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基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响
被引量：
2
1
作者
姚志强
杨萍
+2 位作者
孙鸿
王进
黄楠
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期43-46,共4页
为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。使用XPS、ATR FTIR和Raman谱对其成份和结构进行...
为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。使用XPS、ATR FTIR和Raman谱对其成份和结构进行了表征。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量 ,采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角来评价其疏水性能。XPS和FTIR结果表明薄膜中存在C CF、C Fx基团。Raman谱结果表明 :随着基体偏压的增加 ,薄膜从类聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构 ,薄膜的硬度逐渐增加。接触角测量结果表明 :在低偏压范围内 。
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关键词
氟化非晶态碳膜
基体偏压
拉曼光谱
纳米压痕
疏水性
躺滴法
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职称材料
氟化非晶态碳膜(a-C∶F)的制备与表征
2
作者
姚志强
杨萍
+1 位作者
孙鸿
黄楠
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期169-171,共3页
采用等离子体浸没与离子注入装置,以CF4和CH4作为源气体,在Si(100)基片上制备了含氟量不同的一系列氟化非晶态碳膜。通过XPS、FTIR和Raman对其结构进行了表征。采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行...
采用等离子体浸没与离子注入装置,以CF4和CH4作为源气体,在Si(100)基片上制备了含氟量不同的一系列氟化非晶态碳膜。通过XPS、FTIR和Raman对其结构进行了表征。采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量。XPS和FTIR结果表明存在C—CF、C—Fx基团和少量的氧。我们认为薄膜中存在的氧元素是由于薄膜在正常存放时发生了时效过程,其中的悬挂键发生化学吸附反应引起的。Raman和接触角测量结果表明,随着氟元素含量的逐渐增加,薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构,接触角逐渐增大。纳米压痕测量结果表明,氟元素的加入使得薄膜的硬度有很大程度的降低。
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关键词
氟化非晶态碳膜
制备
表征
X射线光电子能谱
拉曼光谱
接触角
纳米压痕
生物材料
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职称材料
题名
基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响
被引量：
2
1
作者
姚志强
杨萍
孙鸿
王进
黄楠
机构
西南交通大学材料工程学院生物材料与表面工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期43-46,共4页
基金
国家重点基础研究发展规划"973"(No .G19990 64 70 5 )
国家自然科学基金项目 (No .3 0 2 70 3 92 )资助
文摘
为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。使用XPS、ATR FTIR和Raman谱对其成份和结构进行了表征。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量 ,采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角来评价其疏水性能。XPS和FTIR结果表明薄膜中存在C CF、C Fx基团。Raman谱结果表明 :随着基体偏压的增加 ,薄膜从类聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构 ,薄膜的硬度逐渐增加。接触角测量结果表明 :在低偏压范围内 。
关键词
氟化非晶态碳膜
基体偏压
拉曼光谱
纳米压痕
疏水性
躺滴法
Keywords
a C∶F,Substrate bias voltage,Raman,Nano indentation,Hydrophobic
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氟化非晶态碳膜(a-C∶F)的制备与表征
2
作者
姚志强
杨萍
孙鸿
黄楠
机构
西南交通大学材料工程学院生物材料与表面工程研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期169-171,共3页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G1999064705)
国家自然科学基金资助项目(30270392)
文摘
采用等离子体浸没与离子注入装置,以CF4和CH4作为源气体,在Si(100)基片上制备了含氟量不同的一系列氟化非晶态碳膜。通过XPS、FTIR和Raman对其结构进行了表征。采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量。XPS和FTIR结果表明存在C—CF、C—Fx基团和少量的氧。我们认为薄膜中存在的氧元素是由于薄膜在正常存放时发生了时效过程,其中的悬挂键发生化学吸附反应引起的。Raman和接触角测量结果表明,随着氟元素含量的逐渐增加,薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构,接触角逐渐增大。纳米压痕测量结果表明,氟元素的加入使得薄膜的硬度有很大程度的降低。
关键词
氟化非晶态碳膜
制备
表征
X射线光电子能谱
拉曼光谱
接触角
纳米压痕
生物材料
Keywords
Amorphous films
Contact angle
Fluorine
Fourier transform infrared spectroscopy
Hardness testing
Hydrocarbons
Indentation
Ion implantation
Oxygen
Silicon wafers
X ray photoelectron spectroscopy
分类号
R318.08 [医药卫生—生物医学工程]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响
姚志强
杨萍
孙鸿
王进
黄楠
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
在线阅读
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职称材料
2
氟化非晶态碳膜(a-C∶F)的制备与表征
姚志强
杨萍
孙鸿
黄楠
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
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