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化。在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构。累积600个...
利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化。在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构。累积600个脉冲后,硅表面产生了准规则排列且具有大纵横比的锥形尖峰结构。该结构呈现高度相对较低、锥形尖端小球不明显的特征,分析认为主要与环境气压的大小有关。对比空气、SF6和真空中的微结构发现,尖峰的数密度依次减小;SF6中形成的尖峰高度最大,其次为真空,再次为空气。研究结果表明,真空、SF6和空气3种环境下微结构的形成及表面形貌主要由激光烧蚀、化学刻蚀和氧化决定。
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关键词
飞秒激光
激光诱导
硅
表面微结构
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职称材料
不同气体环境下532nm激光诱导硅表面形貌的研究
被引量：
2
2
作者
杨宏道
李晓红
+2 位作者
李国强
袁春华
邱荣
《中国光学》
EI
CAS
2011年第1期86-92,共7页
研究了在不同气体环境下,利用532 nm Nd∶YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构,结果表明,在其他条件相同,背景气体不同的情况下,背景气体对硅表面形貌的形成起着重要的作用。具体分析了真空、N2和SF6 3种环境气氛下形成的微...
研究了在不同气体环境下,利用532 nm Nd∶YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构,结果表明,在其他条件相同,背景气体不同的情况下,背景气体对硅表面形貌的形成起着重要的作用。具体分析了真空、N2和SF6 3种环境气氛下形成的微结构,结果显示,在SF6中形成的锥形微结构的数密度比在N2和真空中的大,并且锥形具有更大的纵横比;在N2、真空和SF6中形成的微结构尺寸依次减小。SF6气氛下,激光辅助化学刻蚀的效率比在真空和N2气氛中的高。另外,辐照区域边缘有波纹微结构形成,分析认为,该微结构的形成是由表面张力波的冷却导致的。
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关键词
激光应用
表面微处理
激光辅助化学刻蚀
硅
表面形貌
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职称材料
波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响
被引量：
1
3
作者
袁春华
李晓红
+1 位作者
唐多昌
杨宏道
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期647-649,共3页
为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空...
为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空气中形成的微结构较真空和N_2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF_6和真空中产生的锥形结构比N_2和空气中要更为显著,但SF_6中形成的微结构上有絮状物的结果。结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同。该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的。
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关键词
激光物理
表面微结构
纳秒激光辐照
硅
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职称材料
题名
不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构
被引量：
7
1
作者
袁春华
李晓红
唐多昌
杨宏道
李国强
机构
西南科技大学
理学院
激光
与光电子
实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期2749-2753,共5页
基金
四川省教育厅青年基金项目(08zb006)
西南科技大学博士研究基金项目(06zx7113)
文摘
利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化。在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构。累积600个脉冲后,硅表面产生了准规则排列且具有大纵横比的锥形尖峰结构。该结构呈现高度相对较低、锥形尖端小球不明显的特征,分析认为主要与环境气压的大小有关。对比空气、SF6和真空中的微结构发现,尖峰的数密度依次减小;SF6中形成的尖峰高度最大,其次为真空,再次为空气。研究结果表明,真空、SF6和空气3种环境下微结构的形成及表面形貌主要由激光烧蚀、化学刻蚀和氧化决定。
关键词
飞秒激光
激光诱导
硅
表面微结构
Keywords
femtosecond laser
laser induced
silicon
surface microstructures
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
不同气体环境下532nm激光诱导硅表面形貌的研究
被引量：
2
2
作者
杨宏道
李晓红
李国强
袁春华
邱荣
机构
西南科技大学
理学院
激光
与光电子
实验室
出处
《中国光学》
EI
CAS
2011年第1期86-92,共7页
基金
四川省教育厅资助科研项目(No.08ZB006和No.09ZA128)
西南科技大学博士研究基金资助项目(No.06ZX7113)
文摘
研究了在不同气体环境下,利用532 nm Nd∶YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构,结果表明,在其他条件相同,背景气体不同的情况下,背景气体对硅表面形貌的形成起着重要的作用。具体分析了真空、N2和SF6 3种环境气氛下形成的微结构,结果显示,在SF6中形成的锥形微结构的数密度比在N2和真空中的大,并且锥形具有更大的纵横比;在N2、真空和SF6中形成的微结构尺寸依次减小。SF6气氛下,激光辅助化学刻蚀的效率比在真空和N2气氛中的高。另外,辐照区域边缘有波纹微结构形成,分析认为,该微结构的形成是由表面张力波的冷却导致的。
关键词
激光应用
表面微处理
激光辅助化学刻蚀
硅
表面形貌
Keywords
laser application
surface micro-processing
laser-induced chemical etching
silicon
surface morphology
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响
被引量：
1
3
作者
袁春华
李晓红
唐多昌
杨宏道
机构
西南科技大学理学院激光与光电子实验室极端条件物质特性实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期647-649,共3页
基金
四川省教育厅青年基金资助项目(08zb006)
西南科技大学博士研究基金资助项目(06zx7113)
文摘
为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空气中形成的微结构较真空和N_2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF_6和真空中产生的锥形结构比N_2和空气中要更为显著,但SF_6中形成的微结构上有絮状物的结果。结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同。该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的。
关键词
激光物理
表面微结构
纳秒激光辐照
硅
Keywords
laser physics
surface microstructure
nanosecond laser irradiation
silicon
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构
袁春华
李晓红
唐多昌
杨宏道
李国强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
在线阅读
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职称材料
2
不同气体环境下532nm激光诱导硅表面形貌的研究
杨宏道
李晓红
李国强
袁春华
邱荣
《中国光学》
EI
CAS
2011
2
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职称材料
3
波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响
袁春华
李晓红
唐多昌
杨宏道
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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